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本发明涉及一种大尺寸石英坩埚的制备方法，包括1将原料装入金属模具内旋转成型；2熔制功率调为950‑1050KW起弧；启动真空机组抽真空，当模具内真空度为0.8‑1.2MPa时，提高熔制功率至1450‑1550KW后，电极下降至埚底位置，熔制...
该专利属于宁晋晶兴电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁晋晶兴电子材料有限公司授权不得商用。

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