支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台制造技术

本实用新型专利技术实施例提供一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台，其中，该支撑柱包括：支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。该支撑柱通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测该压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。因此，本实用新型专利技术实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。

Supporting pillar and supporting platform using this pillar

The embodiment of the utility model provides a support pillar and a support platform adopting the support pillar, wherein the support pillar comprises a support body, the support body comprises a support end face and a connection end face far from the support end face, and the connection end face is provided with a pressure sensor. The supporting column is equipped with pressure sensors on the connecting end of the connecting end between the supporting body and the supporting platform. When the panel is set on multiple supporting columns, the panel produces pressure on the supporting column. The pressure sensor connected by the supporting column can detect the pressure and determine the state of the supporting panel. Therefore, the support column described in the embodiment of the utility model can realize timely and effective detection of the state of the supporting panel to determine the perfect state of the supporting panel.

【技术实现步骤摘要】
支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台
本技术涉及显示器制造
，尤其是指一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台。
技术介绍
在显示面板制造工艺中，为了使待处理的面板呈水平状态，设置包括多个支撑柱的支撑平台，通过多个支撑柱水平地支撑面板为很普遍使用的设备。例如，在化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)工艺设备内则设置有包括多个支撑柱的支撑平台。对于CVD的各工艺腔室在进行工艺处理时需要处于高度真空状态，因此对于工艺处理过程中的面板状态很难及时观测到。CVD成膜腔室之外的其他腔室可以设置激光探测传感器用于探测面板的状态，以检测是否发生碎片问题，但采用激光探测传感器时，由于不同面板对于激光的透过率不同，容易产生检测不准确，发生误判和报警的问题；CVD成膜腔室则由于腔室的密封性要求，无法打孔设置激光探测传感器，因此无法实时监控腔室内面板是否完好。因此，现有技术显示面板制造设备中，真空腔室内缺少能够及时、有效地检测面板状态的结构。
技术实现思路
本技术技术方案的目的是提供一种支撑柱及采用该支撑柱的支撑平台，通过该支撑柱能够实现所支撑的面板状态的及时、有效检测。本技术实施例提供一种支撑柱，其中，包括：支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。可选地，所述的支撑柱，其中，所述支撑本体包括：内部设置有中空部分的柱套，所述中空部分延伸至所述连接端面；传送杆，设置于所述中空部分内，且与所述压力传感器连接。可选地，所述的支撑柱，其中，所述压力传感器包括开设有第一凹槽的压力感应面，所述传送杆靠近所述连接端面的一端设置有与所述第一凹槽的形状配合的突起；其中，所述突起插设于所述第一凹槽内，且与所述第一凹槽的内壁粘结，使得所述传送杆与所述压力传感器连接。可选地，所述的支撑柱，其中，所述第一凹槽形成为锥形槽，所述突起形成为与所述第一凹槽形状配合的圆锥形，且所述支撑本体处于与水平面垂直，所述支撑端面位于所述连接端面的上方状态时，所述突起呈倒圆锥形。可选地，所述的支撑柱，其中，所述中空部分还延伸至所述支撑端面，所述传送杆在所述中空部分内延伸至所述支撑端面，且所述传送杆在所述支撑端面处设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有能够相对于所述传送杆滚动的圆球，所述圆球突出于所述支撑端面设置。可选地，所述的支撑柱，其中，所述压力传感器包括延伸进入所述中空部分内部的凸出部分，所述传送杆在所述中空部分的内部，与所述凸出部分连接。可选地，所述的支撑柱，其中，所述柱套与所述传送杆同中心线设置。本技术实施例还提供一种支撑平台，包括平台本体，其中，所述平台本体上设置有如上任一项所述的支撑柱；其中，所述支撑本体垂直于水平面设置，且所述支撑端面位于所述连接端面的上方，所述压力传感器固定于所述平台本体上。可选地，所述的支撑平台，其中，所述平台本体上还设置有支撑销，所述支撑销与所述平台本体的连接端面处未设置压力传感器，且所述支撑销远离所述平台本体的端面与所述支撑柱的所述支撑端面位于同一平面。可选地，所述的支撑平台，其中，所述支撑平台还包括：与所述压力传感器连接的数据采集器。本技术具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：本技术实施例所述支撑柱，通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测该压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。因此，本技术实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。附图说明图1为本技术实施例一所述支撑柱的平面结构示意图；图2为本技术实施例所述支撑柱设置于支撑平台上时的立体结构示意图；图3为本技术实施例二所述支撑柱的平面结构示意图；图4为本技术实施例所述支撑平台中，所设置支撑销的结构示意图；图5为本技术实施例所述支撑平台的其中一实施结构的平面示意图；图6为本技术实施例所述支撑平台的另一实施结构的平面示意图。具体实施方式为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。为解决现有技术显示面板制造设备中，真空腔室内缺少能够用于及时、有效地检测面板状态的结构的问题，本技术实施例提供一种支撑柱，能够应用于真空腔室内面板的支撑，该支撑柱通过在与支撑平台相连接的连接端面上设置压力传感器，利用压力传感器检测面板对支撑柱的压力，确定支撑柱所支撑面板的状态。具体地，本技术实施例一所述支撑柱，如图1所示，包括：支撑本体100，该支撑本体100包括支撑端面110和远离支撑端面110的连接端面120，其中该连接端面120上设置有压力传感器130。其中，该支撑柱应用于支撑平台上，例如，该支撑平台可以为CVD各工艺腔室内的面板放置平台，如图2所示，支撑平台包括平台本体1，其中本技术实施例所述支撑柱设置于平台本体1上，且支撑本体100呈竖直状态，也即与水平面相垂直，当平台本体1设置支撑柱的表面为水平面时，该支撑本体100垂直于平台本体1的表面。另外，采用本技术实施例所述支撑柱，结合图1和图2，支撑本体100通过连接端面120所在一端与平台本体1固定连接，且连接端面120上设置的压力传感器130固定于平台本体1上，连接端面120与压力传感器130相抵接。可以理解的是，如图2所示，平台本体1上可以设置多个支撑柱，且多个支撑柱的支撑端面位于同一平面，以水平地支撑面板2，保证所支撑面板2的稳固设置。需要说明的是，平台本体1可以设置多个本技术实施例所示结构的支撑柱，用于支撑面板2的不同位置，但平台本体1上所设置的每一支撑柱并不限于必须采用本技术实施例所述支撑柱，所设置本技术实施例所述支撑柱的数量只要能够达到检测所支撑面板2的不同位置的状态即可。采用本技术实施例所述支撑柱，通过在支撑本体与支撑平台相连接一端的连接端面上设置压力传感器，当面板设置于多个支撑柱上时，面板对支撑柱产生压力，通过支撑柱所连接的压力传感器能够检测到面板的存在；若面板没有产生破碎，状态完好，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值应该相差不大，接近相等状态；若面板产生破碎，则不同位置的支撑柱所连接的压力传感器所检测的压力值相差会比较大，例如，可能存在部分压力传感器所检测的压力值较大，而部分压力传感器检测不到压力值的情况。因此，基于上述原理，采用本技术实施例所述支撑柱，能够实现对所支撑面板状态的及时、有效检测，以确定所支撑面板的完好状态。本技术还提供实施例二所述支撑柱，如图3所示，在该实施例中，所述支撑柱包括：支撑本体100，该支撑本体100包括支撑端面110和远离支撑端面110的连接端面120，其中该连接端面120上设置有压力传感器130。具体地，该实施例中，如图3所示，所述支撑本体100包括：内部设置有中空部分的柱套101，其中该中空部分延伸至连接端面120；传送杆102，设置于中空部分内，且与压力传感器130连接。采用该实施例所述支撑柱，支撑本体100内部设置的传送杆102与压力传感器130连接，能够减小整个支撑本体100与压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支撑柱，其特征在于，包括：支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。

【技术特征摘要】
1.一种支撑柱，其特征在于，包括：支撑本体，所述支撑本体包括支撑端面和远离所述支撑端面的连接端面，其中所述连接端面上设置有压力传感器。2.根据权利要求1所述的支撑柱，其特征在于，所述支撑本体包括：内部设置有中空部分的柱套，所述中空部分延伸至所述连接端面；传送杆，设置于所述中空部分内，且与所述压力传感器连接。3.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述压力传感器包括开设有第一凹槽的压力感应面，所述传送杆靠近所述连接端面的一端设置有与所述第一凹槽的形状配合的突起；其中，所述突起插设于所述第一凹槽内，且与所述第一凹槽的内壁粘结，使得所述传送杆与所述压力传感器连接。4.根据权利要求3所述的支撑柱，其特征在于，所述第一凹槽形成为锥形槽，所述突起形成为与所述第一凹槽形状配合的圆锥形，且所述支撑本体处于与水平面垂直，所述支撑端面位于所述连接端面的上方状态时，所述突起呈倒圆锥形。5.根据权利要求2所述的支撑柱，其特征在于，所述中空部分还延伸至所述支撑端面，所述传送杆在所述中空部分内延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓东，孙泉钦，李端明，郜明浩，张帅，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11