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本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基板;安装在所述基板上的电极;安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极;安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台;安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚,所述镀...该专利属于深圳德诚达光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳德诚达光电材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。所提供的电子蒸发真空镀膜机的蒸发组件,包括基板;安装在所述基板上的电极;安装在所述基板上并分别位于所述电极的两侧的偏转磁极;安装在所述基板上并由程序控制旋转的转台;安装在所述转台上的圆形状的镀膜坩埚,所述镀...