一种易于安装的旋转硅铝靶材制造技术

本实用新型专利技术提供了一种易于安装的旋转硅铝靶材，涉及靶材技术领域，其包括背衬管、接合件和靶材体，所述背衬管上位于所述靶材体长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体内壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背衬管截面的半径方向滑移设置，所述背衬管上远离其设置所述定位凸起一端设有与所述靶材体侧壁相互抵接的环形抵接板，所述环形抵接板上设有保持所述靶材体与所述背衬管圆心一致的定位装置，所述环形抵接板可拆卸连接设置在所述背衬管上，通过嵌设在靶材体内壁上的定位凸起及环形抵接板对靶材体水平方向的位置进行固定，防止在进行安装过程中，由于接合件粘着力不足导致靶材体受到外力作用而引起掉落。

【技术实现步骤摘要】
一种易于安装的旋转硅铝靶材
本技术涉及靶材
，特别涉及一种易于安装的旋转硅铝靶材。
技术介绍
磁控溅镀法是通过在溅镀系统中加装磁控装置，通过磁场与电场之间的电磁效应改变电浆内电子的移动，达到提高游离率与溅镀效率的目的；现有技术中为了提高靶材的使用效率，通常选用旋转靶材来进行磁控溅镀工艺。在组装过程中，现有技术多半是利用低熔点金属作为焊料，将此焊料填入旋转靶材的靶材体与背衬管之间的间隙，以达到接合的目的。因此，公开号为“CN107663630A”的中国专利公开了一种旋转靶材，其包含靶材体、背衬管及接合件，所述接合件设置于所述靶材体与所述背衬管之间，且所述接合件包含可压缩结构与导电导热胶，所述可压缩结构为可压缩毯或可压缩片。上述技术方案中所披露的一种旋转靶材，其利用接合件接合靶材体和背衬管不仅简化了旋转靶材的工艺，还能在维持靶材体和背衬管的接合强度的同时，提升旋转靶材的溅镀功率耐受度，进而提升其溅镀效率，但是由于靶材体与背衬管之间通过接合件固定，而在进行安装过程中，接合件为流状物质，从而在进行安装过程中不能准确地对靶材体进行定位，从而导致在进行接合件冷凝过程中，靶材体容易从背衬管上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易于安装的旋转硅铝靶材，包括背衬管（1）、接合件（2）和靶材体（3），其特征在于：所述背衬管（1）上位于所述靶材体（3）长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体（3）内壁上的定位凸起（11），且所述定位凸起（11）沿所述背衬管（1）截面的半径方向滑移设置，所述背衬管（1）上远离其设置所述定位凸起（11）一端设有与所述靶材体（3）侧壁相互抵接的环形抵接板（4），所述环形抵接板（4）上设有保持所述靶材体（3）与所述背衬管（1）圆心一致的定位装置，所述环形抵接板（4）可拆卸连接设置在所述背衬管（1）上。

【技术特征摘要】
1.一种易于安装的旋转硅铝靶材，包括背衬管（1）、接合件（2）和靶材体（3），其特征在于：所述背衬管（1）上位于所述靶材体（3）长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体（3）内壁上的定位凸起（11），且所述定位凸起（11）沿所述背衬管（1）截面的半径方向滑移设置，所述背衬管（1）上远离其设置所述定位凸起（11）一端设有与所述靶材体（3）侧壁相互抵接的环形抵接板（4），所述环形抵接板（4）上设有保持所述靶材体（3）与所述背衬管（1）圆心一致的定位装置，所述环形抵接板（4）可拆卸连接设置在所述背衬管（1）上。2.根据权利要求1所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述背衬管（1）上设有供所述定位凸起（11）滑移的定位槽（12），所述定位槽（12）内设有抵接在所述定位凸起（11）底部的抵接弹簧（121）。3.根据权利要求2所述的一种易于安装的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述定位凸起（11）背离所述环形抵接板（4）一侧设有倾斜面（111），所述倾斜面（111）倾斜向上设置。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：常代展，王雷，
申请(专利权)人：南通安泰新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32