The utility model provides a coating crucible with low metal consumption, which comprises a crucible inner liner and a crucible sleeve, a crucible sleeve arranged outside the crucible inner liner, an open end arranged at one end of the crucible inner liner, an inner diameter of the crucible inner liner being 25-39 mm, and a wall thickness of the crucible inner liner being 6-15 mm. By changing the inner diameter of the crucible, the effective angle of target evaporation can be changed. When the thickness of the film is determined, the effective angle of metal target evaporation can be adjusted to make the metal target adhere to the effective area of the coating to the greatest extent, thus improving the recovery of precious metals during the coating process. Optimizing the evaporation angle of metal materials can reduce the consumption of precious schedule and reduce the manufacturing cost of LED chip factories.
【技术实现步骤摘要】
低镀膜金属耗量的镀膜坩埚
本技术涉及半导体
,具体的涉及一种低镀膜金属耗量的镀膜坩埚。
技术介绍
随着第三代半导体技术的蓬勃发展,LED照明以节能,环保,亮度高,寿命长等优点,成为社会发展的焦点。但是相比传统的白炽灯与荧光灯相比,LED灯具的价格仍处于偏高水平。为了保证优良的导电性与稳定性,目前大多数LED芯片的电极结构的主材料都是黄金和铂金,而黄金和铂金都是价格不菲的贵重金属,这导致LED芯片制造成本居高不下。在采用高真空电子束镀膜时,通过电子枪产生的电子束,轰击欲蒸发的靶材使之受热蒸发,蒸发后的靶材经电子加速极加速后,靶材沉积到晶片材料表面。但在镀膜过程中因靶材蒸发角度的问题,常会导致部分靶材附着于腔体内的衬板上,在回收衬板上的贵重金属时,难以保证贵金属完全被回收,造成回收成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,该专利技术解决了降低LED芯片制造成本;高真空电子束镀膜时贵金属难以完全回收的技术问题。本技术提供一种低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,包括:坩埚内胆和坩埚套,坩埚套套设于坩埚内胆的外侧,坩埚内胆的一端设置开口端,坩埚内胆的内径为25~39mm;坩埚内胆的壁厚为6~15mm。进一步地,坩埚内胆的开口端并朝向镀膜面设置。进一步地,坩埚内胆的内径为26~38mm。进一步地,坩埚内胆的壁厚为8~13mm。进一步地,坩埚内胆的内径为29~32mm。进一步地,坩埚内胆的壁厚为9~11mm。进一步地,坩埚套的一端设置开口端,坩埚套的开口端与坩埚内胆的开口端朝向相同。进一步地,坩埚套的开口端的周缘与坩埚内胆底面中心的连线的交点处,连 ...
【技术保护点】
1.一种低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,包括:坩埚内胆(4)和坩埚套(5),所述坩埚套(5)套设于所述坩埚内胆(4)的外侧,所述坩埚内胆(4)的一端设置开口端,所述坩埚内胆(4)的内径为25~39mm;所述坩埚内胆(4)的壁厚为6~15mm。
【技术特征摘要】
1.一种低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,包括:坩埚内胆(4)和坩埚套(5),所述坩埚套(5)套设于所述坩埚内胆(4)的外侧,所述坩埚内胆(4)的一端设置开口端,所述坩埚内胆(4)的内径为25~39mm;所述坩埚内胆(4)的壁厚为6~15mm。2.根据权利要求1所述的低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,所述坩埚内胆(4)的开口端并朝向镀膜面(1)设置。3.根据权利要求1所述的低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,所述坩埚内胆(4)的内径为26~38mm。4.根据权利要求1所述的低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,所述坩埚内胆(4)的壁厚为8~13mm。5.根据权利要求1所述的低镀膜金属耗量的镀膜坩埚,其特征在于,所述坩埚内胆(4)的内径为29~32mm。6...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁章洁,李康,
申请(专利权)人:湘能华磊光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南,43
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