金属掩膜板的仿真方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种金属掩膜板的仿真方法和装置。金属掩膜板的仿真方法包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。本发明专利技术通过将金属掩膜板划分成多个板状模型，使得所构建的模型充分考虑到金属掩膜板上开口的异形结构，因而能够准确的模拟金属掩膜板的真实结构，极大地节约了设计成本，缩短了产品开发周期，能够得到精确的模拟结果，可以用于指导金属掩膜板设计和张网工艺设计。

【技术实现步骤摘要】
金属掩膜板的仿真方法和装置
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种金属掩膜板的仿真方法和装置。
技术介绍
在制备有机发光二极管(OrganicLightEmitting，OLED)显示面板过程中，需要将OLED的各层材料蒸镀到基板上，蒸镀过程会使用相应的掩膜板。金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)是电致发光(EL)蒸镀工艺中使用的掩膜板，主要用于蒸镀有机发光材料，形成显示面板的红R/绿G/蓝B像素。图1为一条金属掩膜板的结构示意图，图2为图1中B区域的放大图。如图1和图2所示，一条金属掩膜板用于蒸镀多个显示面板的有效显示区域，每个显示面板的有效显示区域包括多个阵列排布的像素，因此一条金属掩膜板包括多个与显示面板有效显示区域相对应的蒸镀区域AA，每个蒸镀区域AA包括多个与有效显示区域内各个像素相对应的开孔。金属掩膜板是一种表面形成有千百万个微米级开孔的金属薄板，厚度仅为5μm～40μm，金属掩膜板这种极薄且多孔的特性使其对外力作用非常敏感。EL蒸镀工艺中，金属掩膜板需要进行张网工艺，由多条金属掩膜板组装成一张完整的掩膜板。在张网工艺中，因拉力作用使得金属掩膜板非常容易发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属掩膜板的仿真方法，其特征在于，包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜板的仿真方法，其特征在于，包括：将金属掩膜板的蒸镀区域划分成叠设的n层板状模型，n为2～6；将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。2.根据权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：将每层板状模型等效为厚度均匀、没有开口的等效板材；将所述n层等效板材作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。3.根据权利要求2所述的仿真方法，其特征在于，将每层板状模型等效为厚度均匀、没有开口的等效板材，包括：获取每层板状模型的空洞百分比，根据每层板状模型的空洞百分比计算每层板状模型的材料属性；根据每层板状模型的材料属性，将每层板状模型等效为材料属性相同、厚度均匀、没有开口的等效板材。4.根据权利要求3所述的仿真方法，其特征在于，所述材料属性包括弹性模量。5.根据权利要求3所述的仿真方法，其特征在于，获取每层板状模型的空洞百分比中，以每层中心位置的开孔面积作为空洞的计算面积。6.根据权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，将所述n层板状模型作为一个复合壳结构，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果，包括：对每个板状模型的所有开孔进行建模，构建每个板状模型的数学模型；将所述n层数学模型组合，通过有限元算法进行力学模拟，得到模拟结果。7.根据权利要求1～6任一所述的仿真方法，其特征在于，所述力学模拟包括拉伸模拟，所述模拟结果包括张网拉力和应力应变分布，所述n为4。8.一种金属掩膜板的仿真装置，其特征在于，包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：白珊珊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11