一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置制造方法及图纸

技术编号:19605139 阅读:23 留言:0更新日期:2018-11-30 23:07
本实用新型专利技术公开了一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,包括切割装置主体和固定座,所述切割装置主体上端设有水箱,所述水箱一侧设有水泵,所述切割装置主体内部上端设有旋转电机,所述旋转电机一侧设有主动辊轴,所述主动辊轴下端两侧均设有弹簧件,所述弹簧件下端设有连接板,所述连接板下端设有若干个喷淋口,所述喷淋口下端一侧设有第一从动辊轴,所述第一从动辊轴一侧设有第二从动辊轴,所述第二从动辊轴下端设有固定座,所述固定座表面设有隔断网,所述隔断网表面两侧设有防滑橡胶垫,通过设置了喷淋口,能够在切割的过程中通过喷淋口将水箱中的水对金刚石线进行喷淋降温,从而降低了温度过高导致金刚石线断裂的可能性。

A High Precision Polycrystalline Silicon Cutting Device Using Diamond Wire

The utility model discloses a high-precision polycrystalline silicon cutting device using diamond wire, which comprises a cutting device main body and a fixed seat. The upper end of the cutting device main body is provided with a water tank, one side of the water tank is provided with a water pump, the upper end of the cutting device main body is provided with a rotating motor, and one side of the rotating motor is provided with an active roll shaft. The lower end of the active roll shaft is provided with a spring element on both sides. The lower end of the spring element is provided with a connecting plate, and the lower end of the connecting plate is provided with several spray outlets. The lower end of the spray outlet is provided with a first driven roll shaft, and the first driven roll shaft is provided with a second driven roll shaft. The lower end of the second driven roll shaft is provided with a fixed seat. The surface of the fixed seat is provided with a partition net, and the two sides of the partition net surface are provided with anti-skid rubber pads. By setting a spray port, the water in the water tank can be sprayed to cool the diamond line during the cutting process through the spray port, thereby reducing the possibility of diamond line breaking due to excessive temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置
本技术涉及一种切割装置,尤其是涉及一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置。
技术介绍
金刚石线切割机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式,使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的。现有的金刚石线切割机在切割时会产生大量的灰尘,且在切割过程中由于摩擦导致温度升高,张力增大等问题非常容易导致金刚石线断裂,从而影响切割效果。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,从而解决上述问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,包括切割装置主体和固定座,所述切割装置主体上端设有水箱,所述水箱一侧设有水泵,所述切割装置主体内部上端设有旋转电机,所述旋转电机一侧设有主动辊轴,所述主动辊轴下端两侧均设有弹簧件,所述弹簧件下端设有连接板,所述连接板下端设有若干个喷淋口,所述喷淋口下端一侧设有第一从动辊轴,所述第一从动辊轴一侧设有第二从动辊轴,所述第二从动辊轴下端设有固定座,所述固定座表面设有隔断网,所述隔断网表面两侧设有防滑橡胶垫,所述防滑橡胶垫一侧设有螺纹杆,所述螺纹杆一侧设有转轮,所述固定座下端设有活动板,所述活动板下端设有若干个液压升降装置,所述液压升降装置一侧设有抽风机,所述抽风机一侧设有废水箱,所述废水箱内部设有滤尘网,所述滤尘网一侧设有挡板。作为本技术的一种优选技术方案,所述主动辊轴、第一从动辊轴和第二从动辊轴呈三角形设置,且主动辊轴、第一从动辊轴和第二从动辊轴表面设有若干个金刚石线。作为本技术的一种优选技术方案,所述第一从动辊轴和第二从动辊轴与切割装置主体轴动连接,主动辊轴与弹簧件轴动连接。作为本技术的一种优选技术方案,所述弹簧件为连接杆、弹簧和弹簧件主体组成。作为本技术的一种优选技术方案,所述固定座内部为V形中空设置,且固定座与废水箱通过管道连接。作为本技术的一种优选技术方案,所述水箱、水泵和喷淋口依次通过水管连接。作为本技术的一种优选技术方案,所述固定座与螺纹杆螺纹连接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,通过设置了喷淋口,能够在切割的过程中通过喷淋口将水箱中的水对金刚石线进行喷淋降温,从而降低了温度过高导致金刚石线断裂的可能性,通过设置了弹簧件,当金刚石线张力过大时,主动辊轴能够通过弹簧件的弹性对主动辊轴的高度进行微调,从而降低金刚石线的张力,避免了张力过大导致断裂的可能性,通过设置了废水箱,能够将喷淋降温的废水进行回收,防止废水乱流,同时,抽风机将沾着灰尘的水雾也抽入废水箱通过滤尘网进行过滤,避免了灰尘污染切割空间,结构简单,操作方便起到了很大的帮助。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:图1为本技术所述一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置结构示意图;图2为本技术所述一种主动辊轴俯视结构示意图;图3为本技术所述一种主动辊轴侧面结构示意图;图4为本技术所述一种固定座侧面结构示意图;图中:1、水箱;2、主动辊轴;3、弹簧件;4、连接板;5、第一从动辊轴;6、转轮;7、隔断网;8、活动板;9、抽风机;10、液压升降装置;11、废水箱;12、挡板;13、滤尘网;14、固定座;15、第二从动辊轴;16、切割装置主体;17、喷淋口;18、旋转电机;19、水泵;20、螺纹杆;21、防滑橡胶垫。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4,本技术提供一种技术方案:一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,包括切割装置主体16和固定座14,切割装置主体16上端设有水箱1,水箱1一侧设有水泵19,切割装置主体16内部上端设有旋转电机18,旋转电机18一侧设有主动辊轴2,主动辊轴2下端两侧均设有弹簧件3,弹簧件3下端设有连接板4,连接板4下端设有若干个喷淋口17,喷淋口17下端一侧设有第一从动辊轴5,第一从动辊轴5一侧设有第二从动辊轴15,第二从动辊轴15下端设有固定座14,固定座14表面设有隔断网7,隔断网7表面两侧设有防滑橡胶垫21,防滑橡胶垫21一侧设有螺纹杆20,螺纹杆20一侧设有转轮6,固定座14下端设有活动板8,活动板8下端设有若干个液压升降装置10,液压升降装置10一侧设有抽风机9,抽风机9一侧设有废水箱11,废水箱11内部设有滤尘网13,滤尘网13一侧设有挡板12。主动辊轴2、第一从动辊轴5和第二从动辊轴15呈三角形设置,且主动辊轴2、第一从动辊轴5和第二从动辊轴15表面设有若干个金刚石线。第一从动辊轴5和第二从动辊轴15与切割装置主体16轴动连接,主动辊轴2与弹簧件3轴动连接。弹簧件3为连接杆、弹簧和弹簧件主体组成。固定座14内部为V形中空设置,且固定座14与废水箱11通过管道连接。水箱1、水泵19和喷淋口17依次通过水管连接。固定座14与螺纹杆20螺纹连接。具体原理:使用时,将多晶硅放在固定座14上,两端对准防滑橡胶垫21,转动转轮6使螺纹杆20推进,使防滑橡胶垫21将多晶硅固定住,此时旋转电机18带动主动辊轴2旋转,主动辊轴2通过金刚石线带动第一从动辊轴5和第二从动辊轴15旋转,液压升降装置10带动活动板8上升,使金刚石线对多晶硅进行多线切割,同时水泵19将水箱1中的水抽出,通过喷淋口17对金刚石线进行喷淋降温,废水透过固定座14表面的隔断网7进入固定座14内部收集后,通过管道进入废水箱11收集,同时抽风机9将沾着灰尘的水雾也抽入废水箱11通过滤尘网13进行过滤,当金刚石线张力过大时,主动辊轴2能够通过弹簧件3的弹性对主动辊轴2的高度进行微调,从而降低金刚石线的张力。该种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,通过设置了喷淋口17,能够在切割的过程中通过喷淋口17将水箱1中的水对金刚石线进行喷淋降温,从而降低了温度过高导致金刚石线断裂的可能性,通过设置了弹簧件3,当金刚石线张力过大时,主动辊轴2能够通过弹簧件3的弹性对主动辊轴2的高度进行微调,从而降低金刚石线的张力,避免了张力过大导致断裂的可能性,通过设置了废水箱11,能够将喷淋降温的废水进行回收,防止废水乱流,同时,抽风机9将沾着灰尘的水雾也抽入废水箱11通过滤尘网13进行过滤,避免了灰尘污染切割空间,结构简单,操作方便起到了很大的帮助。最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,包括切割装置主体(16)和固定座(14),其特征在于,所述切割装置主体(16)上端设有水箱(1),所述水箱(1)一侧设有水泵(19),所述切割装置主体(16)内部上端设有旋转电机(18),所述旋转电机(18)一侧设有主动辊轴(2),所述主动辊轴(2)下端两侧均设有弹簧件(3),所述弹簧件(3)下端设有连接板(4),所述连接板(4)下端设有若干个喷淋口(17),所述喷淋口(17)下端一侧设有第一从动辊轴(5),所述第一从动辊轴(5)一侧设有第二从动辊轴(15),所述第二从动辊轴(15)下端设有固定座(14),所述固定座(14)表面设有隔断网(7),所述隔断网(7)表面两侧设有防滑橡胶垫(21),所述防滑橡胶垫(21)一侧设有螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)一侧设有转轮(6),所述固定座(14)下端设有活动板(8),所述活动板(8)下端设有若干个液压升降装置(10),所述液压升降装置(10)一侧设有抽风机(9),所述抽风机(9)一侧设有废水箱(11),所述废水箱(11)内部设有滤尘网(13),所述滤尘网(13)一侧设有挡板(12)。

【技术特征摘要】
1.一种采用金刚线的高精度多晶硅切割装置,包括切割装置主体(16)和固定座(14),其特征在于,所述切割装置主体(16)上端设有水箱(1),所述水箱(1)一侧设有水泵(19),所述切割装置主体(16)内部上端设有旋转电机(18),所述旋转电机(18)一侧设有主动辊轴(2),所述主动辊轴(2)下端两侧均设有弹簧件(3),所述弹簧件(3)下端设有连接板(4),所述连接板(4)下端设有若干个喷淋口(17),所述喷淋口(17)下端一侧设有第一从动辊轴(5),所述第一从动辊轴(5)一侧设有第二从动辊轴(15),所述第二从动辊轴(15)下端设有固定座(14),所述固定座(14)表面设有隔断网(7),所述隔断网(7)表面两侧设有防滑橡胶垫(21),所述防滑橡胶垫(21)一侧设有螺纹杆(20),所述螺纹杆(20)一侧设有转轮(6),所述固定座(14)下端设有活动板(8),所述活动板(8)下端设有若干个液压升降装置(10),所述液压升降装置(10)一侧设有抽风机(9),所述抽风机(9)一侧设有废水箱(11),所述废水箱(11)内部设有滤尘网(13),所述滤尘网(13)一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈彬谭国华杨剑
申请(专利权)人:浙江立晖新能源有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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