【技术实现步骤摘要】
一种柔性衬底的吸盘装置
本技术涉及柔性器件生产
，尤其涉及一种用于展平固定柔性衬底的吸盘装置。
技术介绍
随着科学技术的发展，柔性器件在生产生活中日益重要，比如柔性显示屏、柔性太阳能电池等。在柔性器件的生产及研发过程中，需要将单张柔性衬底展平和固定，以便进行表面印刷、涂布、镀膜、装配等加工。其中，旋涂镀膜是广泛使用的镀膜方式，旋涂过程中需要保持基底高度平整才能实现均匀镀膜。目前，现有技术大多使用的是真空吸附台，如图1所示，通过吸附将柔性衬底1展平和固定，但其吸附孔2的孔径大都在2mm以上，容易造成柔性衬底1表面变形下凹，从而造成表面不平整，难以实现表面均匀镀膜及精确加工和装配。此外，由于吸附孔与放置衬底的凹槽同一中心，外围边沿处往往气密性不好，容易导致衬底四周翘起，从而难以实现精确加工。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种柔性衬底的吸盘装置，以孔径小于2mm的吸附微孔，通过均匀排布形成的微孔阵列作为吸附板面，实现均匀吸附和高度平整。本技术的目的通过以下技术方案予以实现：本技术提供的一种柔性衬底的吸盘装置，包括支撑体和吸附板面；所述吸附板面位于...
【技术保护点】
1.一种柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：包括支撑体(3)和吸附板面(4)；所述吸附板面(4)位于支撑体(3)的上表面，吸附板面(4)上设置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔(4a)的孔径小于2mm。
【技术特征摘要】
1.一种柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：包括支撑体(3)和吸附板面(4)；所述吸附板面(4)位于支撑体(3)的上表面，吸附板面(4)上设置有以呈通孔的吸附微孔(4a)均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔(4a)的孔径小于2mm。2.根据权利要求1所述的柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：所述吸附板面(4)与支撑体(3)呈一体式。3.根据权利要求1所述的柔性衬底的吸盘装置，其特征在于：所述吸附板面(4)与支撑体(3)呈分体式；所述支...
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