一种观察组件及其MOCVD设备制造技术

本发明专利技术公开了一种观察组件及其MOCVD设备，包括，立板，立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定，且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定，从而形成框架结构；第一顶板与油缸伸缩轴装配固定，第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机，升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定，升降驱动齿与升降中间齿啮合传动，升降中间齿与升降从动齿啮合传动，升降中间齿安装在升降中间轴上，升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配，升降从动齿设置在升降轴顶部；升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配，装配环固定在顶盖板上，且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配；第四顶板与观察柱顶部装配固定。

【技术实现步骤摘要】
一种观察组件及其MOCVD设备
本专利技术涉及一种气相外延生长技术，特别是涉及一种观察组件及其MOCVD设备。
技术介绍
MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。目前MOCVD技术已经日趋成熟，其在进行气相外延时，对温度、气压等要求特别严格，目前主要是采用托盘带动衬底高速转动，然后在高温、真空、化学性质活泼的环境中生长，形成付作仔衬底上的一层膜。在公开号为CN103628040A的中国专利中，公开了一种MOCVD设备和MOCVD加热方法，其指出，通过线圈感应对托盘进行加热的话，由于磁场稀疏分布，这就可能造成托板受热不均匀，也就导致最终成品存在不一致、瑕疵的情况。而在此专利中主要采用将托盘垂直于磁场线进行平移的方式进行解决，在实际应用时，这种方式无疑会大大增加设备结构、也就是增加前期制造成本和后期维护成本，总体来说优势并不突出。因此，申请人提出一种观察组件及其MOCVD设备，其能够实现在托盘转动的同时还在水平方向上摆动，从而使得托盘不断穿梭于磁场稀疏、密集区，也就使得托板受热均匀，而且还不影响托盘转动，同时结构也比较简单，不会大大增加着成本。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种观察组件及其MOCVD设备。为实现上述目的，本专利技术提供了一种观察组件，包括，立板，立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定，且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定，从而形成框架结构；第一顶板与油缸伸缩轴装配固定，第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机，升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定，升降驱动齿与升降中间齿啮合传动，升降中间齿与升降从动齿啮合传动，所述的升降中间齿安装在升降中间轴上，升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配，升降从动齿设置在升降轴顶部；升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配，装配环固定在顶盖板上，且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配；所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定。优选地，所述的第四顶板上还固定有两块第一侧板、两块第二侧板，两块所述的第一侧板分别与绕线轴两端可转动装配，第二侧板与与之靠近的第一侧板分别与导向轴两端可转动装配；所述的绕线轴一端与第一斜齿轮装配固定，第一斜齿轮与第二斜齿轮啮合传动，第二斜齿轮固定在绕线输出轴一端，绕线输出轴另一端穿过绕线隔板后与绕线电机装配。优选地，绕线电机固定在绕线托板上，所述的绕线隔板、绕线托板分别与第四顶板装配固定；绕线轴与拉线一端连接固定，且拉线可缠绕在绕线轴上，拉线另一端绕过导向轴后穿过顶盖、进入吹气通道，然后穿出吹气通道、绕过变向轴后与盖板一侧装配固定。优选地，所述的观察柱包括顶盖、柱体、底盖，所述的柱体上分别设置有第一通道、第二通道、吹气通道，所述的第一通道、第二通道分别与观察管、探头管密封装配，所述的观察管、探头管靠近底盖一端分别设置有摄像头、拉曼光纤探头，所述的摄像头用于获取托盘上的图像，所述的拉曼光纤探头用于收发拉曼光谱仪的光信号；所述的吹气通道顶端面通过顶盖密封，且吹气通道顶部通过连接气管与气源连通。优选地，所述的底盖在于第一通道、第二通道对应处设置有观察通槽、与吹气通道对应处设置有吹气通孔，且底盖上还设置有盖板滑槽、弹簧安装孔；所述的弹簧安装孔与盖板弹簧一端装配固定，盖板弹簧另一端与盖板内侧贴紧；所述的变向轴两端分别与盖板滑槽两侧可转动装配，且盖板滑槽与盖板可滑动装配，所述的盖板有两块；所述的吹气通孔内固定有限位环，所述的限位环底部分别与两块单向阀片一侧装配固定。一种MOCVD设备，应用有上述观察组件。优选地，还包括，外壳底板，外壳外壳底板通过外壳侧板与外壳顶板装配固定，外壳顶板上安装有油缸，油缸的油缸伸缩轴穿过外壳顶板与观察组件装配固定；所述的观察组件底部固定在顶盖板上，所述的顶杆板用于封闭外筒顶部，外筒底部通过底盖板封闭，且外筒内侧安装有内筒，所述的外筒和内桶之间缠绕有线圈，所述的线圈用于通电产生与内筒轴向同向的磁场；所述的内筒内部由上而下依次设有托盘隔板、离合隔板、动力隔板，所述的托盘隔板上固定有托盘组件，所述的离合隔板上固定有离合组件，所述的动力隔板上固定有动力组件；所述的内筒内侧、托盘上方还设有喷气隔板，喷气隔板上设置有数个贯穿的喷气通孔，且喷气隔板与喷气管接通；所述的托盘组件，包括，托盘，托盘底部通过托盘连接柱穿过让位孔后与转子装配固定；转子安装在定子内侧的转子槽内，且转子可在转子槽内转动；转子上设置有转子驱动孔，转子驱动孔内侧面设置有卡齿，所述的卡齿与驱动齿轮啮合传动。本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过托盘组件，实现了托盘在周向转动的同时还在水平面上摆动，从而实现其不断穿梭于不同密度的磁场中，也就能够保证托盘受热均匀，从而保证产品质量。2、本专利技术通过观察组件可以实现对衬板、托盘的实时观察、监测，从而保证在反应过程中及时发现异样，保证产品质量。另外还设置有盖板封闭观察通槽，从而实现对观察管和拉曼光纤探头的保护。3、本专利技术通过气动组件对运行过程中的气流动力进行回收利用，从而更加节能，而且通过离合组件可以实现动力电机、气马达之间动力的协同，从而在保证托盘转速的前提下降低能耗。附图说明图1-图2是MOCVD设备的结构示意图。图3-图6是观察组件的结构示意图。图7-图9是反应桶内部结构示意图。图10-图16是观察柱结构示意图，其中图12为图11中F1处放大图，图14为底盖部分结构示意图。图17-图20是反应桶内部结构示意图。图21是转速盘结构示意图。图22-图23为气动组件结构示意图。图24-图26为离合组件结构示意图。图27为动力组件结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明：参见图1-图27，本实施例为MOCVD设备的优选结构，包括，外壳底板110，外壳外壳底板110通过外壳侧板120与外壳顶板130装配固定，外壳顶板130上安装有油缸510，油缸510的油缸伸缩轴511穿过外壳顶板130与观察组件A装配固定，且油缸510可以通过驱动油缸伸缩轴511在轴向上移动以驱动观察组件A上下移动；所述的观察组件A底部固定在顶盖板310上，所述的顶杆板310用于封闭外筒210顶部，外筒210底部通过底盖板350封闭，且外筒210内侧安装有内筒220，所述的外筒210和内桶220之间缠绕有线圈230，所述的线圈230用于通电产生与内筒220轴向同向的磁场；所述的内筒220内部由上而下依次设有托盘隔板320、离合隔板330、动力隔板340，所述的托盘隔板320上固定有托盘组件，所述的离合隔板330上固定有离合组件B，所述的动力隔板340上固定有动力组件。所述的内筒220内侧、托盘上方还设有喷气隔板410，喷气隔板410上设置有数个贯穿的喷气通孔411，且喷气隔板410与喷气管420接通。使用时，通过喷气管420向托盘上的衬板喷射用于反应的气体，所述的喷气管420位于内筒的部分可以直接采用公开号为CN105420691A的中国专利中公开的喷淋头。参见图3-图6，所述的观察组件A，包括立板A11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种观察组件，其特征是：包括，立板，立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定，且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定，从而形成框架结构；第一顶板与油缸伸缩轴装配固定，第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机，升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定，升降驱动齿与升降中间齿啮合传动，升降中间齿与升降从动齿啮合传动，所述的升降中间齿安装在升降中间轴上，升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配，升降从动齿设置在升降轴顶部；升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配，装配环固定在顶盖板上，且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配；所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定。

【技术特征摘要】
1.一种观察组件，其特征是：包括，立板，立板底部与顶盖板装配固定、顶部与第一顶板装配固定，且立板侧面还分别与第二顶板、第三顶板、第四顶板装配固定，从而形成框架结构；第一顶板与油缸伸缩轴装配固定，第二顶板与第一顶板之间固定有升降电机，升降电机的升降输出轴穿过第二顶板后与升降驱动齿装配固定，升降驱动齿与升降中间齿啮合传动，升降中间齿与升降从动齿啮合传动，所述的升降中间齿安装在升降中间轴上，升降中间轴两端分别与第二顶板、第三顶板可转动装配，升降从动齿设置在升降轴顶部；升降轴底部穿过第四顶板后与装配环可转动装配，装配环固定在顶盖板上，且升降轴与第四顶板通过螺纹旋合装配；所述的第四顶板与观察柱顶部装配固定。2.如权利要求1所述的观察组件，其特征是：所述的第四顶板上还固定有两块第一侧板、两块第二侧板，两块所述的第一侧板分别与绕线轴两端可转动装配，第二侧板与与之靠近的第一侧板分别与导向轴两端可转动装配；所述的绕线轴一端与第一斜齿轮装配固定，第一斜齿轮与第二斜齿轮啮合传动，第二斜齿轮固定在绕线输出轴一端，绕线输出轴另一端穿过绕线隔板后与绕线电机装配。3.如权利要求2所述的观察组件，其特征是：绕线电机固定在绕线托板上，所述的绕线隔板、绕线托板分别与第四顶板装配固定；绕线轴与拉线一端连接固定，且拉线可缠绕在绕线轴上，拉线另一端绕过导向轴后穿过顶盖、进入吹气通道，然后穿出吹气通道、绕过变向轴后与盖板一侧装配固定。4.如权利要求1所述的观察组件，其特征是：所述的观察柱包括顶盖、柱体、底盖，所述的柱体上分别设置有第一通道、第二通道、吹气通道，所述的第一通道、第二通道分别与观察管、探头管密封装配，所述的观察管、探头管靠近底盖一端分别设置有摄像头、拉曼光纤探头，所述的摄像头用于获取托盘上的图像，所述的拉曼光纤探头用于收发拉曼光谱仪的光信号；所述的吹气通道顶端面通过顶盖密封，且吹气通道顶部通过连接气管与气源连通。5.如权利要求4所述的观察组件，其特征是：所述的底盖在于第一通道、第二通道对应处设置有观察通槽、与吹气通道对应处设置有吹气通孔，且底盖上还设置有盖板滑槽、弹簧安装孔；所述的弹簧安装孔与盖板弹簧一端装配固定，盖板弹簧另一端与盖板内侧贴紧；所述的变向轴两端分别与盖板滑槽两侧可转动装配，且盖板滑槽与盖板可滑动装配，所述的盖板有两块；所述的吹气通孔内固定有限位环，所述的限位环底部分别与两块单向阀片一侧装配固定。6.一种MOCVD设备，其特征是：应用有权利要求1-5任一所述的观察组件。7.如权利要求6所述的MOCVD设备，其特征是：还包括，外壳底板，外壳外壳底板通过外壳侧板与外壳顶板装配固定，外壳顶板上安装有油缸，油缸的油缸伸缩轴穿过外壳顶板与观察组件装配固定；所述的观察组件底部固定在顶盖板上，所述的顶杆板用于封闭外筒顶部，外筒底部通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁素，李天芬，张金，
申请(专利权)人：重庆懿熙品牌策划有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50