下载一种化学气相沉积炉气体预热装置的技术资料

文档序号:19730023

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本发明属于碳/碳复合材料化学气相沉积技术领域,涉及一种化学气相沉积炉的气体预热装置。本发明由底座、底板、换热底座、换热段、顶筒、顶盖六部分组成。本发明预热充分,不占用有效装料空间的预热装置,可以大大提高生产效率。...
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