用于测量计校零的治具制造技术

本发明专利技术提供一种用于测量计校零的治具，包括直角镜筒、反光镜及校零螺丝刀，所述反光镜设置于直角镜筒内的直角拐弯处，且所述反光镜的平面与水平镜筒的轴心线之间呈45度角，使用时，所述校零螺丝刀竖直设于竖直镜筒一侧，所述校零螺丝刀转动调节测量计的校零螺丝而对所述测量计进行校零，通过直角镜筒的水平镜筒观察竖直镜筒下方校零螺丝的调节情况，从而可以从狭小空间侧方直观看到竖直校零孔的内部状况，以减少校零作业时间、降低风险、增加调整精度。

【技术实现步骤摘要】
用于测量计校零的治具
本专利技术涉及显示器的制程领域，尤其涉及一种用于测量计校零的治具。
技术介绍
在显示
，薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，TFT-LCD)具有机身薄、省点、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本屏幕等。液晶显示器一般包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。上述TFT-LCD的制作过程中，尤其是薄膜晶体管阵列基板的制作过程中，刻蚀工艺是一个最重要的图形转移工艺步骤，尤其是多晶硅刻蚀，应用于需要去除硅的场合。刻蚀是指利用化学或物理方法有选择地从材料膜片表面去除不需要的材料的过程，刻蚀的基本工艺目的是在涂胶的材料膜片上正确的复制出掩膜图形，刻蚀通常是在光刻工艺之后进行，将需要的图形留在材料膜片上，刻蚀可以被称为最终的和最主要的图形转移工艺步骤。干法刻蚀通常是利用辉光放电方式，产生包含离子、电子等带电粒子以及具有高度化学活性的中性原子、分子及自由基的电浆，来进行图案转印的刻蚀技术，干法刻蚀具有很好的各向异性线宽控制，干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，广泛应用于半导体或LCD前段制程等微电子技术中。在使用干刻蚀设备进行干法刻蚀时，其工艺腔(ProcessChamber，PC)下方需要设置压力测量仪(gauge)对工艺腔内的压力进行实时检测，由于干刻蚀制程特殊，压力测量仪由于受到工艺腔内生成物的影响而转动(shift)较快，需要每天校零2-3次，另外由于干刻蚀设备内部空间较狭小，压力测量仪与上方工艺腔的距离不足200mm，且干刻蚀设备需求工艺腔下方的压力测量仪为竖直型，压力测量仪的校零螺丝为内置型，校零螺丝位于压力测量仪的内置校零孔中，因此从非俯视位置无法观察到内部校零螺丝的状况，执行校零动作不便，且无法直观看到，有使校零螺丝倾斜和断裂风险，从而导致压力测量仪报废。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于测量计校零的治具，可以从狭小空间侧方直观看到竖直校零孔的内部状况，以减少校零作业时间、降低风险、增加调整精度。为实现上述目的，本专利技术提供一种用于测量计校零的治具，包括直角镜筒、反光镜及校零螺丝刀；所述直角镜筒由相互垂直连通的水平镜筒和竖直镜筒所组成，所述反光镜设置于直角镜筒内的直角拐弯处，所述反光镜的平面与水平镜筒的轴心线之间呈45度角，从而使得进入竖直镜筒的光线经反光镜反射后从水平镜筒中穿出；使用时，所述校零螺丝刀竖直设于竖直镜筒一侧，所述校零螺丝刀转动调节测量计的校零螺丝而对所述测量计进行校零，并通过直角镜筒的水平镜筒观察竖直镜筒下方校零螺丝的调节情况。所述竖直镜筒的筒壁上设有约束槽，所述约束槽用于防止所述校零螺丝刀在调节校零螺丝时发生倾斜，使用时，所述校零螺丝刀贯穿所述约束槽而设于竖直镜筒一侧，所述约束槽允许所述校零螺丝刀在其内转动及上下移动。所述校零螺丝刀上套设有一齿轮，使用时，所述校零螺丝刀上的齿轮与所述校零螺丝刀一同被约束在约束槽中，所述约束槽的尺寸被设置为限制齿轮水平移动且适合齿轮上下移动。所述约束槽水平方向上的横截面形状为大于半圆的圆弧形。所述竖直镜筒在远离所述反光镜一端的筒壁上设有起照明作用的LED灯。所述直角镜筒的筒壁上设有与LED灯相连接的用于对LED灯进行供电的供电电池。所述供电电池为太阳能电池板。所述竖直镜筒的筒壁上还设有卡槽，所述卡槽用于与校零螺丝刀相卡合而实现所述校零螺丝刀的固定。所述直角镜筒的直径为40mm-60mm。所述测量计为干刻蚀设备的压力测量仪。本专利技术的有益效果：本专利技术的用于测量计校零的治具，包括直角镜筒、反光镜及校零螺丝刀，所述反光镜设置于直角镜筒内的直角拐弯处，且所述反光镜的平面与水平镜筒的轴心线之间呈45度角，使用时，所述校零螺丝刀竖直设于竖直镜筒一侧，所述校零螺丝刀转动调节测量计的校零螺丝而对所述测量计进行校零，通过直角镜筒的水平镜筒观察竖直镜筒下方校零螺丝的调节情况，从而可以从狭小空间侧方直观看到竖直校零孔的内部状况，以减少校零作业时间、降低风险、增加调整精度。为了能更进一步了解本专利技术的特征以及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本专利技术加以限制。附图说明下面结合附图，通过对本专利技术的具体实施方式详细描述，将使本专利技术的技术方案及其他有益效果显而易见。附图中，图1为本专利技术用于测量计校零的治具的结构示意图；图2为本专利技术用于测量计校零的治具中直角镜筒的竖直镜筒在尺寸处的俯视示意图。具体实施方式为更进一步阐述本专利技术所采取的技术手段及其效果，以下结合本专利技术的实施例及其附图进行详细描述。请参阅图1，本专利技术提供一种用于测量计校零的治具，包括直角镜筒1、反光镜2及校零螺丝刀3；所述直角镜筒1由相互垂直连通的水平镜筒11和竖直镜筒12所组成，所述反光镜2设置于直角镜筒1内的直角拐弯处，所述反光镜2的平面与水平镜筒11的轴心线之间呈45度角，从而使得进入竖直镜筒12的光线经反光镜2反射后从水平镜筒11中穿出；所述校零螺丝刀3竖直设于竖直镜筒12一侧，使用时，所述校零螺丝刀3伸入测量计5内，所述校零螺丝刀3转动调节测量计5的校零螺丝51而对所述测量计5进行校零，并通过直角镜筒1的水平镜筒11观察竖直镜筒12下方校零螺丝51的调节情况。本专利技术的用于测量计校零的治具，反光镜2按照其平面与水平镜筒11轴心线之间呈45度角的方式设置于直角镜筒1内的直角拐弯处，使用时，所述校零螺丝刀3竖直设于竖直镜筒12一侧并转动调节测量计5的校零螺丝51而对所述测量计5进行校零，从而通过直角镜筒1可以从狭小空间侧方直观看到竖直校零孔的内部校零螺丝51的调节情况，以减少校零作业时间、降低风险、增加调整精度。具体地，所述竖直镜筒12的筒壁上设有用于防止所述校零螺丝刀3在调节校零螺丝51时发生倾斜的约束槽121，使用时，所述校零螺丝刀3贯穿所述约束槽121而设于竖直镜筒12一侧，所述约束槽121允许所述校零螺丝刀3在其内转动及上下移动。具体地，所述校零螺丝刀3上套设有一齿轮4，使用时，所述校零螺丝刀3上的齿轮4与所述校零螺丝刀3一同被约束在约束槽121中，所述约束槽121的尺寸被设置为限制齿轮4水平移动且适合齿轮4上下移动。具体地，如图2所示，所述约束槽121水平方向的的横截面形状为大于半圆的圆弧形。具体地，所述竖直镜筒12远离所述反光镜2一端的筒壁上安装有起照明作用的LED灯13。具体地，所述直角镜筒1上设有与LED灯13相连接的用于对LED灯13进行供电的供电电池14。具体地，所述供电电池14为太阳能电池板。具体地，所述竖直镜筒12的筒壁上还设有与所述约束槽121间隔设置的卡槽122，所述卡槽122用于与所述校零螺丝刀3的一端相卡合实现固定，方便平时放置时将螺丝刀3卡合至此处，使用时从卡槽122取出。具体地，所述校零螺丝刀3的一端为与所述卡槽122相配合的钉帽，另一端为与校零螺丝51相配合的形状。具体地，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测量计校零的治具，其特征在于，包括直角镜筒(1)、反光镜(2)及校零螺丝刀(3)；所述直角镜筒(1)由相互垂直连通的水平镜筒(11)和竖直镜筒(12)所组成，所述反光镜(2)设置于直角镜筒(1)内的直角拐弯处，所述反光镜(2)的平面与水平镜筒(11)的轴心线之间呈45度角；使用时，所述校零螺丝刀(3)竖直设于竖直镜筒(12)一侧，所述校零螺丝刀(3)转动调节测量计(5)的校零螺丝(51)而对所述测量计(5)进行校零，并通过直角镜筒(1)的水平镜筒(11)观察竖直镜筒(12)下方校零螺丝(51)的调节情况。

【技术特征摘要】
1.一种用于测量计校零的治具，其特征在于，包括直角镜筒(1)、反光镜(2)及校零螺丝刀(3)；所述直角镜筒(1)由相互垂直连通的水平镜筒(11)和竖直镜筒(12)所组成，所述反光镜(2)设置于直角镜筒(1)内的直角拐弯处，所述反光镜(2)的平面与水平镜筒(11)的轴心线之间呈45度角；使用时，所述校零螺丝刀(3)竖直设于竖直镜筒(12)一侧，所述校零螺丝刀(3)转动调节测量计(5)的校零螺丝(51)而对所述测量计(5)进行校零，并通过直角镜筒(1)的水平镜筒(11)观察竖直镜筒(12)下方校零螺丝(51)的调节情况。2.如权利要求1所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述竖直镜筒(12)的筒壁上设有约束槽(121)，所述约束槽(121)用于防止所述校零螺丝刀(3)在调节校零螺丝(51)时发生倾斜，使用时，所述校零螺丝刀(3)贯穿所述约束槽(121)而设于竖直镜筒(12)一侧，所述约束槽(121)允许所述校零螺丝刀(3)在其内转动及上下移动。3.如权利要求2所述的用于测量计校零的治具，其特征在于，所述校零螺丝刀(3)上套设有一齿轮(4)，使用时，所述校零螺丝刀(3)上的齿轮(4)与所述校零螺丝刀(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张作瑞，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42