The invention provides a dual field of view interferometer, which comprises a laser point light source, a spectroscopic prism, the spectroscopic prism under the laser point light source, a spectroscope, the spectroscopic prism under the spectroscopic prism, a collimating mirror, the collimating mirror on the right side of the spectroscope, a reflecting standard mirror, and a reflecting standard mirror. The collimator is arranged on the right side of the collimator; the test camera is arranged on the left side of the splitter prism; and the auxiliary alignment camera is arranged on the left side of the splitter. The dual-field-of-view interferometer according to the embodiment of the present invention can guarantee the precision of zero-field adjustment in the large field-of-view assisted alignment mode, and at the same time guarantee the super-large measuring range and accuracy in the small field-of-view high-resolution testing mode.
【技术实现步骤摘要】
双视场干涉仪
本专利技术涉及一种双视场干涉仪。
技术介绍
采用手机摄像孔检测仪检测摄像孔区域的平行度时，需要首先将透射标准镜与反射标准镜严格调平行。采用的方法是不放置待测样品，将透射标准镜与反射标准镜形成的干涉条纹调节至零场。
技术实现思路
本专利技术的专利技术人首先认识到，由于仪器的检测口径是5mm，视场太小。当在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，透射标准镜与反射标准镜并没有严格平行。这是因为，如果将视场放大，则会看到在原先5mm视场内的存在多条干涉条纹。例如，在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，当在30mm视场内时，实际存在5条干涉条纹。这表示透射标准镜与反射标准镜的平行度并没有严格调试好。本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。根据本专利技术实施例的一种双视场干涉仪，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，...
【技术保护点】
1.一种双视场干涉仪，其特征在于，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。
【技术特征摘要】
1.一种双视场干涉仪，其特征在于，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝沛，
申请(专利权)人：上海乾曜光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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