5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于显微物镜光学系统设计领域，适用于微观表面三维形貌的干涉测量。
技术介绍
干涉显微物镜主要应用于微观表面三维形貌测量中，如工业和科研领域常用的非接触式轮廓仪，就需要配各种倍率的干涉显微物镜来使用。干涉显微物镜主要有Michelson(迈克尔逊)型、Mirau(米勒)型和Linnik(林尼克)型三种结构，每种结构尤其各自的优缺点，适用于不同待测样品的测量。Michelson型干涉显微镜是在一个长工作距显微物镜前加一个分光棱镜，利用分光棱镜将入射光束分成两束，一束光入射到参考面表面后返回，另一束光入射到待测件表面后返回，两束光在分光棱镜处重合后发生干涉，根据其产生的干涉条纹，可以分析待测件的微观特性。Michelson型干涉显微物镜具有工作距离长的优点，其放大倍率一般为1X—5X。马骏等人所申请的中国专利“可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置”(申请号：CN201310364091.2)提出了一种基于迈克尔逊干涉结构的套筒装置，将它加在普通显微物镜前，可将普通显微物镜改造为干涉显微物镜，此专利技术专利中，应用了一块分光棱镜作为分光器件，会增加光学系统的球...
【技术保护点】
一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于所述5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、分光棱镜(5)和垂直于光轴设置的参考平板(6)；其中，第一透镜(1)的口径为12毫米，中心厚为2.7毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为18.14毫米，右球面曲率半径为‑25.82毫米，采用的玻璃牌号为H‑K9L；第二透镜(2)的口径为12毫米，中心厚为3.5毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为‑25.82毫米，右球面曲率半径为160.588毫米，采用的玻璃牌号为H‑LaK50；第...
【技术特征摘要】
1.一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于所述5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、分光棱镜(5)和垂直于光轴设置的参考平板(6)；其中，第一透镜(1)的口径为12毫米，中心厚为2.7毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为18.14毫米，右球面曲率半径为-25.82毫米，采用的玻璃牌号为H-K9L；第二透镜(2)的口径为12毫米，中心厚为3.5毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为-25.82毫米，右球面曲率半径为160.588毫米，采用的玻璃牌号为H-LaK50；第三透镜(3)的口径为11毫米，中心厚为2.72毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为27.778毫米，右球面曲率半径为12.532毫米，采用的玻璃牌号为H-ZLAF75；第四透镜(4)的口径为11毫米，中心厚为3.6毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为12.532毫米，右球面曲率半径为36.843毫米，采用的玻璃牌号为H-QK1；分光棱镜(5)为立方棱镜，各边长度为10毫米，采用的玻璃牌号为...
【专利技术属性】
技术研发人员：高志山，别枢佑，袁群，王帅，胡捷，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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