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本实用新型公开了一种PECVD设备腔体密封用紧固件，用于PECVD设备腔体内紧固密封底座和波纹管法兰，紧固件包括与波纹管法兰密封连接的上部台阶孔，紧固件的上部台阶孔的底部垂直向上适度提升，直至紧固件的上部台阶孔的底部与所述波纹管法兰的底部及...
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