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本发明涉及一种用于将第一基板(201)特别是掩模与第二基板(203)特别是晶片对准的方法(100)，包括：将第一基板(201)和第二基板(203)插入(101)到定位装置(205)中；捕捉(103)第一基板(201)和第二基板(203)的至...
该专利属于苏斯微技术光刻有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏斯微技术光刻有限公司授权不得商用。

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