【技术实现步骤摘要】
一种减反射镀膜系统
本技术涉及光学镜片加工
,具体涉及一种减反射镀膜系统。
技术介绍
光学镜片加工一般需要经过铣磨、精磨、抛光、镀膜等流程,其中镀膜是镜片加工中重要的步骤。由于镜片的前表面产生的反光产生虚像、炫光等现象,需要对镜片镀减反射膜。在进行真空镀膜时,通常将基片安装在真空室顶部,待真空室抽成真空后,再加热坩埚使高纯度的靶材融合并蒸发或升华,原子团或离子形式的靶材以冷凝方式沉积在基片表面,由此实现基片的镀膜。镀多层减反射膜可使镜片的减反射效果大大提高,现有技术中,多层镀膜通常逐次进行,如在第一层膜镀好后,将真空室打开,更换坩埚以及坩埚内的靶材,取出镜片将其干燥后,再放入真空室内镀设第二层膜,依此类推。现有技术中镀设多层减反光膜需要进行多次抽真空、更换坩埚等步骤,造成浪费资源的同时,生产效率低下。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种快速完成多层减反光膜镀设的减反射镀膜系统。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种减反射镀膜系统,包括设置在安装架上的真空室,所述真空室内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构,还包括中部设置的烘干机构,所述烘干机构包括安装在真空室侧壁的第一支杆,所述第一支杆的顶端铰接灯罩,所述灯罩内设置有红外线灯,所述灯罩朝向基片安装机构;所述蒸镀机构包括由电机驱动的转动盘、固定在第二支杆上的电子枪,所述转动盘安装在电机的转轴上,所述第二支杆安装在真空室的底板上,所述转动盘上环向开设有若干凹槽,所述凹槽内设置有坩埚,所述坩埚与电子枪相对设置,所述转动盘的周侧配合凹槽安装有若干感应杆,所述第二支杆上设置与感应杆适配的位置传感器, ...
【技术保护点】
1.一种减反射镀膜系统,包括设置在安装架(1)上的真空室(2),所述真空室(2)内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构(3),其特征在于:还包括中部设置的烘干机构(4),所述烘干机构(4)包括安装在真空室(2)侧壁的第一支杆(41),所述第一支杆(41)的顶端铰接灯罩(42),所述灯罩(42)内设置有红外线灯(43),所述灯罩(42)朝向基片安装机构;所述蒸镀机构(3)包括由电机(35)驱动的转动盘(31)、固定在第二支杆(32)上的电子枪(33),所述转动盘(31)安装在电机(35)的转轴(34)上,所述第二支杆(32)安装在真空室(2)的底板上,所述转动盘(31)上环向开设有若干凹槽,所述凹槽内设置有坩埚(36),所述坩埚(36)与电子枪(33)相对设置,所述转动盘(31)的周侧配合凹槽安装有若干感应杆(37),所述第二支杆(32)上设置与感应杆(37)适配的位置传感器(38),所述位置传感器(38)的感应端朝向感应杆(37)。
【技术特征摘要】
1.一种减反射镀膜系统,包括设置在安装架(1)上的真空室(2),所述真空室(2)内的顶部设置基片安装机构、底部设置蒸镀机构(3),其特征在于:还包括中部设置的烘干机构(4),所述烘干机构(4)包括安装在真空室(2)侧壁的第一支杆(41),所述第一支杆(41)的顶端铰接灯罩(42),所述灯罩(42)内设置有红外线灯(43),所述灯罩(42)朝向基片安装机构;所述蒸镀机构(3)包括由电机(35)驱动的转动盘(31)、固定在第二支杆(32)上的电子枪(33),所述转动盘(31)安装在电机(35)的转轴(34)上,所述第二支杆(32)安装在真空室(2)的底板上,所述转动盘(31)上环向开设有若干凹槽,所述凹槽内设置有坩埚(36),所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:高建勋,
申请(专利权)人:昆明勋凯瑞光学仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:云南,53
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