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5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统技术方案
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下载5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统的技术资料
文档序号:14512731
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本发明公开了一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统,属于显微物镜设计领域。本发明的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、分光棱镜和垂直于光轴设置的参考平板。本发明的干涉显微物镜...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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