硅棒开方设备和硅棒转换装置制造方法及图纸

本申请公开一种硅棒开方设备和硅棒转换装置，该硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置，其中，利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割，以及利用硅棒转换装置可将已开方硅棒由切割区转换至等待区以供将已开方硅棒予以卸料，将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以及将已开方硅棒由切割区转换至等待区可利用硅棒转换装置在一次转换运动中同时完成，如此，可实现硅棒的快速且便捷地转换，提高了硅棒的开方切割作业效率。

Silicon rod opening device and silicon rod conversion device

The present application discloses a silicon bar square cutting device and a silicon bar conversion device, which includes a silicon bar conversion device and a wire cutting device. The silicon bar conversion device can convert the loaded silicon bar from the waiting area to the cutting area for the wire cutting device to cut the silicon bar in the cutting area. In addition, the silicon bar can be converted from the cutting area to the waiting area by using the silicon bar conversion device for unloading the opened silicon bar, converting the loaded silicon bar from the waiting area to the cutting area, and converting the opened silicon bar from the cutting area to the waiting area. The silicon bar conversion device can be used for simultaneous completion of a conversion movement. In this way, the silicon rod can be converted quickly and conveniently, and the cutting efficiency of the silicon rod can be improved.

【技术实现步骤摘要】
硅棒开方设备和硅棒转换装置
本申请涉及硅棒加工
，特别是涉及一种硅棒开方设备和硅棒转换装置。
技术介绍
在制造各种半导体器件或光伏器件时，将包含硅、蓝宝石、或陶瓷等硬脆材料的半导体工件切割为规格尺寸的结构。由于半导体工件切割是制约后续成品的重要工序，因而对其作业要求也越来越高。目前，多线切割技术由于具有生产效率高、作业成本低、作业精度高等特点，被广泛应用于产业的半导体工件切割生产中。以晶体硅棒切割为例，一般是将硅棒(例如单晶硅棒)通过开方机进行开方，使得硅棒整体呈类矩形；开方完毕后，对硅棒进行磨面、滚圆及抛光等处理；最后，再采用多线切片机对开方后的硅棒进行切片。在相关的硅棒开方切割作业中，先将待切割硅棒放置落位于切割区，利用多线硅棒切割设备对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割，然后，将完成开方切割的已开方硅棒从切割区卸下，并更换上新的待切割硅棒进行开方切割，在此过程中，待切割硅棒的上料、待切割硅棒的开方切割、以及已开方硅棒的下料等作业均是在切割区完成，造成了硅棒开方切割作业的效率低下。另外，在相关的硅棒开方切割作业中，硅棒经开方切割后会形成边皮，因此，需先将形成的边皮予以卸料，一般的边皮卸料方式大多还是由操作人员手工操作将边皮脱离于已开方硅棒并将其搬离出硅棒开方设备，不仅效率低下，且在搬运过程中会使得边皮与已开方硅棒发生碰撞而增加已开方硅棒损伤的风险。
技术实现思路
鉴于以上所述相关技术的缺失，本申请的目的在于公开一种硅棒开方设备和硅棒转换装置，用于解决相关技术中硅棒开方切割作业效率低下等问题。为实现上述目的及其他目的，本申请的第一方面公开一种硅棒开方设备，包括：硅棒转换装置，包括：转换工作台，设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换；线切割装置，设有与切割区对应的至少一线切割单元；所述至少一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割。本申请公开的硅棒开方设备，包括硅棒转换装置和线切割装置，其中，利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的所述待切割硅棒进行开方切割，以及利用硅棒转换装置可将已开方硅棒由切割区转换至等待区以供将所述已开方硅棒予以卸料，特别地，将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以及将已开方硅棒由切割区转换至等待区可利用硅棒转换装置在一次转换运动中同时完成，如此，可实现硅棒的快速且便捷地转换，提高了硅棒的开方切割作业效率。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述转换驱动机构为转动机构，所述转动机构包括：转动轴，连接于所述转换工作台；转动驱动源，与所述转动轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述转换驱动机构为平移机构，所述平移机构包括：平移导轨，铺设于工件加工台上；滑块，设于所述转换工作台的底部；平移驱动源。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述硅棒开方设备还包括临设于所述硅棒转换装置的硅棒装卸装置，包括：换向载具，设有硅棒夹具；换向驱动机构，用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述硅棒夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台，或，夹持对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台上的已开方硅棒并将已开方硅棒由等待区转运至装卸区。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述硅棒开方设备还包括设于所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台周边的边皮顶托机构，用于顶托待切割硅棒进行开方切割后所形成的边皮。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述边皮顶托机构包括：活动承托件；锁定控制件，用于在活动承托件抵靠于待切割硅棒的底部时将所述活动承托件控制在锁定状态。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述硅棒开方设备还包括边皮卸料装置，用于将所述线切割装置进行切割后形成的边皮予以卸料。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述边皮卸料装置包括：错开机构，用于驱动边皮和已开方硅棒发生相对升降位移，使得所述边皮的顶端凸出于所述已开方硅棒。在本申请第一方面的某些实施方式中，所述边皮卸料装置还包括：夹持转运机构，用于夹持住所述边皮的顶端并拉升所述边皮以脱离所述已开方硅棒以及将所述边皮转运至边皮卸料区。本申请的第二方面公开一种硅棒转换装置，包括：转换工作台，设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换。本申请公开的硅棒转换装置，包括具有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台的转换工作台以及用于驱动所述转换工作台作转换运动的转换驱动机构，在一次转换运动中，即可完成将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的所述待切割硅棒进行开方切割以及将已开方硅棒由切割区转换至等待区以供将所述已开方硅棒予以卸料中，如此，可实现硅棒的快速且便捷地转换，提高了硅棒的开方切割作业效率。在本申请第二方面的某些实施方式中，所述转换驱动机构为转动机构，包括：转动轴，连接于所述转换工作台；转动驱动源，与所述转动轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。在本申请第二方面的某些实施方式中，所述转换驱动机构为平移机构，包括：平移导轨，铺设于工件加工台上；滑块，设于所述转换工作台的底部；平移驱动源。附图说明图1显示为本申请硅棒开方设备在某一实施例中的结构示意图。图2显示为本申请硅棒开方设备在某一实施例中的结构示意图。图3显示为本申请硅棒开方设备在某一实施例中的结构示意图。图4显示为本申请装配有硅棒装卸装置的硅棒开方设备在某一实施例中的结构示意图。图5显示为本申请装配有硅棒装卸装置的硅棒开方设备在某一实施例中的结构示意图。图6显示为图4和图5中硅棒装卸装置的结构示意图。图7显示为硅棒装卸装置在某一实施例中的结构示意图。图8显示为硅棒装卸装置在某一实施例中的结构示意图。图9显示为边皮顶托机构在某一实施例中的立体结构示意图。图10显示为图9的俯视图。图11显示为边皮顶托机构在某一实施例中的俯视图。图12显示为利用图5中的硅棒开方设备对待切割硅棒进行开方切割过程中的状态示意图。图13显示为利用图5中的硅棒开方设备对待切割硅棒完成开方切割的状态示意图。图14显示为边皮提升机构的部分结构示意图图15显示为利用边皮提升机构带动边皮上升位移的部分结构示意图。图16显示为本申请硅棒开方设备在利用边皮提升机构带动边皮上升位移的状态示意图。图17显示为图13中的夹持组件在一实施方式中的结构示意图。图18显示为图13中的夹持组件在另一实施方式中的结构示意图。图19显示为本申请硅棒开方设备在利用夹持转运机构带动边皮上升至脱离已开方硅棒的结构示意图。图20显示为本申请硅棒开方设备在利用夹持转运机构带动边皮转运至边皮卸料区的结构示意图。图21显示为本申请硅棒开方方法的流程示意图。图22显示为图21中步骤S17细化步骤的的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒开方设备，其特征在于，包括：硅棒转换装置，包括：转换工作台，设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换；以及线切割装置，设有与切割区对应的至少一线切割单元；所述至少一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割。

【技术特征摘要】
1.一种硅棒开方设备，其特征在于，包括：硅棒转换装置，包括：转换工作台，设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台；转换驱动机构，用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换；以及线切割装置，设有与切割区对应的至少一线切割单元；所述至少一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割。2.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述转换驱动机构为转动机构，所述转动机构包括：转动轴，连接于所述转换工作台；以及转动驱动源，与所述转动轴相连，用于驱动所述转动轴转动以带动所述转换工作台转动。3.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述转换驱动机构为平移机构，所述平移机构包括：平移导轨，铺设于工件加工台上；滑块，设于所述转换工作台的底部；以及平移驱动源。4.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，还包括临设于所述硅棒转换装置的硅棒装卸装置，包括：换向载具，设有硅棒夹具；以及换向驱动机构，用于驱动所述换向载具作换向运动以令所述硅棒夹具夹持待切割硅棒并将待切割硅棒由装卸区转运至对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台，或，夹持对应于等待区的所述至少一第一硅棒承载台或所述至少一第二硅棒承载台上的已开方硅棒并将已开方硅棒由等待区转运至装卸区。5.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，还包括设于所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台周边的边皮...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，潘雪明，
申请(专利权)人：天通日进精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33