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本发明公开了一种触觉传感器，包括：第一电极层，所述第一电极层上设置有第一电极阵列；叠加在所述第一电极层上的压阻敏感层，所述压阻敏感层包括压阻敏感单元阵列以及具有开口阵列的隔离层，所述压阻敏感单元阵列与所述开口阵列一一配合；以及叠加在所述压阻...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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