【技术实现步骤摘要】
一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器
本技术涉及传感器领域，尤其涉及一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器。
技术介绍
目前市面上的压力传感器不外乎压阻式，压电式或者谐振式；压阻式压力传感器的敏感单元是压敏电阻，其特点为当外界压力作用于压敏电阻上引起阻值发生改变，通过测定输出电压值的变化换算出外部压力的大小。该类传感器的缺点是温漂严重，且长时间使用易产生蠕变效应，故应用精度要求低静态力的测试。压电式传感器采用压电石英或陶瓷材料，该类传感器的最大特点压电系数高，Q值高故测试精度高；但是是能测试动态力。最近几年谐振式压力传感器越来越受到关注，采用压电谐振元器件制作而成，同谐振元器件的频率变化感知外界力的大小，其特点直接数字频率信号输出，且精度较上述两种高，另外该类传感器既能测试静态的力同时还可以测试动态的力；在较高精度力测试情况下备受关注。在制作上述传感器时面临最大的问题是，敏感元件与结构之间的安装问题。过往的做法是通过粘贴的方式将二者连接在一起，这样的做法会存在以下几点问题：1、胶点的连接会导致传感器长期稳定性。由于胶会随着外界的温度的影响已经长期老化必将导致敏感元件与结...
【技术保护点】
1.一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，包括敏感元件(1)和传感器主体(2)，所述传感器主体(2)包括基座(3)、引线(4)、底板(5)和外接线(6)，所述底板(5)上设有放大电路(7)，所述敏感元件(1)固定于基座(3)中，所述敏感元件(1)和放大电路(7)通过引线(4)电连接，所述外接线(6)与放大电路(7)电连接，其特征在于，所述敏感元件(1)全部由石英构成，包括元件本体(1‑1)，谐振晶片(1‑2)和第一通孔(1‑3)，所述元件本体(1‑1)为空心圆柱体结构，所述元件本体(1‑1)的顶部设有水平截面的施力平台(1‑1‑1)，所述元件本体(1‑1)的底部设有水平截面的...
【技术特征摘要】
1.一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，包括敏感元件(1)和传感器主体(2)，所述传感器主体(2)包括基座(3)、引线(4)、底板(5)和外接线(6)，所述底板(5)上设有放大电路(7)，所述敏感元件(1)固定于基座(3)中，所述敏感元件(1)和放大电路(7)通过引线(4)电连接，所述外接线(6)与放大电路(7)电连接，其特征在于，所述敏感元件(1)全部由石英构成，包括元件本体(1-1)，谐振晶片(1-2)和第一通孔(1-3)，所述元件本体(1-1)为空心圆柱体结构，所述元件本体(1-1)的顶部设有水平截面的施力平台(1-1-1)，所述元件本体(1-1)的底部设有水平截面的固定平台(1-1-2)，所述元件本体(1-1)的正面中心开设有第一通孔(1-3)，所述第一通孔(1-3)中心设有与元件本体(1-1)相连的谐振晶片(1-2)。2.根据权利要求1所述的一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，其特征在于：所述元件本体(1-1)的结构尺寸中，空心圆柱体壁厚为4.70～4.80mm，外径为13mm～15mm。3.根据权利要求1所述的一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器，其特征在于：所述第一通孔(1-3)呈圆柱形贯穿于元件本体(1-1)的正...
【专利技术属性】
技术研发人员：桑利，李辉，
申请(专利权)人：成都奥森泰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51
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