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本实用新型公开了一种柔性衬底的吸盘装置，包括支撑体和吸附板面；所述吸附板面位于支撑体的上表面，吸附板面上设置有以呈通孔的吸附微孔均匀排布形成的微孔阵列，所述吸附微孔的孔径小于2mm。本实用新型通过减小孔径、且以均匀排布形成的微孔阵列作为吸附...
该专利属于邱任拯所有，仅供学习研究参考，未经过邱任拯授权不得商用。

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