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本发明公开了保证铟层厚度均匀性的装置及方法，该装置包括平面工作台、靶材基板、压条、铜丝、平面靶材、压板、压块和G字型夹具，靶材基板放置在平面工作台上，铜丝放置在靶材基板上，压条压住铜丝，铜丝长度延伸至压条外沿，平面靶材放置在铜丝上，平面靶材...
该专利属于苏州精美科光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精美科光电材料有限公司授权不得商用。

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