The invention provides a silicon wafer cutting auxiliary device, which comprises a workpiece clamping device, a hot air conveying device, a cutting table and a temperature-controlled liquid tank. The temperature-controlled liquid tank is loaded with coolant. The workpiece clamping device locks a crystal rod, and the hot air conveying device clamps the workpiece. The device conveys hot air, which compensates the temperature of the crystal rod; the workpiece clamping device drives the crystal rod to move so as to make the crystal rod close to the cutting machine table; the cutting machine table cuts the crystal rod to form a plurality of silicon wafers; the crystal rod has formed a part of the silicon wafer during the cutting process. The controllable temperature liquid tank controls the temperature change of the silicon wafer according to the depth of the silicon wafer immersion.
【技术实现步骤摘要】
硅片切割装置
本专利技术涉及集成电路
,特别涉及一种硅片切割装置。
技术介绍
现有的半导体晶圆切割技术是采用直钢丝加碳化硅砂浆对晶棒进行切割,从而形成硅片,切削热量的30%-50%由碳化硅砂浆带走,余下的大部分热量由硅片吸收。在切割过程中,切割形成的硅片起始部位不会产生热扩散,因此温度快速上升,当切割区的温度升高了20℃后,硅片的表面会产生热扩散,此时,温度稳定下来。而硅片受到热胀冷缩的影响,会发生翘曲变形。硅片受热部位的时间差异,导致温度分布不均,形成一定的温度梯度,在热胀冷缩的作用下,产生热应力,使硅片发生翘曲。现有的温度控制设备,设计者主要考虑的是切割热能会引起导轮的热膨胀,从而对切割线网的平行产生影响,因此导轮与轴承箱分别有温控装置,但导轮的设定温度与碳化硅砂浆在硅片切割前的起始温度与切割过程中的设定温度相同。切割前预热20分钟到30分钟,导轮高速空转,使其达到热平衡后再进行加工。这种温度控制没有考虑到切割热能对硅片产生的影响并进行补偿。因此,需要设计一种考虑到切割热能对硅片影响并对其进行补偿的硅片切割装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片切割装置,以解决现有的温度控制没有考虑到切割热能对硅片产生的影响并进行补偿的问题。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种硅片切割装置,所述硅片切割装置包括工件夹紧装置、热空气输送装置、切割机台和可控温液槽,所述可控温液槽中承载有调温液体,其中:所述工件夹紧装置固定一晶棒,所述热空气输送装置向所述工件夹紧装置输送热空气,所述热空气对所述晶棒进行温度补偿;所述工件夹紧装置带动所述晶棒移动,以使所述晶 ...
【技术保护点】
1.一种硅片切割装置,其特征在于,所述硅片切割装置包括工件夹紧装置、热空气输送装置、切割机台和可控温液槽,所述可控温液槽中承载有调温液体,其中:所述工件夹紧装置固定一晶棒,所述热空气输送装置向所述工件夹紧装置输送热空气,所述热空气对所述晶棒进行温度补偿;所述工件夹紧装置带动所述晶棒移动,以使所述晶棒靠近所述切割机台;所述切割机台对所述晶棒进行切割,形成多个硅片;所述晶棒在切割过程中,已形成硅片的部分浸入所述可控温液槽;所述可控温液槽根据所述硅片浸入的深度控制所述硅片的温度变化。
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割装置,其特征在于,所述硅片切割装置包括工件夹紧装置、热空气输送装置、切割机台和可控温液槽,所述可控温液槽中承载有调温液体,其中:所述工件夹紧装置固定一晶棒,所述热空气输送装置向所述工件夹紧装置输送热空气,所述热空气对所述晶棒进行温度补偿;所述工件夹紧装置带动所述晶棒移动,以使所述晶棒靠近所述切割机台;所述切割机台对所述晶棒进行切割,形成多个硅片;所述晶棒在切割过程中,已形成硅片的部分浸入所述可控温液槽;所述可控温液槽根据所述硅片浸入的深度控制所述硅片的温度变化。2.如权利要求1所述的硅片切割装置,其特征在于,所述晶棒的形状为圆柱形,所述晶棒的直径为12英寸。3.如权利要求2所述的硅片切割装置,其特征在于,所述可控温液槽的形状为长方形,所述可控温液槽的长度为480mm~530mm,所述可控温液槽的宽度为300mm~350mm,所述可控温液槽的高度为290~330mm。4.如权利要求3所述的硅片切割装置,其特征在于,所述硅片浸入所述可控温液槽的深度小于第一基准深度时,所述调温液体的温度设置为第一温度。5.如权利要求4所述的硅片切割装置,其特征在于,所述硅片浸入所述可控温液槽的深度大于第一基准深度且小于第二基准深度时,所述调温液体的温度设置为第二温度。6.如权利要求5所述的硅片切割装置,其特征在于,所述硅片浸入所述可控温液槽的深度大于第二基准深度时...
【专利技术属性】
技术研发人员:周虹,
申请(专利权)人:上海新昇半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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