【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉气体预热装置
本专利技术属于碳/碳复合材料化学气相沉积
，涉及一种化学气相沉积炉气体预热装置。
技术介绍
碳/碳复合材料在化学气相沉积过程中一般要进行碳源气预热，以提高，化学气相沉积过程的致密化效率和产品质量。目前碳碳复合材料化学气相沉积过程所用预热装置主要有两种，单筒式预热装置和层板式预热装置。筒式预热装置为单个光壁石墨筒形结构，放置于炉膛碳源气进气口之上，通过金属进气管将碳源气导入预热器顶部，碳源气由预热器顶部向下流动，碳源气在预热器内部流动过程中预热器进行热交换升温，之后由预热器底部流出，完成预热。该装置沉积气体在预热器内仅进行一个循环的流通，换热距离较短，导致换热时间不足；石墨筒内外壁均为光壁结构，自身吸收热量有限，且与碳源气换热面积小，所以换热不充分，不能实现有效气体预热。影响产品的化学气相沉积效率和质量。层板式化学气相沉积预热器放置于炉膛内底部进气口之上，工件放置在预热器上，预热装置为石墨筛板组合结构。其通过分布在筛板内圆的筛孔对气体进行混合使气体吸收筛板的热量，然后进入其上筛板外缘的网孔继续进行气体混合换热，再进入内圆设计筛孔...
【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述装置由底座(1)、底板(2)、换热底座(3)、顶筒(5)、顶盖(6)、换热段(4)六部分组成；所述底座(1)放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板(2)装配并实现两者之间的内腔密封；所述底板(2)用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座(1)之上，与底座(1)之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔(2Ⅰ)，用于在其上安装换热段(4)；所述换热底座(3)安装于底板(2)的换热底座安装孔(2Ⅰ)上，通过与底板(2)的配合使碳源气从换热底座(3)内蜂窝孔(4Ⅱ)进入...
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述装置由底座(1)、底板(2)、换热底座(3)、顶筒(5)、顶盖(6)、换热段(4)六部分组成；所述底座(1)放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板(2)装配并实现两者之间的内腔密封；所述底板(2)用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座(1)之上，与底座(1)之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔(2Ⅰ)，用于在其上安装换热段(4)；所述换热底座(3)安装于底板(2)的换热底座安装孔(2Ⅰ)上，通过与底板(2)的配合使碳源气从换热底座(3)内蜂窝孔(4Ⅱ)进入换热底座(3)；所述换热段(4)为一个或若干个换热体连接组成；与换热底座(3)通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔(7)和外环腔(8)，内环腔(7)对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔(8)对应的蜂窝孔气流向下流动；内环腔(7)和外环腔(8)的设计使换热体之间或换热段(4)与换热底座(3)之间只需保证轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢杰，陈涛，韩文静，任飒，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61
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