一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料，其外部还设置有加热装置；无机蒸发系统，其至少包含：坩埚，及，坩埚挡板；离子源；及，工件盘。采用本发明专利技术的镀膜系统可进行有机/无机薄膜的交替制备，不仅有效解决了单独镀制无机薄膜存在缺陷、开裂等问题和单独镀制有机薄膜存在耐候性差、光学设计难度大等问题，而且可实现具有柔性或挠性的多功能复合薄膜制备，拓展了传统光学薄膜的应用领域，为空间、地面、海洋等领域器件的制作、封装及防护等提供一种解决途径。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法
本专利技术属于空间柔性薄膜及其制造
，具体涉及一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法。
技术介绍
随着薄膜制备技术发展，尤其的纳米技术的出现，无论有机薄膜还是无机薄膜在军用、民用领域都得到广泛应用，如空间太阳电池减反射膜，海洋领域涉及的耐腐蚀防护涂层、光学镜头表面的功能薄膜、柔性显示领域涉及的透明封装薄膜等。有机薄膜大多表现出优异的柔韧性能，无机薄膜则大多表现出优异的环境稳定性及功能性。但在大多实际应用中，既要求薄膜具有优异的环境稳定性和功能性，又要求其具有良好的柔韧性，如柔性阻水汽、阻氧气薄膜，柔性器件用原子氧防护涂层和热控涂层等。因此，单一类型的薄膜将无法满足这些需求，从而限制其应用范围。而且随着器件的轻质化、薄膜化、柔性化发展，这一限制更为显著。因此，有机/无机交替制备成为国内外研究热点，如兰州510所李中华课题组采用等离子体聚合先在透明聚酰亚胺表面镀制有机硅氧烷，然后进一步采用磁控溅射镀制ITO（氧化铟锡）形成柔性导电复合薄膜，实现超高压静电防护，该制备工艺十分复杂，难以实现多层有机/无机薄膜的交替镀制。韩国学者采用原子沉积法（ALD）先本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；设置于真空室内的用于蒸镀有机薄膜的有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料；该密闭腔体的外部还设置有加热装置，用于对腔体进行加热；设置于真空室内的用于蒸镀无机薄膜的无机蒸发系统，其至少包含：用于放置需要蒸镀的无机蒸发原料的坩埚，及，用于隔断坩埚内原料蒸镀的坩埚挡板；设置于真空室内的离子源；设置于真空室内的用于固定待镀膜衬底的工件盘。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；设置于真空室内的用于蒸镀有机薄膜的有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料；该密闭腔体的外部还设置有加热装置，用于对腔体进行加热；设置于真空室内的用于蒸镀无机薄膜的无机蒸发系统，其至少包含：用于放置需要蒸镀的无机蒸发原料的坩埚，及，用于隔断坩埚内原料蒸镀的坩埚挡板；设置于真空室内的离子源；设置于真空室内的用于固定待镀膜衬底的工件盘。2.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述的可控阀门选择电磁阀、插板阀、气动阀中的任意一种。3.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，所述的无机蒸发系统选择电子束蒸发系统或电阻蒸发系统。4.如权利要求1所述的镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统还包含：设置在真空室内的膜厚监控仪，用于监测薄膜沉积厚度及沉积速率。5.一种采用权利要求1-4中任意一项所述的镀膜系统制备柔性薄膜的方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：步骤a）打开真空室，将待镀膜衬底固定于工件盘上；打开有机蒸发系统的可控阀门和无机蒸发系统的坩埚挡板，将有机蒸发原料放置于密闭腔体内，并将无机蒸发原料放置于坩埚内，然后，关闭可控阀门和坩埚挡板，关闭真空室，抽真空；步骤b)有机薄膜蒸镀；步骤c）无机薄膜蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：范襄，于振海，雷刚，沈静曼，王训春，姜德鹏，石梦奇，杨洪东，
申请(专利权)人：上海空间电源研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31