一种方形石英坩埚制造技术

技术编号:19730164 阅读:66 留言:0更新日期:2018-12-12 02:18
本实用新型专利技术公开了一种方形石英坩埚,包括坩埚主体,所述坩埚主体的上方设置有坩埚上盖,且坩埚上盖的上端外表面中心处固定安装有把手,所述把手的下端外表面固定安装有连接凸块,所述坩埚主体的底端设置有坩埚,且坩埚的侧表面固定安装有斜撑杆,所述斜撑杆的底端外表面指向坩埚主体中心处设置有支撑脚,所述坩埚的一侧外表面上端设置有进水孔,且坩埚的一侧外表面下端设置有出水孔。本实用新型专利技术所述的一种方形石英坩埚,设有弧形接板、连接凹槽和加厚圆形烧底,能够减小坩埚在燃烧时应力的集中,并且使得在使用的过程中具有更好的严密性,最后能够便于坩埚内部温度的均匀分散,带来更好的使用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种方形石英坩埚
本技术涉及方形石英坩埚领域,特别涉及一种方形石英坩埚。
技术介绍
方形石英坩埚分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料,它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器,它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点;现有的方形石英坩埚在使用时存在一定的弊端,首先,在使用的过程在,如果需要对加工物进行密闭加热时,上盖的密封效果不够严密,并且其内部的受热分布不够均匀,而且在边角处的温度过高会影响加工的进行,容易导致其炸裂,最后难以实现迅速降温过程,不够方便,无法满足人们的使用需求,给人们的使用过程带来了一定的影响,为此,我们提出一种方形石英坩埚。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种方形石英坩埚。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:本技术一种方形石英坩埚,包括坩埚主体,所述坩埚主体的上方设置有坩埚上盖,且坩埚上盖的上端外表面中心处固定安装有把手,所述把手的下端外表面固定安装有连接凸块,所述坩埚主体的底端设置有坩埚,且坩埚的侧表面固定安装有斜撑杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种方形石英坩埚,包括坩埚主体(1),其特征在于:所述坩埚主体(1)的上方设置有坩埚上盖(2),且坩埚上盖(2)的上端外表面中心处固定安装有把手(3),所述把手(3)的下端外表面固定安装有连接凸块(4),所述坩埚主体(1)的底端设置有坩埚(5),且坩埚(5)的侧表面固定安装有斜撑杆(6),所述斜撑杆(6)的底端外表面指向坩埚主体(1)中心处设置有支撑脚(7),所述坩埚(5)的一侧外表面上端设置有进水孔(8),且坩埚(5)的一侧外表面下端设置有出水孔(9),所述坩埚(5)的内部侧表面连接处设置有弧形接板(10),且坩埚(5)的上端设置有连接凹槽(11),所述连接凹槽(11)的下方设置有冷凝盘...

【技术特征摘要】
1.一种方形石英坩埚,包括坩埚主体(1),其特征在于:所述坩埚主体(1)的上方设置有坩埚上盖(2),且坩埚上盖(2)的上端外表面中心处固定安装有把手(3),所述把手(3)的下端外表面固定安装有连接凸块(4),所述坩埚主体(1)的底端设置有坩埚(5),且坩埚(5)的侧表面固定安装有斜撑杆(6),所述斜撑杆(6)的底端外表面指向坩埚主体(1)中心处设置有支撑脚(7),所述坩埚(5)的一侧外表面上端设置有进水孔(8),且坩埚(5)的一侧外表面下端设置有出水孔(9),所述坩埚(5)的内部侧表面连接处设置有弧形接板(10),且坩埚(5)的上端设置有连接凹槽(11),所述连接凹槽(11)的下方设置有冷凝盘道(12),所述坩埚(5)的内部底端设置有圆底托盘(13),且坩埚(5)的底部设置有加厚圆形烧底(14)。2.根据权利要求1所述的一种方形石英坩埚,其特征在于:所述连接凸块(4)与连接凹槽(11)的形状均为方形,且连接凸块(4)与连接凹槽(11)的边长和面积均相等,...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈中康
申请(专利权)人:江苏奥赛斯现代农业科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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