双面曝光机及双面曝光方法技术

技术编号:19568177 阅读:16 留言:0更新日期:2018-11-25 03:05
本发明专利技术涉及一种双面曝光机及双面曝光方法,双面曝光机包括安装架;分别设于安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件;第一装载台和第二装载台;及驱动机构,驱动机构包括驱动组件,第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过曝光区。当曝光时,第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过曝光区、以对第一待曝光件进行曝光,而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过曝光区、以对第二待曝光件进行曝光,第一装载台和第二装载台均循环运动,且第二待曝光件曝光时还能进行第一曝光成品的卸载或下一个第一待曝光件的装载,曝光效率更高,相比传统采用翻转双面曝光的方式,曝光精度也更高。

【技术实现步骤摘要】
双面曝光机及双面曝光方法
本专利技术涉及双面曝光
,特别是涉及一种双面曝光机及双面曝光方法。
技术介绍
传统的双面曝光机,通常采用菲林转印进行双面电路板的曝光。曝光前,需要先制作待转印图案的菲林;然后,将带有两面图案的菲林分别固定在上下两面玻璃上;接着,将待转印图案的电路板夹在上下两块玻璃之间,使用蓝紫色高亮度光源进行曝光,将线路图案转印到线路板上,完成双面曝光。而对于激光直写曝光机,通常采用单面曝光。先对电路板的其中一面进行曝光,待曝光完成后进行翻转,然后再对电路板的另一面进行曝光,最后完成对电路板的双面曝光。然而,激光直写曝光机进行双面曝光时,需进行翻转操作,而翻转操作必然会产生翻转后进行对位的问题,不仅增加了曝光流程,同时也会因对位精度问题影响曝光精度,从而影响最终的曝光效果。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种双面曝光机及双面曝光方法。该双面曝光机在进行曝光时无需翻转,减少曝光流程,提高曝光精度,进而提升曝光成像质量;该双面曝光方法应用于前述的双面曝光机,曝光效率更高,且便于实现自动化操作。其技术方案如下:一方面,提供了一种双面曝光机,包括安装架;曝光机构,曝光机构包括分别设于安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件,第一曝光组件和第二曝光组件相对设置、并形成曝光区;装载机构,装载机构包括第一装载台和第二装载台,第一装载台和第二装载台均与安装架活动连接;及驱动机构,驱动机构包括驱动组件;驱动组件驱动第一装载台以第一循环轨迹运动、并使第一装载台在第一运动状态时通过曝光区进行曝光;驱动组件还驱动第二装载台以第二循环轨迹运动、并使第二装载台在第二运动状态时通过曝光区进行曝光。上述双面曝光机,当曝光时,第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过曝光区、以对第一待曝光件进行曝光,而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过曝光区、以对第二待曝光件进行曝光,第一装载台和第二装载台均循环运动,且第二待曝光件曝光时还能进行第一曝光成品的卸载或下一个第一待曝光件的装载,曝光效率更高,相比传统采用翻转双面曝光的方式,曝光精度也更高。下面进一步对技术方案进行说明:在其中一个实施例中,第一装载台和第二装载台分别设于安装架的两侧,驱动组件还包括第一驱动组件和第二驱动组件,第一驱动组件用于驱动第一装载台、使第一装载台以第一循环轨迹运动,第二驱动组件用于驱动第二装载台、使第二装载台以第二循环轨迹运动。在其中一个实施例中,装载机构还包括第一运动板和第二运动板,第一运动板和第二运动板均与安装架活动连接;第一装载台设于第一运动板、并与第一运动板活动连接,第一驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件,第一驱动件用于驱动第一运动板在安装架移动,第二驱动件用于驱动第一装载台在第一运动板移动,第一运动板和第一装载台配合移动、使第一装载台沿第一循环轨迹运动;第二装载台设于第二运动板、并与第二运动板活动连接,第二驱动组件包括第三驱动件和第四驱动件,第三驱动件用于驱动第二运动板在安装架移动,第四驱动件用于驱动第二装载台在第二运动板移动,第二运动板和第二装载台配合移动、使第二装载台沿第二循环轨迹运动。在其中一个实施例中,安装架设有第一滑轨和第二滑轨,第一运动板设有与第一滑轨配合的第一滑槽,第二运动板设有与第二滑轨配合的第二滑槽;或第一运动板设有第一导杆,第一装载台设有与第一导杆配合的第一导向孔,第二运动板设有第二导杆,第二装载台设有与第二导杆配合的第二导向孔。在其中一个实施例中,还包括传感机构,传感机构包括第一传感器、第二传感器、第三传感器和第四传感器,第一传感器用于检测第一运动板的移动位置,第二传感器用于检测第一装载台的移动位置,第三传感器用于检测第二运动板的移动位置,第四传感器用于检测第二装载台的移动位置。在其中一个实施例中,还包括控制机构,控制机构包括控制器,第一曝光组件、第二曝光组件、第一驱动件、第二驱动件、第三驱动件、第四驱动件、第一传感器、第二传感器、第三传感器和第四传感器均与控制器电性连接。在其中一个实施例中,第一装载台设有第一装载部,第二装载台设有第二装载部。另一方面,还提供了一种双面曝光方法,能够应用于上述任一个技术方案所述的双面曝光机,包括以下步骤:(S1)、第一装载台位于第一初始位置,第二装载台位于第二初始位置,在第一装载台装载第一待曝光件;(S2)、第一装载台以第一循环轨迹运动至第一曝光位置、使第一待曝光件位于曝光区;(S3)、第一曝光组件和第二曝光组件对第一待曝光件进行曝光、并得到第一曝光成品;同时,在第二装载台装载第二待曝光件;(S4)、第一装载台沿第一循环轨迹运动至第一初始位置、并卸载第一曝光成品;(S5)、第二装载台沿第二循环轨迹运动至第二曝光位置、使第二待曝光件位于曝光区;(S6)、第一曝光组件和第二曝光组件对第二待曝光件进行曝光、并得到第二曝光成品;同时,在第一装载台装载下一个第一待曝光件;(S7)、第二装载台沿第二循环轨迹运动至第二初始位置、并卸载第二曝光成品。上述双面曝光方法,通过第一装载台和第二装载台的循环运动,使第一待曝光件和第二待曝光件先后进行曝光,便于实现自动化操作,且第二待曝光件曝光时,可同步进行下一个第一待曝光件的装载,提高曝光时的时间利用效率,提高曝光效率。附图说明图1为实施例中双面曝光方法的曝光流程图;图2为实施例中双面曝光机的整体结构正视图;图3为实施例中双面曝光机的整体结构俯视图。附图标注说明:100、安装架,210、第一曝光组件,220、第二曝光组件,310、第一装载台,320、第二装载台,330、第一运动板,340、第二运动板,410、第一待曝光件,420、第二待曝光件。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明:需要说明的是,文中所称元件与另一个元件“固定”时,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是与另一个元件“连接”时,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。相反,当元件被称作“直接在”另一元件“上”时,不存在中间元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1至图3所示的实施例,提供了一种双面曝光机,包括安装架100;曝光机构,曝光机构包括分别设于安装架100两侧的第一曝光组件210和第二曝光组件220,第一曝光组件210和第二曝光组件220相对设置、并形成曝光区;装载机构,装载机构包括第一装载台310和第二装载台320,第一装载台310和第二装载台320均与安装架100活动连接;及驱动机构,驱动机构包括驱动组件;驱动组件驱动第一装载台310以第一循环轨迹运动、并使第一装载台310在第一运动状态时通过曝光区进行曝光;驱动组件还驱动第二装载台320以第二循环轨迹运动、并使第二装载台320在第二运动状态时通过曝光区进行曝光。当曝光时,第一装载台310以第一循环轨迹本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种双面曝光机,其特征在于,包括:安装架;曝光机构,所述曝光机构包括分别设于所述安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件相对设置、并形成曝光区;装载机构,所述装载机构包括第一装载台和第二装载台,所述第一装载台和所述第二装载台均与所述安装架活动连接;及驱动机构,所述驱动机构包括驱动组件;所述驱动组件驱动所述第一装载台以第一循环轨迹运动、并使所述第一装载台在第一运动状态时通过所述曝光区进行曝光;所述驱动组件还驱动所述第二装载台以第二循环轨迹运动、并使所述第二装载台在第二运动状态时通过所述曝光区进行曝光。

【技术特征摘要】
1.一种双面曝光机,其特征在于,包括:安装架;曝光机构,所述曝光机构包括分别设于所述安装架两侧的第一曝光组件和第二曝光组件,所述第一曝光组件和所述第二曝光组件相对设置、并形成曝光区;装载机构,所述装载机构包括第一装载台和第二装载台,所述第一装载台和所述第二装载台均与所述安装架活动连接;及驱动机构,所述驱动机构包括驱动组件;所述驱动组件驱动所述第一装载台以第一循环轨迹运动、并使所述第一装载台在第一运动状态时通过所述曝光区进行曝光;所述驱动组件还驱动所述第二装载台以第二循环轨迹运动、并使所述第二装载台在第二运动状态时通过所述曝光区进行曝光。2.根据权利要求1所述的双面曝光机,其特征在于,所述第一装载台和所述第二装载台分别设于所述安装架的两侧,所述驱动组件还包括第一驱动组件和第二驱动组件,所述第一驱动组件用于驱动所述第一装载台、使所述第一装载台以所述第一循环轨迹运动,所述第二驱动组件用于驱动所述第二装载台、使所述第二装载台以所述第二循环轨迹运动。3.根据权利要求2所述的双面曝光机,其特征在于,所述装载机构还包括第一运动板和第二运动板,所述第一运动板和所述第二运动板均与所述安装架活动连接;所述第一装载台设于所述第一运动板、并与所述第一运动板活动连接,所述第一驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件,所述第一驱动件用于驱动所述第一运动板在所述安装架移动,所述第二驱动件用于驱动所述第一装载台在所述第一运动板移动,所述第一运动板和所述第一装载台配合移动、使所述第一装载台沿所述第一循环轨迹运动;所述第二装载台设于所述第二运动板、并与所述第二运动板活动连接,所述第二驱动组件包括第三驱动件和第四驱动件,所述第三驱动件用于驱动所述第二运动板在所述安装架移动,所述第四驱动件用于驱动所述第二装载台在所述第二运动板移动,所述第二运动板和所述第二装载台配合移动、使所述第二装载台沿所述第二循环轨迹运动。4.根据权利要求3所述的双面曝光机,其特征在于,所述安装架设有第一滑轨和第二滑轨,所述第一运动板设有与所述第一滑轨配合的第一滑槽,所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪孝军廖平强张胜
申请(专利权)人:中山新诺科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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