用于将第一基板与第二基板对准的方法和设备技术

本发明专利技术涉及一种用于将第一基板(201)特别是掩模与第二基板(203)特别是晶片对准的方法(100)，包括：将第一基板(201)和第二基板(203)插入(101)到定位装置(205)中；捕捉(103)第一基板(201)和第二基板(203)的至少一个联合图像(301)；显示(105)图像(301)；图像(301)中的多个图像点被用户标记(107)；以及以基板(201、203)被彼此对准的这种方式基于标记的图像点确定(109)用于致动定位装置(205)的控制命令。

【技术实现步骤摘要】
用于将第一基板与第二基板对准的方法和设备
本专利技术涉及对准基板的领域，特别是在掩模对准器或键合对准器中。
技术介绍
在半导体技术中，已知将一个在另一个之上布置的两个基板对准。例如，在掩模对准器中，在通过光掩模照射晶片之前，将光掩模与晶片彼此精确地对准。同样地，在键合对准器中，两个晶片在其随后被永久性或暂时性键合之前被初始对准。这种对准或由用户手动地执行或自动地执行。在手动的对准中，用户一般直接借助于操纵杆(joystick)来控制基板中的至少一个的移动。对于用户来说，这种直接控制要求对关于由使用操纵杆的输入引起基板相对于另一基板的位置的何种变化的准确理解。因此，手动对准初始必须由用户学习，并且这可以导致相当大的时间和金钱的花费。在自动的对准(自动对准)中，例如通过使用图像识别软件检测基板表面上的匹配调整标记来自动地检测基板相对于彼此的偏移和歪斜。晶片随后被完全自动地对准，而不要求用户输入。然而，由于初始必须训练该图像识别软件来识别该调整标记(目标训练)，所以此类型的对准是复杂的。另外，只有具有合适调整标记的基板才可以通过自动对准被对准。该调整标记必须不是可混淆的或受损的，并且即使当本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于将第一基板(201)特别是掩模与第二基板(203)特别是晶片对准的方法(100)，包括：将所述第一基板(201)和所述第二基板(203)插入(101)到定位装置(205)中；捕捉(103)所述第一基板(201)和所述第二基板(203)的至少一个联合图像(301)；显示(105)所述图像(301)；所述图像(301)中的多个图像点被用户标记(107)；以及以所述基板(201、203)被彼此对准的这种方式基于标记的图像点确定(109)用于致动定位装置(205)的控制命令。

【技术特征摘要】
2017.05.05 NL 20188561.一种用于将第一基板(201)特别是掩模与第二基板(203)特别是晶片对准的方法(100)，包括：将所述第一基板(201)和所述第二基板(203)插入(101)到定位装置(205)中；捕捉(103)所述第一基板(201)和所述第二基板(203)的至少一个联合图像(301)；显示(105)所述图像(301)；所述图像(301)中的多个图像点被用户标记(107)；以及以所述基板(201、203)被彼此对准的这种方式基于标记的图像点确定(109)用于致动定位装置(205)的控制命令。2.根据权利要求1所述的方法，其中，响应于接收控制命令的所述定位装置(205)将所述基板(201、203)彼此横向对准。3.根据权利要求1所述的方法(100)，其中，在确定所述控制命令(109)之前，检测机器状态，例如当前过程步骤、机器类型或机器配置。4.根据权利要求3所述的方法(100)，其中，基于检测到的机器状态来另外地确定所述控制命令。5.根据权利要求1所述的方法(100)，其中，由所述用户通过例如使用外围设备点击所述图像点或通过拖动鼠标光标而在所述图像中标记(107)所述多个图像点。6.根据权利要求1所述的方法(100)，其中，由用户通过对触摸显示器进行触摸而在所述图像(301)中标记(107)所述多个图像点。7.根据权利要求1所述的方法(100)，其中，捕捉(103)所述图像的方法步骤包括捕捉所述基板(201、203)的第一联合图像(401)和第二联合图像(403)，所述第一联合图像(401)和所述第二联合图像(403)被并排地、一个在另一个之上、或者交替地显示。8.根据权利要求7所述的方法(100)，其中，所述第一联合图像(...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡特琳·辛德勒，
申请(专利权)人：苏斯微技术光刻有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE