【技术实现步骤摘要】
一种PECVD设备腔体密封用紧固件
本技术属于晶圆生产
,涉及PLC晶圆生产中所用的PECVD设备,具体地说,涉及一种PECVD设备腔体密封用铜紧固件。
技术介绍
在PLC晶圆生产中,等离子体增强化学沉积(以下简称PECVD)设备作为第一道也是最重要的一道工序,沉积芯层,但由于PECVD设备属于高温真空设备,PECVD设备腔体内需采用顶针的上下运动来协助手臂载入取出产品,并由腔体底座下用电机来控制顶针上下运动,而电机和顶针之间采用波纹管来密封,保证腔体高真空环境,并用铜紧固件作为波纹管法兰和腔体底座之间的密封件。腔体内高温高氧工艺环境中,极易氧化波纹管法兰和腔体底座之间的铜紧固件并使之氧化变形,不能很好地保持腔体内的高真空环境。如图1、2、6所示,由于作为紧固件的腔体密封用铜紧固件,其原有上部台阶孔的深度尺寸H'为9mm,在晶圆生产工艺过程中,PECVD设备腔体密封用铜紧固件在高温氧化下导致的严重变形直接影响到腔体的高真空环境,因此,非常有必要对现有铜紧固件的工艺结构尺寸进行改进,以增强PECVD设备腔体的真空密封环境。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足或缺陷,提供一种PECVD设备腔体密封用铜紧固件,经过对铜紧固件工艺结构尺寸的改进,使得其整体结构强度明显得到了提升,抗变形能力显著提高,进而不仅延长了其使用寿命,有效地增强PECVD设备腔体的高真空密封环境。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种PECVD设备腔体密封用紧固件,用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰,所述紧固件包括与所述波纹管法兰密封连接的上部台阶孔,其特征 ...
【技术保护点】
1.一种PECVD设备腔体密封用紧固件,用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰,所述紧固件包括与所述波纹管法兰密封连接的上部台阶孔,其特征在于,所述紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上适度提升,直至所述紧固件的上部台阶孔的底部与所述波纹管法兰的底部及外围之间完全无缝对接。
【技术特征摘要】
1.一种PECVD设备腔体密封用紧固件,用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰,所述紧固件包括与所述波纹管法兰密封连接的上部台阶孔,其特征在于,所述紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上适度提升,直至所述紧固件的上部台阶孔的底部与所述波纹管法兰的底部...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄惠良,夏国帅,李雪峰,牛默予,邢安,
申请(专利权)人:上海鸿辉光通科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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