一体式阴极盖板控制面板制造技术

本实用新型专利技术涉及阴极设备技术领域，具体是一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口，本实用新型专利技术实施例提供的一体式阴极盖板控制面板，将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上，方便生产过程中的检查，并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化；所有接口全部采用快插式接口，简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤，同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性，本实用新型专利技术能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板，结构简单，设计合理。

【技术实现步骤摘要】
一体式阴极盖板控制面板
本技术涉及真空磁控溅射镀膜腔体中的一体式阴极盖板控制面板，属于阴极设备

技术介绍
真空磁控溅射阴极由靶材、控制系统、通讯系统、冷却水、气路、高压电路等部件组成，这些部件会通过大量的外接线连接，其中阴极盖板中集成了许多部件的连接端，导致盖板外部链接无序，不仅使得难以整理，不利于连接端的散热，特别是不利于不同的供应商组成难以达成一致。目前的阴极盖板不同功能的连接端之间的没有明显的分区，各外部连接端分散杂乱，导致连接端不稳定，增加了维修的复杂度及维修几率，降低真空磁控溅射阴极的工作寿命。因此，亟需一种能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化一体式阴极盖板控制面板。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供了一种能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化一体式阴极盖板控制面板，安装简易明了，面板控制安全。本技术的技术方案如下：一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板、监控器、冷却水快接头、工艺气体快接头、通讯接口、控制快插接口及高压快插接口，冷却水快接头设置在面板背板最左侧，工艺气体快接头设置在面板背板的最右侧，监控器设置在面板背板上端的中间位置，监控器底端从左至右依次为通讯接口、控制快插接及高压快插接口，监控器、通讯接口、控制快插接及高压快插接口之间有间隙。冷却水快接头为铜质航空接头。工艺气体快接头包括氩气快接头，氧气快接头，氮气接头快接头及备用快接头。冷却水快接头垂直设有至少2个冷却水快接头。面板背板顶端设有等腰梯形结构的突起，突起中间设有圆形通孔。冷却水快接头的接头端设有密封圈，所述密封圈为膨胀橡胶圈。高压快插接口的接头端设有绝缘圈层，所述绝缘圈层包覆在高压快插接口的外表面。通讯接口设有倒八字型的弹簧卡件，所述弹簧卡夹为弹性结构。面板背板表面设有镀膜。面板背板边缘设有固定端，所述固定端与面板背板所在平面有角度差，所述角度差的的范围为顺时针30°－45°范围内，所述固定端设有通孔，所述通孔与紧固螺丝配套。由以上技术方案可见，本技术实施例提供的一体式阴极盖板控制面板，将磁控溅射阴极盖板的各外部连接端有机集中到一块面板上，方便生产过程中的检查，并且最大限度的使复杂的阴极盖板简洁化；所有接口全部采用快插式接口，简化了在开腔检查过程中阴极盖板的装卸步骤，同时将通讯接口与控制接口分开处理最大限度保证系统通讯的稳定性，本技术能够将外部的连接端有效集中并进行分区的集成化控制面板，结构简单，设计合理。附图说明图1为本技术一体式阴极盖板控制面板的结构示意图；其中：1、面板背板；2、冷却水快接头；3、监控器；4、工艺气体快接头；5、高压快插接口；6、控制快插接口；7、通讯接口。具体实施方式下面对本技术的技术方案进行具体阐述，需要指出的是，本技术的技术方案不限于实施例所述的实施方式，本领域的技术人员参考和借鉴本技术技术方案的内容，在本技术的基础上进行的改进和设计，应属于本技术的保护范围。实施例一：一体式阴极盖板控制面板包括：面板背板1、监控器3、冷却水快接头2、工艺气体快接头4、通讯接口7、控制快插接口6及高压快插接口5，冷却水快接头2设置在面板背板1最左侧，工艺气体快接头4设置在面板背板1的最右侧，监控器3设置在面板背板1上端的中间位置，监控器3底端从左至右依次为通讯接口7、控制快插接及高压快插接口5，有效将各功能接口集成在面板背板1上，形成一体式结构，监控器3、通讯接口7、控制快插接及高压快插接口5之间有间隙，在面板背板1有效结构范围内间距越大越好，方便工人外插连接端，通讯接口7与控制快插接口6分离，杜绝信号干扰，监控器3的设置便于观察面板背板1的工作情况。冷却水快接头2为铜质航空接头，有效减少插拔冷却水快接头2时冷却水溢出的情况。工艺气体快接头4包括氩气快接头，氧气快接头，氮气接头快接头及备用快接头。冷却水快接头2垂直设有至少2个冷却水快接头2。面板背板1顶端设有等腰梯形结构的突起，突起中间设有圆形通孔。冷却水快接头2的接头端设有密封圈，所述密封圈为膨胀橡胶圈。高压快插接口5的接头端设有绝缘圈层，所述绝缘圈层包覆在高压快插接口5的外表面。通讯接口7设有倒八字型的弹簧卡件，所述弹簧卡夹为弹性结构。面板背板1表面设有镀膜。面板背板1边缘设有固定端，所述固定端与面板背板1所在平面有角度差，所述角度差的的范围为顺时针30°－45°范围内，所述固定端设有通孔，所述通孔与紧固螺丝配套，方便安装拆卸及日常检查维护。实施例二：在上述第一种技术实施例的基础上，作进一步改进：一体式阴极盖板控制面板，包括：面板背板1、监控器3、冷却水快接头2、工艺气体快接头4、通讯接口7、控制快插接口6及高压快插接口5，冷却水快接头2设置在面板背板1最左侧，工艺气体快接头4设置在面板背板1的最右侧，监控器3设置在面板背板1上端的中间位置，监控器3底端从左至右依次为通讯接口7、控制快插接及高压快插接口5，监控器3、通讯接口7、控制快插接及高压快插接口5之间有间隙。通讯接口7为半导体硅接头。工艺气体快接头4包括氩气快接头，氧气快接头，氮气接头快接头及备用快接头。冷却水快接头2垂直设有至少2个冷却水快接头2，冷却水快接头2设有进水端及出水端。面板背板1顶端设有等腰梯形结构的突起，突起中间设有圆形通孔。冷却水快接头2的接头端设有密封圈，所述密封圈为膨胀橡胶圈。高压快插接口5的接头端设有绝缘圈层，所述绝缘圈层包覆在高压快插接口5的外表面。通讯接口7设有倒八字型的弹簧卡件，所述弹簧卡夹为弹性结构。面板背板1内层设有缓冲垫，所述缓冲垫为平板结构，缓冲垫表面设有蜂窝状散热孔。面板背板1表面设有镀膜，面板背板1表面的镀膜为平板玻璃镀膜，更加美观。面板背板1边缘设有固定端，固定端设有滑轨，所述固定端与面板背板1所在平面有角度差，所述滑轨内侧设有膨胀条，在维修过程中，面板背板1需要进行拆修时，拆卸过程中通过滑轨避免繁琐的拆修过程，降低人工劳动量及危险系数。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一体式阴极盖板控制面板，包括：面板背板(1)、监控器(3)、冷却水快接头(2)、工艺气体快接头(4)、通讯接口(7)、控制快插接口(6)及高压快插接口(5)，其特征在于：冷却水快接头(2)设置在面板背板(1)最左侧，工艺气体快接头(4)设置在面板背板(1)的最右侧，监控器(3)设置在面板背板(1)上端的中间位置，监控器(3)底端从左至右依次为通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)，监控器(3)、通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)之间有间隙。

【技术特征摘要】
1.一体式阴极盖板控制面板，包括：面板背板(1)、监控器(3)、冷却水快接头(2)、工艺气体快接头(4)、通讯接口(7)、控制快插接口(6)及高压快插接口(5)，其特征在于：冷却水快接头(2)设置在面板背板(1)最左侧，工艺气体快接头(4)设置在面板背板(1)的最右侧，监控器(3)设置在面板背板(1)上端的中间位置，监控器(3)底端从左至右依次为通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)，监控器(3)、通讯接口(7)、控制快插接及高压快插接口(5)之间有间隙。2.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板，其特征在于：冷却水快接头(2)为铜质航空接头。3.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板，其特征在于：工艺气体快接头(4)包括氩气快接头，氧气快接头，氮气接头快接头及备用快接头。4.如权利要求1所述的一体式阴极盖板控制面板，其特征在于：冷却水快接头(2)垂直设有至少2个冷却水快接头(2)。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宏斌，冷庆吉，齐丽婧，郭仙，柳丽丽，李忠祥，
申请(专利权)人：河北物华天宝镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13