利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法技术

一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，该方法包括下述步骤：（1）、硝氟酸溶液浸泡：硝氟酸溶液采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为14~16小时，直至目测工件表面无残留膜为止；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。本发明专利技术利用硝氟酸进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。

Method for removing surface film of quartz, ceramic or stainless steel workpiece by using nitofluoric acid solution

A method for removing the surface film of quartz, ceramic or stainless steel workpiece by using nitric fluoride acid solution is described. The method comprises the following steps: (1) immersing in nitofluoric acid solution: nitric acid and hydrofluoric acid, and the volume ratio of each liquid is HNO3:HF:H2O= (17~23): (0.5~1.5): (17~23) The reaction is to soak at room temperature for 14 to 16 hours until there is no residual film on the surface of the workpiece by visual inspection; (2) rinse: rinse with flowing water for more than 30 seconds; (3) pure water immersion: rinse with flowing water for more than 30 minutes, and soak in water for more than 30 minutes. The flow of super pure water should be maintained; (4) Drying: The workpiece after soaking and cleaning should be placed on the fixture of drying furnace for drying treatment. The invention uses the chemical reaction method of nitrofluoric acid to remove the film adhering to the surface of the workpiece, which is not only high in efficiency, but also clean and thorough in removal, with little damage to the workpiece itself and good in effect.

【技术实现步骤摘要】
利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法
本专利技术公开一种覆膜剥离方法，特别是一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法。
技术介绍
随着半导体和液晶显示面板产业的不断发展，我国的半导体产业和液晶面板产业得到了很大提升，行业产能也越来越高。半导体和液晶显示面板等产业属于精细化产业，其对生产设备要求非常高，因此就要求设备的零部件需要进行定期维护，以保证生产精度。由于有些工件要求比较特殊，工件自身母材采用石英或陶瓷材质制成，为了达到某些特殊性能，其表面附着有Al/Ag/Ni等材质的覆膜，以保持其性能。然而，在此种零部件维修维护时，需要对原有附着的膜进行去除，才能进行新的覆膜的操作，而现有技术中，去除工件表面附着的膜通常有化学溶液溶泡或采用机械剥离的方式去除等，去除效果不好，而且容易损伤工件本身。
技术实现思路
针对上述提到的现有技术中的工件表面的膜去除时效果不好的缺点，本专利技术提供一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其利用硝氟酸进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，效果较好。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案是：一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，该方法包括下述步骤：（1）、硝氟酸溶液浸泡：硝氟酸溶液采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为14~16小时，直至目测工件表面无残留膜为止；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。本专利技术解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：所述的步骤（1）中采用的硝氟酸溶液配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=20：1：20。所述的步骤（1）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。所述的步骤（1）中采用的硝酸为浓度为68％的浓硝酸。所述的步骤（1）中采用的氢氟酸为浓度为55％的氢氟酸。所述的步骤（1）中，当处理的工件的母材为SUS，膜为Al/Ag/Ni等的工件时，观察频度为每小时一次以上；当处理母材为陶瓷、石英，膜为TiN/Ti的工件时，观察频度为每半小时一次以上；当处理的工件的母材为SUS，膜为TiN的工件时，观察频度为每2小时一次以上。所述的步骤（2）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。所述的步骤（3）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。所述的步骤（4）中采用CDA吹干，干燥温度为150±5°，干燥时间为6小时以上。本专利技术的有益效果是：本专利技术利用硝氟酸进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。下面将结合附图和具体实施方式对本专利技术做进一步说明。附图说明图1为本专利技术操作流程图。具体实施方式本实施例为本专利技术优选实施方式，其他凡其原理和基本结构与本实施例相同或近似的，均在本专利技术保护范围之内。请参看附图1，本专利技术主要为一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其包括下述步骤：（1）、工件（或称为部品）确认，对照工程表内容确认待加工工件的品种，主要包括：工件的母材是否为SUS（即不锈钢）、陶瓷或石英，工件的数量与具体产品是否与清单一致、工件表面是否有划伤、破损等；（2）、硝氟酸溶液浸泡：本实施例中，采用的硝氟酸溶液采用硝酸和氢氟酸配比而成，浸泡时，以硝氟酸溶液没过工件为准，即保证工件全部浸泡入硝氟酸溶液中，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），优选为HNO3：HF=20：1：20，本实施例中，反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为14~16小时，直至目测工件表面无残留膜为止，本实施例中，采用的硝酸为市售的质量百分比浓度为68％的浓硝酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比，本实施例中，采用的氢氟酸为市售的质量百分比浓度为55％的氢氟酸，具体实施时，也可以采用其他浓度的硝酸进行等量配比，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；本实施例中，当处理母材为SUS，膜为Al/Ag/Ni等的部品（也称为工件）时，观察频度为每小时一次以上（含一次），然后用高压水枪进行剥离。当处理母材为陶瓷、石英，膜为TiN/Ti的部品时，观察频度为每半小时一次以上（含一次），然后用高压水枪低压进行剥离。当处理母材为SUS，膜为TINSIP的部品时，观察频度为每2小时一次以上（含一次），然后用高压水枪进行剥离。本实施例中，当硝酸浓度低于10%时，需要更换硝氟酸溶液，更换液体时，需采用专用的量具进行量取，更换药水时需要做好相关的记录工作，注意轻拿轻放，以免造成不必要的损失。（3）、漂洗：采用流动的超纯水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒，以清洗干净工件表面，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；（4）、纯水浸泡：采用流动的超纯水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动，本实施例中，采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水；（5）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理，采用CDA(去油去水压缩空气)吹干，常温吹至表面物流动水，放至干燥箱进行干燥，干燥温度为150±5℃，烘烤2小时以上。（6）、确认：目测确认有无残留膜，如果有残留膜则需要再次进行处理，如果没有残留膜则确认为合格品。本专利技术利用硝氟酸进行化学反应的方法去除工件表面附着的膜，不仅效率高，而且去除的干净、彻底，对工件自身损伤小，效果较好。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：（1）、硝氟酸溶液浸泡：硝氟酸溶液采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为14~16小时，直至目测工件表面无残留膜为止；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。

【技术特征摘要】
1.一种利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：（1）、硝氟酸溶液浸泡：硝氟酸溶液采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=（17~23）：（0.5~1.5）：（17~23），反应为在常温温度下进行浸泡反应，反应时间为14~16小时，直至目测工件表面无残留膜为止；（2）、漂洗：采用流动的水进行漂洗，漂洗时间大于或等于30秒；（3）、纯水浸泡：采用流动的水进行浸泡冲洗30分钟以上，浸泡时应保持超纯水的流动；（4）、干燥：将浸泡清洗后的工件放在干燥炉的治具上进行干燥处理。2.根据权利要求1所述的利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的硝氟酸溶液配比时，各液体的体积比为HNO3：HF：H2O=20：1：20。3.根据权利要求1所述的利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采用的水为电阻率大于或等于12MΩ.CM的超纯水。4.根据权利要求1所述的利用硝氟酸溶液剥离石英、陶瓷或不锈钢工件表面膜的方法，其特征是：所述的步骤（1）中采...

【专利技术属性】
技术研发人员：张远，熊志红，
申请(专利权)人：深圳仕上电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44