实用新型专利技术公开了一种单晶炉坩埚,包括炉体,所述炉体内壁底部的两侧均固定连接有电机箱,所述电机箱内壁底部的右侧固定连接有调节电动机,所述电机箱的内部固定连接有调速盒,所述调节电动机输出轴的一端贯穿调速盒并且延伸至调速盒的内部,调节电动机输出轴的表面固定连接有主动齿轮,主动齿轮的一侧啮合有减速从动齿轮,所述减速从动齿轮的轴心处固定连接有转动轴,所述转动轴的顶端与电机箱内壁的顶部转动连接,本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域。该单晶炉坩埚,解决了手动调节费时费力、调节精度有限的问题,有效的减轻了操作人员的工作负担,大大的提高了加热线圈的水平精度,并且结构简单,易于操作。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉坩埚
本技术涉及单晶炉
,具体为一种单晶炉坩埚。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的单晶的品质。主要使用的单晶炉坩埚的加热线圈在工作前均需调整以保证在工作时保持水平,现在主要依靠直尺手动测量和调节,这种调节方法费时费力,并且调节精度有限。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种单晶炉坩埚,解决了手动测量调节费时费力,调节精度有限的问题。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种单晶炉坩埚,包括炉体,所述炉体内壁底部的两侧均固定连接有电机箱,所述电机箱内壁底部的右侧固定连接有调节电动机,所述电机箱的内部固定连接有调速盒,所述调节电动机输出轴的一端贯穿调速盒并且延伸至调速盒的内部,所述调节电动机输出轴的表面固定连接有主动齿轮,所述主动齿轮的一侧啮合有减速从动齿轮,所述减速从动齿轮的轴心处固定连接有转动轴,所述转动轴的顶端与电机箱内壁的顶部转动连接,所述转动轴的底端贯穿调速盒并且延伸至调速盒的底部,所述转动轴的表面且位于调速盒的底部固定连接有第一皮带轮,所述第一皮带轮的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮,所述第二皮带轮的轴心处固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的底端与炉体内壁的底部转动连接。优选的,所述炉体内壁的底部固定连接有滑轨,所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹块,且螺纹块套设在滑轨的表面,所述螺纹块的一侧固定连接有连接杆。优选的,所述炉体内壁的底部固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部固定连接有加热线圈,所述加热线圈顶部的两侧均与连接杆的一端固定连接。优选的,所述加热线圈的顶部活动连接有平衡盒,所述平衡盒的内部滚动连接有圆珠,所述平衡盒内壁的两侧固定连接有触碰开关,所述触碰开关的一侧固定连接有电线,所述电线的一端贯穿平衡盒并且延伸至平衡盒的外部。优选的,所述电机箱一侧的顶部固定连接有启动插座,所述启动插座的一侧与电线的一端活动连接。优选的,所述炉体的表面铰接有炉门,所述炉体的底部固定连接有支撑座。本技术提供了一种单晶炉坩埚。具备以下有益效果:(1)、该单晶炉坩埚,通过调节电动机输出轴的一端贯穿调速盒并且延伸至调速盒的内部,调节电动机输出轴的表面固定连接有主动齿轮,主动齿轮的一侧啮合有减速从动齿轮,减速从动齿轮的轴心处固定连接有转动轴,转动轴的顶端与电机箱内壁的顶部转动连接,转动轴的底端贯穿调速盒并且延伸至调速盒的底部,转动轴的表面且位于调速盒的底部固定连接有第一皮带轮,第一皮带轮的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮,第二皮带轮的轴心处固定连接有螺纹杆,解决了手动调节费时费力、调节精度有限的问题,有效的减轻了操作人员的工作负担,大大的提高了加热线圈的水平精度,并且结构简单,易于操作。(2)、该单晶炉坩埚,通过加热线圈的顶部活动连接有平衡盒,平衡盒的内部滚动连接有圆珠,平衡盒内壁的两侧固定连接有触碰开关,解决了使用直尺测量水平度导致精度较低的情况,通过圆珠滚动压迫到触碰开关启动调节电动机,极大的缓解了工作人员的工作压力。(3)、该单晶炉坩埚,通过触碰开关的一侧固定连接有电线,电线的一端贯穿平衡盒并且延伸至平衡盒的外部,电机箱一侧的顶部固定连接有启动插座,启动插座的一侧与电线的一端活动连接,采用可插拔的结构,结构简单,易于保养和维护,方便了工作人员快捷操作使用。附图说明图1为本技术内部的结构示意图;图2为本技术调速盒内部结构的俯视图;图3为本技术外部的结构示意图。图中:1-炉体、2-电机箱、3-调节电动机、4-调速盒、5-主动齿轮、6-减速从动齿轮、7-转动轴、8-第一皮带轮、9-第二皮带轮、10-螺纹杆、11-滑轨、12-螺纹块、13-连接杆、14-支撑板、15-加热线圈、16-平衡盒、17-圆珠、18-触碰开关、19-电线、20-启动插座、21-炉门、22-支撑座。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种单晶炉坩埚,包括炉体1,炉体1内壁底部的两侧均固定连接有电机箱2,电机箱2内壁底部的右侧固定连接有调节电动机3,电机箱2的内部固定连接有调速盒4,调节电动机3输出轴的一端贯穿调速盒4并且延伸至调速盒4的内部,调节电动机3输出轴的表面固定连接有主动齿轮5,主动齿轮5的一侧啮合有减速从动齿轮6,减速从动齿轮6的轴心处固定连接有转动轴7,转动轴7的顶端与电机箱2内壁的顶部转动连接,转动轴7的底端贯穿调速盒4并且延伸至调速盒4的底部,转动轴7的表面且位于调速盒4的底部固定连接有第一皮带轮8,第一皮带轮8的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮9,皮带贯穿电机箱2并且延伸至电机箱2的外部,第二皮带轮9的轴心处固定连接有螺纹杆10,螺纹杆10的底端与炉体1内壁的底部转动连接,炉体1内壁的底部固定连接有滑轨11,螺纹杆10的表面螺纹连接有螺纹块12,且螺纹块12套设在滑轨11的表面,螺纹块12的一侧固定连接有连接杆13,炉体1内壁的底部固定连接有支撑板14,支撑板14可微调高度,支撑板14的顶部固定连接有加热线圈15,加热线圈15顶部的两侧均与连接杆13的一端固定连接,加热线圈15的顶部活动连接有平衡盒16,平衡盒16可从加热线圈15拆卸,平衡盒16的内部滚动连接有圆珠17,平衡盒16内壁的底部设置有微小弧度,避免圆珠17随意滚动,只有达到一定倾斜度时圆珠17才会滚动,平衡盒16内壁的两侧固定连接有触碰开关18,触碰开关18的一侧固定连接有电线19,触碰开关18可以启动调节电动机3,电线19的一端贯穿平衡盒16并且延伸至平衡盒16的外部,电机箱2一侧的顶部固定连接有启动插座20,启动插座20的一侧与电线19的一端活动连接,触碰开关18、电线19、启动插座20可以组成完整回路打开或关闭调节电动机3,炉体1的表面铰接有炉门21,炉体1的底部固定连接有支撑座22,支撑座22保证工作时稳定。工作时,打开炉门21,将平衡盒16放置在加热线圈15的顶部,将电线19插入启动插座20,若加热线圈15的顶部不平,圆珠17将向一边滚动,圆珠17接触到触碰开关18时,则开启一侧的调节电动机3,从而主动齿轮5带动减速从动齿轮6转动,使得转动轴7带动第一皮带轮8转动,进而第二皮带轮9带动螺纹杆10转动,螺纹块12向上运转,当圆珠17保持在平衡盒16中间不向任何本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种单晶炉坩埚,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)内壁底部的两侧均固定连接有电机箱(2),所述电机箱(2)内壁底部的右侧固定连接有调节电动机(3),所述电机箱(2)的内部固定连接有调速盒(4),所述调节电动机(3)输出轴的一端贯穿调速盒(4)并且延伸至调速盒(4)的内部,所述调节电动机(3)输出轴的表面固定连接有主动齿轮(5),所述主动齿轮(5)的一侧啮合有减速从动齿轮(6),所述减速从动齿轮(6)的轴心处固定连接有转动轴(7),所述转动轴(7)的顶端与电机箱(2)内壁的顶部转动连接,所述转动轴(7)的底端贯穿调速盒(4)并且延伸至调速盒(4)的底部,所述转动轴(7)的表面且位于调速盒(4)的底部固定连接有第一皮带轮(8),所述第一皮带轮(8)的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮(9),所述第二皮带轮(9)的轴心处固定连接有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的底端与炉体(1)内壁的底部转动连接。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉坩埚,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)内壁底部的两侧均固定连接有电机箱(2),所述电机箱(2)内壁底部的右侧固定连接有调节电动机(3),所述电机箱(2)的内部固定连接有调速盒(4),所述调节电动机(3)输出轴的一端贯穿调速盒(4)并且延伸至调速盒(4)的内部,所述调节电动机(3)输出轴的表面固定连接有主动齿轮(5),所述主动齿轮(5)的一侧啮合有减速从动齿轮(6),所述减速从动齿轮(6)的轴心处固定连接有转动轴(7),所述转动轴(7)的顶端与电机箱(2)内壁的顶部转动连接,所述转动轴(7)的底端贯穿调速盒(4)并且延伸至调速盒(4)的底部,所述转动轴(7)的表面且位于调速盒(4)的底部固定连接有第一皮带轮(8),所述第一皮带轮(8)的表面通过皮带传动连接有第二皮带轮(9),所述第二皮带轮(9)的轴心处固定连接有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的底端与炉体(1)内壁的底部转动连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚,其特征在于:所述炉体(1)内壁的底部固定连接有滑轨(11),所述螺纹杆(10)的表面螺纹连接有螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:周磊,赵永雷,朱俊杰,
申请(专利权)人:湖南金石新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南,43
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