一种保证铟层厚度均匀性的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了保证铟层厚度均匀性的装置及方法，该装置包括平面工作台、靶材基板、压条、铜丝、平面靶材、压板、压块和G字型夹具，靶材基板放置在平面工作台上，铜丝放置在靶材基板上，压条压住铜丝，铜丝长度延伸至压条外沿，平面靶材放置在铜丝上，平面靶材上设有压板，压板上设有压块，压条通过G字型夹具进行固定。该方法将铜丝分布在靶材基板上，并用压条和G字型夹具将铜丝固定在平面工作台上；在靶材基板上倒入溶化的铟，再将平面靶材贴合在铟上，然后在平面靶材上面放置压板和压块，利用重力将平面靶材与靶材基板之间多余的铟挤压出来。本发明专利技术能够确保靶材贴合过程中铟层的厚度均匀性，防止平面靶材的弯曲、变形、开裂。

【技术实现步骤摘要】
一种保证铟层厚度均匀性的装置及方法
本专利技术涉及平面靶材贴合
，具体涉及一种保证铟层厚度均匀性的装置及方法。
技术介绍
现有技术中，用于显示器行业的平面靶材对平整度的要求很高，而平面靶材的品类众多，尺寸各异，靶材基板也是种类繁多，尺寸各异，各靶材和靶材基板的膨胀系数不一致，导致冷却后各个点的铟层厚度不均匀，从而导致贴合好的靶材弯曲、变形严重，不但无法满足显示器行业对平面靶材的平整度要求，同时在实际生产中会因为弯曲、变形、铟层厚度不均匀而导致的脱靶，靶材开裂等严重的问题产生。而在靶材贴合的过程中如果保证了靶材和靶材基板之间的铟层的厚度及均匀性，就能有效缓冲靶材和靶材基板之间的膨胀系数差，从而能消除由于靶材和靶材基板之间的膨胀系数差而导致的弯曲、变形等问题。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种保证铟层厚度均匀性的装置及方法。本专利技术通过如下技术方案实现上述目的：一种保证铟层厚度均匀性的装置，包括平面工作台、靶材基板、压条、铜丝、平面靶材、压板、压块和G字型夹具，所述靶材基板放置在平面工作台上，所述铜丝放置在靶材基板上，所述压条压住铜丝，所述铜丝长度延伸至压条外沿，所述平面靶材放置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 一种保证铟层厚度均匀性的装置，其特征在于：包括平面工作台、靶材基板、压条、铜丝、平面靶材、压板、压块和G字型夹具，所述靶材基板放置在平面工作台上，所述铜丝放置在靶材基板上，所述压条压住铜丝，所述铜丝长度延伸至压条外沿，所述平面靶材放置在铜丝上，所述平面靶材上设有压板，所述压板上设有压块，所述压条通过 G字型夹具进行固定。

【技术特征摘要】
1.一种保证铟层厚度均匀性的装置，其特征在于：包括平面工作台、靶材基板、压条、铜丝、平面靶材、压板、压块和G字型夹具，所述靶材基板放置在平面工作台上，所述铜丝放置在靶材基板上，所述压条压住铜丝，所述铜丝长度延伸至压条外沿，所述平面靶材放置在铜丝上，所述平面靶材上设有压板，所述压板上设有压块，所述压条通过G字型夹具进行固定。2.根据权利要求1所述的保证铟层厚度均匀性的装置，其特征在于：所述平面工作台上设有料槽，所述料槽安装在平面工作台四周。3.根据权利要求1所述的保证铟层厚度均匀性的装置，其特征在于：所述平面工作台下端安装有若干支撑柱，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何凌男，陈江伟，
申请(专利权)人：苏州精美科光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32