The utility model relates to the technical field of vacuum coating machine. The evaporation assembly of the electronic evaporation vacuum coating machine provided comprises a substrate, an electrode mounted on the substrate, a deflection magnetic pole mounted on the substrate and on both sides of the electrode, a rotary table mounted on the substrate and controlled by a program, and a circular coating crucible mounted on the rotary table. A plurality of grooves are evenly arranged above the coating crucible, near the edge and around the center of the circle, and a plurality of bushes for holding the coating agent are respectively placed in the grooves of the coating crucible. The utility model aims to provide the evaporation components of the electronic evaporation vacuum coating machine, which can simultaneously satisfy the evaporation components of the electronic evaporation vacuum coating machine for large-scale and multi-layer coating operations.
【技术实现步骤摘要】
电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件
本技术涉及真空镀膜机
，具体涉及电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。
技术介绍
对于采用电子蒸发方式的真空镀膜机，其原理是镀膜机内通过电极产生电子束打到镀膜药剂上从而使镀膜药剂蒸发附着在被镀膜产品上。对于大批量及多膜层的镀膜作业中，需要大量的镀膜药剂以及不同种类的镀膜药剂，由此，需要可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。
技术实现思路
本技术的目的在于提供可以同时满足大批量以及多膜层镀膜作业的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件。为此，本技术采用以下技术方案：电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，包括基板；安装在所述基板上的电极；安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极；安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台；安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚，所述镀膜坩埚上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽；用以盛放镀膜药剂的多个衬套分别放置于所述镀膜坩埚的凹槽内。本技术提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，由于镀膜坩埚上设置有多个凹槽并放置多个衬套，所以多个衬套可以盛放大量的镀膜药剂，从而可满足大批量的镀膜作业；此外，多个衬套...
【技术保护点】
1.电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，包括基板(1)；安装在所述基板(1)上的电极(2)；安装在所述基板(1)上并分别位于所述电极(2)的两侧的偏转磁极(3)；安装在所述基板(1)上并由程序控制旋转的转台(4)；安装在所述转台(4)上的圆形状的镀膜坩埚(5)，所述镀膜坩埚(5)上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽(51)；用以盛放镀膜药剂的多个衬套(6)分别放置于所述镀膜坩埚(5)的凹槽(51)内。
【技术特征摘要】
1.电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件，其特征在于，包括基板(1)；安装在所述基板(1)上的电极(2)；安装在所述基板(1)上并分别位于所述电极(2)的两侧的偏转磁极(3)；安装在所述基板(1)上并由程序控制旋转的转台(4)；安装在所述转台(4)上的圆形状的镀膜坩埚(5)，所述镀膜坩埚(5)上面、靠近边缘、围绕圆心均匀开设有多个凹槽(51)；用以盛放镀膜药剂的多个衬...
【专利技术属性】
技术研发人员：张星，
申请(专利权)人：深圳德诚达光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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