温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种镀膜系统及其制备柔性薄膜的方法，该镀膜系统包含：真空室；用于对真空室抽真空的真空系统；有机蒸发系统，其至少包含：密闭腔体，该密闭腔体由可控阀门控制密闭状态，腔体内放置需要蒸镀的有机蒸发原料，其外部还设置有加热装置；无机蒸发系...
该专利属于上海空间电源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海空间电源研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。