The present invention provides a sensor for scanning probe microscopy, which comprises a base, an insulating bearing layer on the upper side of the base, a first quartz crystal oscillator on the insulating bearing layer, a second quartz crystal oscillator, and a probe; a first fork foot of the first quartz crystal oscillator and a second fork foot of the first quartz crystal oscillator are arranged relative to each other. The first fork foot of the second quartz crystal oscillator and the second fork foot of the second quartz crystal oscillator are arranged relative to each other; the base of the second quartz crystal oscillator is arranged on the first fork foot of the first quartz crystal oscillator and the probe is arranged on the first fork foot of the second quartz crystal oscillator; the extension direction of each fork foot of the first quartz crystal And the resonant frequency of the two is different. The sensor of the invention has the advantages of simple structure, and the sensor of the invention has two dimensional in-situ excitation/detection functions.
【技术实现步骤摘要】
一种应用于扫描探针显微镜的传感器
本专利技术涉及扫描探针显微镜技术,具体地,涉及一种应用于扫描探针显微镜的传感器。
技术介绍
扫描探针显微镜是所有机械式地用探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称,主要包括原子力显微镜、激光力显微镜、磁力显微镜等。目前用于科研和商业化生产的扫描探针显微镜多采用微悬臂针尖一体化传感器,它能获取材料表面的信息。具体而言,在扫描探针工作时,微悬臂针尖沿垂直方向(计为Z方向)自上而下靠近样品表面,并在靠近样品表面后,沿垂直方向或沿水平方向(计为X方向)相对样品表面活动以对样品表面进行扫描,进而测量样品表面的表面形貌、表面粗糙度、或摩擦力、剪切模量等信息。受限于微悬臂的结构特性,微悬臂传感器的品质因数低,且微悬臂的探针在相对样品表面垂直或水平活动时仅能在一个维度振动(即沿Z方向或往复振动或沿X方向往复振动),其导致微悬臂传感器在检测表面结构较复杂的样品时,如内凹陷表面、高台表面的侧壁等,难以准确和全面地获取该些样品表面的信息,进而造成检测结构信息缺失以及失准。有鉴于此,特提出本申请。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器以解决现有的传感器在对样品进行扫描时仅能在一个维度振动的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器,包含:底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针;第一石英晶振的第一叉脚和第一石英晶振的第二叉脚上下相对配置,第二石英晶振的第一叉脚和第二石英晶振的第二叉脚左右相对配置;第一石英晶振的第二叉脚配置于 ...
【技术保护点】
1.一种应用于扫描探针显微镜的传感器,其特征在于,包含:底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探针(5);第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)和第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)上下相对配置,第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)左右相对配置;第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)配置于绝缘承载层(2)上,第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上,探针(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)上;第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者的谐振频率不同,且第一石英晶振(3)的两接线端分别对应电连接于第二石英晶振(4)的两接线端。
【技术特征摘要】
1.一种应用于扫描探针显微镜的传感器,其特征在于,包含:底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探针(5);第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)和第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)上下相对配置,第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)左右相对配置;第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)配置于绝缘承载层(2)上,第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上,探针(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)上;第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者的谐振频率不同,且第一石英晶振(3)的两接线端分别对应电连接于第二石英晶振(4)的两接线端。2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述底座(1)为长方体,且其上侧开设有凹槽(1A),所述凹槽(1A)自底座(1)的一侧部向与该一侧部相对的另一侧部延伸,且所述凹槽(1A)的延伸方向与第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者各叉脚的延伸方向相同;所述绝缘承载层(2)位于所述凹槽(1A)上侧。3.根据权利要求2所述的传感器,其特征在于,所述凹槽(1A)为截面为...
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