硅片夹、检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种硅片夹、检测装置及其检测方法。硅片夹包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。检测装置包括硅片夹，并且还包括与所述硅片夹连接的手持杆，所述手持杆驱动所述硅片夹运动，以实现对所述硅片上所有表面的检测。检测方法包括：利用手持杆翻转所述硅片夹，以对所述硅片夹上的所述硅片的上下表面以及侧面进行检测。本发明专利技术提供的硅片夹、检测装置及其检测方法，能够检测到硅片的全部边缘，同时，在操作人员不熟练的情况下，能够提高检测准确度。

Silicon clip, detection device and its detection method

The invention provides a silicon wafer clamp, a detection device and a detection method thereof. A silicon wafer clamp comprises a clamp and a clamp connected with the clamp, which together forms a holding space, a silicon wafer is combined with the holding space, and all surfaces of the silicon wafer can be seen through the holding space. The detection device includes a silicon wafer clamp and a handheld rod connected with the silicon wafer clamp, which drives the movement of the silicon wafer clamp to realize the detection of all surfaces on the silicon wafer. The detection method includes: flipping the silicon wafer clamp with a handheld rod to detect the upper and lower surfaces and the sides of the silicon wafer on the silicon wafer clamp. The silicon wafer clamp, detection device and detection method provided by the invention can detect all edges of the silicon wafer, and at the same time, the detection accuracy can be improved when the operator is not skilled.

【技术实现步骤摘要】
硅片夹、检测装置及其检测方法
本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种硅片夹、检测装置及其检测方法。
技术介绍
随着半导体特征尺寸的不断减小，半导体行业对于12寸硅片的表面缺陷要求越来越高。也即，半导体行业不仅对硅片正面的缺陷要求越来越高，而且对硅片背面缺陷和边缘缺陷的要求也越来越苛刻。这些缺陷例如包括污点、刮痕以及硅片边缘的缺口等，这些缺陷通常由人为通过检测装置发现。图1为现有的一种检测装置的结构示意图，图2为现有的一种硅片夹于夹持硅片的结构示意图。如图1和图2所示，所述检测装置包括光源101、电机103和硅片夹201，光源101提供检测环境的照明，电机103驱动硅片夹201转动，而被硅片夹201夹持的硅片102同步随之转动，转动过程中，由人为目测并判断硅片102上的缺陷。若采用这种检测方式，硅片夹201覆盖了硅片102的一部分边缘。如图2所示，硅片102的一部分边缘202暴露，另一部分边缘(未标号)被硅片夹201所覆盖，从而造成被覆盖的硅片边缘无法被检测到；特别的，操作人员无法按照自己的检测速度来控制检测的进度，检测准确度低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片夹、检测装置及其检测方法，以解决现有技术中硅片的部分边缘无法被检测到以及检测效率低的问题。为了实现上述目的，本专利技术提供一种硅片夹，包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器；其中，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。可选的，所述硅片夹还包括与所述夹持器连接的第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述夹持器开闭，以实现所述硅片的固定或释放。可选的，所述夹持器包括夹具槽、上夹具以及下夹具；所述夹具槽设置在所述夹片上，所述上夹具与所述夹具槽固定连接，所述下夹具与所述夹具槽活动连接；所述第一驱动机构与所述下夹具连接，并用于驱动所述下夹具作靠近或远离所述上夹具的运动，以实现所述夹持器的开闭。可选的，所述第一驱动机构包括顶针以及弹簧；所述下夹具通过所述弹簧与所述夹具槽活动连接，所述顶针的一端与所述下夹具连接，通过所述顶针驱动所述下夹具作远离所述上夹具的运动，以打开所述夹持器，并通过所述弹簧驱动所述下夹具作靠近所述上夹具的运动以闭合所述夹持器。可选的，所述夹具槽具有一安装空间，所述第一驱动机构设置在所述安装空间内，且所述夹具槽上设置有与所述安装空间连通的通孔，所述顶针经由所述通孔与所述下夹具连接。可选的，所述硅片夹还包括与所述夹持器连接的另一夹片；所述另一夹片与所述夹片层叠设置，且所述另一夹片与所述夹片之间形成有一间隙。可选的，所述硅片夹与一手持杆连接。可选的，所述硅片夹具有一封闭的内腔，所述内腔构成所述容置空间的一部分。可选的，所述夹片具有一C形内腔，所述C形内腔构成所述容置空间的一部分。可选的，所述夹持器至少为两个，多个所述夹持器沿所述容置空间的周向间隔分布。本专利技术还提供一种检测装置，包括：硅片夹，并且还包括与所述硅片夹连接的手持杆，所述手持杆驱动所述硅片夹运动，以实现对所述硅片上所有表面的检测。可选的，所述检测装置还包括硅片盒、传送部件以及支撑台；所述硅片盒用于存放所述硅片，所述传送部件用于在所述硅片盒以及所述硅片夹之间传送所述硅片，所述支撑台用于放置所述硅片夹。可选的，所述检测装置包括用于与第一驱动机构连接的第二驱动机构，所述第二驱动机构通过所述第一驱动机构驱动所述夹持器打开或关闭以固定或释放所述硅片，所述第一驱动机构连接所述夹持器。可选的，所述第二驱动机构设置在所述支撑台上。可选的，所述检测装置还包括设置在所述支撑台一侧的透明件，透过所述透明件能够看到所述支撑台上的所述硅片夹。可选的，所述支撑台上设置有与第一定位机构相配合的第二定位机构，所述第一定位机构设置在所述硅片夹上。可选的，所述检测装置还包括拿取所述硅片夹的手套。可选的，所述检测装置包括设置在所述硅片夹一侧的风机过滤单元，所述风机过滤单元用于产生朝着所述硅片夹方向的风流。本法专利技术还提供一种应用于所述检测装置的检测方法，包括：利用手持杆翻转所述硅片夹，以对所述硅片夹上的所述硅片的上下表面以及侧面进行检测。可选的，利用所述手持杆翻转所述硅片夹之前，还包括：将所述硅片夹放置于支撑台上；利用传送部件将硅片盒内的所述硅片传送至所述硅片夹固定；以及利用所述手持杆从所述支撑台上拿取所述硅片夹。可选的，在所述硅片夹放置于所述支撑台上后，还包括：通过所述硅片夹上的第一定位机构和所述支撑台上的第二定位机构相配合，将所述硅片夹定位在所述支撑台上；通过第二驱动机构驱动所述夹持器打开，并令所述传送部件将所述硅片从所述硅片盒内传送至所述硅片夹，并通过第一驱动机构驱动所述夹持器关闭，固定所述硅片；利用手套握持所述手持杆，并从所述支撑台上拿取所述硅片夹综上所述，本专利技术提供的一种硅片夹、检测装置及检测方法中，所述硅片夹包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器，其中，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面，如此一来，操作人员能够透过硅片夹的容置空间观测到硅片的所有表面，包括硅片的上下表面以及侧面，尤其在检测时通过手持杆驱动硅片夹运动，便于翻转硅片夹实现对硅片所有表面的检测，这样的检测方式，检测效率和检测准确度高；而且，这样的检测方式便于人工转动硅片夹进行检测，此不限于检测人员的熟练程度，因此，操作人员能够根据自己的熟练程度，灵活的调整检测时间和次数，因此，可有效保证检测的准确度。附图说明图1为现有技术的一种检测装置的结构示意图；图2为现有技术的一种硅片夹于夹持硅片的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的一种硅片夹的结构示意图；图4为本专利技术较佳实施例提供的一种硅片夹的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的一种夹持器夹持硅片的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种检测装置的结构示意图；图7为本专利技术较佳实施例提供的一种检测装置的结构示意图。附图标记说明如下：101-光源；102-硅片；103-电机；201-硅片夹；202-硅片的部分边缘；301-容置空间；302-夹片；303-夹持器；304-另一夹片；401-第一定位机构；402/602/702-手持杆；501-夹具槽；502-上夹具；503-下夹具；504-弹簧；505-顶针；506/707-硅片；601/703-硅片夹；603-硅片盒；604-传送部件；605-支撑台；701-手套；704-风机过滤单元；705-透明玻璃；706-硅片盒；708-传送部件；709-支撑台；710-另一驱动机构。具体实施方式下面将结合附图2至附图7，以及具体实施方式对本专利技术提出的硅片夹、检测装置及其检测方法进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。图3为本专利技术实施例提供的一种硅片夹的结构示意图，如图3所示，所述硅片夹包括夹片302和夹持器303。其中，所述夹片302与夹持器303连接并共同形成有一个容置空间301，且当一硅片容置在该容置空间301内并与硅片夹固定时，透过该容置空间301能够看到所述硅片的所有表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片夹，其特征在于，包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器；其中，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。

【技术特征摘要】
1.一种硅片夹，其特征在于，包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器；其中，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。2.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，还包括与所述夹持器连接的第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述夹持器开闭，以实现所述硅片的固定或释放。3.如权利要求2所述的硅片夹，其特征在于，所述夹持器包括夹具槽、上夹具以及下夹具；所述夹具槽设置在所述夹片上，所述上夹具与所述夹具槽固定连接，所述下夹具与所述夹具槽活动连接；所述第一驱动机构与所述下夹具连接，并用于驱动所述下夹具作靠近或远离所述上夹具的运动，以实现所述夹持器的开闭。4.如权利要求3所述的硅片夹，其特征在于，所述第一驱动机构包括顶针以及弹簧；所述下夹具通过所述弹簧与所述夹具槽活动连接，所述顶针的一端与所述下夹具连接，通过所述顶针驱动所述下夹具作远离所述上夹具的运动，以打开所述夹持器，并通过所述弹簧驱动所述下夹具作靠近所述上夹具的运动以闭合所述夹持器。5.如权利要求4所述的硅片夹，其特征在于，所述夹具槽具有一安装空间，所述第一驱动机构设置在所述安装空间内，且所述夹具槽上设置有与所述安装空间连通的通孔，所述顶针经由所述通孔与所述下夹具连接。6.如权利要求1或2所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹还包括与所述夹持器连接的另一夹片；所述另一夹片与所述夹片层叠设置，且所述另一夹片与所述夹片之间形成有一间隙。7.如权利要求1或2所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹与一手持杆连接。8.如权利要求1或2所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹具有一封闭的内腔，所述内腔构成所述容置空间的一部分。9.如权利要求1或2所述的硅片夹，其特征在于，所述夹片具有一C形内腔，所述C形内腔构成所述容置空间的一部分。10.如权利要求1或2所述的硅片夹，其特征在于，所述夹持器至少为两个，多个所述夹持器沿所述容置空间的周向间隔分布。11.一种检测装置，其特征在于，包括：如权利要求1-10中任意一项所述的硅片夹，并且还包括与所述硅片夹连接的手持杆，所述手持杆驱动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪燕，刘源，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31