触觉传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对应连接。

【技术实现步骤摘要】
触觉传感器及其制备方法
本专利技术的实施例涉及传感器
，特别涉及一种压阻式触觉传感器及其制备方法。
技术介绍
触觉感知在仿生机器人和智能交互领域具有重要意义，触觉感知主要指对外界接触力(例如压力)的感知。常见的压力传感器主要包括压阻式、压电式、电容式、电磁式和光学式传感器等，其中压阻式传感器因其较为简单的制备工艺流程和稳定的性能而得到较广泛的应用。特别地，在仿生机器人和智能交互领域，对传感器的感测灵敏度以及大面积覆盖检测有较高要求。现有的压阻式触觉传感器在结构上难以满足较佳准确性和大面积应用的需求，并且空间分辨率也有待提高。
技术实现思路
本专利技术的实施例旨在提出一种改进结构的触觉传感器及其制备方法。根据本专利技术的一个方面，提出一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对应连接。

【技术特征摘要】
1.一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻敏感层上的第二电极层，所述第二电极层上设置有第二电极阵列；其中，所述第一电极阵列、所述压阻敏感单元阵列以及所述第二电极阵列一一对应连接。2.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述压阻敏感单元阵列以及所述隔离层的上表面具有不规则的凹凸结构。3.根据权利要求2所述的触觉传感器，其特征在于，所述压阻敏感单元阵列以及所述隔离层的上表面具有磨砂表面结构。4.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述第一电极阵列的每一行/列的第一电极相互连接；以及所述第二电极阵列的每一列/行的第二电极相互连接；其中，第一电极阵列和第二电极阵列的相互电连接的行和列形成交叉结构。5.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述压阻敏感单元阵列与所述隔离层的厚度相同。6.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙旭光，王春凯，迟程，李彤，刘昶，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11