一种大尺寸石英坩埚的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种大尺寸石英坩埚的制备方法，包括1将原料装入金属模具内旋转成型；2熔制功率调为950‑1050KW起弧；启动真空机组抽真空，当模具内真空度为0.8‑1.2MPa时，提高熔制功率至1450‑1550KW后，电极下降至埚底位置，熔制15‑30s；电极归位起弧位置，降低熔制功率至950‑1050KW，关闭真空机组，形成坩埚透明层；3熔制功率升至1250‑1350KW后，将所述2中形成透明层的坩埚，吹气熔制3‑15min；降低熔制功率至950‑1050KW，断弧，出炉，获得石英坩埚毛坯；4将3中获得的石英坩埚处理后得石英坩埚成品。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸石英坩埚的制备方法
本专利技术涉及化工生产
，更具体的说是涉及一种大尺寸石英坩埚的制备方法。
技术介绍
石英坩埚是光伏领域拉制单晶硅的消耗性器皿；随着光伏领域的发展，为了提高拉晶效率，对于石英坩埚的尺寸要求越来越大，随着坩埚尺寸的不断增大，投料量也逐渐增大，再加上不断推广的一埚多棒的工艺需求，每只坩埚不仅需要延长使用寿命，同时在工作周期内坩埚不能出现析晶、变形，更不能出现漏硅等情况。而依赖于现有的加工小尺寸(直径小于26英寸)坩埚的加工方法，制得的大尺寸(直径大于等于26英寸以上)石英坩埚，行业内发现直径越大效果越差，主要体现为坩埚表面以及透明层内的气泡明显要比小直径坩埚多很多，而且坩埚圆弧处是气泡重灾区；这是行业内一个共性的难题，也是国内大直径坩埚质量不稳定的主要原因所在。因此如何提供一种改进工艺克服上述技术问题是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种大尺寸坩埚的加工方法，降低了坩埚内气泡，提高了大尺寸坩埚的质量。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种大尺寸石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)将检查合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大尺寸石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)将检查合格的石英砂原料，装入金属模具内旋转成型；步骤(2)熔制功率调至为950‑1050KW起弧，电极起弧位置距离模具口上方130‑160mm处；同时启动真空机组抽真空，当金属模具内真空度为0.8‑1.2MPa时，提高熔制功率至1450‑1550KW后，电极下降至距离起弧位置290‑310mm的埚底位置，熔制15‑30s；电极归位起弧位置，降低熔制功率至950‑1050KW，关闭真空机组，形成坩埚透明层；步骤(3)熔制功率升至1250‑1350KW后，将所述步骤(2)中形成透明层的坩埚，吹气熔制3‑15min；降低熔制功率至...

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤(1)将检查合格的石英砂原料，装入金属模具内旋转成型；步骤(2)熔制功率调至为950-1050KW起弧，电极起弧位置距离模具口上方130-160mm处；同时启动真空机组抽真空，当金属模具内真空度为0.8-1.2MPa时，提高熔制功率至1450-1550KW后，电极下降至距离起弧位置290-310mm的埚底位置，熔制15-30s；电极归位起弧位置，降低熔制功率至950-1050KW，关闭真空机组，形成坩埚透明层；步骤(3)熔制功率升至1250-1350KW后，将所述步骤(2)中形成透明层的坩埚，吹气熔制3-15min；降低熔制功率至950-1050KW，断弧，出炉，获得石英坩埚毛坯；步骤(4)将步骤(3)中获得的石英坩埚毛坯冷却、切割、清洗及涂层，获得石英坩埚成品。2.根据权利要求1所述的一种大...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵学东，何京辉，范玉华，李卫涛，赵勇，闫广志，
申请(专利权)人：宁晋晶兴电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13