The invention provides a new type of lifting device for zone melting single crystal furnace, which mainly solves the problems that the lifting device is easy to deform and the amount of lifting material can not meet the current demand. It consists of a polycrystalline material adjustment module and a card tray assembly. The polycrystalline adjusting assembly is composed of adjusting disc body, two shifting pieces, two rotating shafts, four rotating shafts base and three adjusting bolts. The base of the rotating shaft is welded on the body of the adjusting disc, and the disc is assembled on the base of the rotating shaft through the rotating shaft; and the adjusting bolt is mounted on the adjusting disc, 120 degrees apart from each other. The card tray assembly consists of a straight grooved card tray, a curved groove clip plate, a variable diameter suspension rod, and three clamping bolts. The tapered suspension rod is welded to the straight groove chuck; the curved groove chuck is assembled with the straight groove chuck through the chuck bolt; the chuck bolt slides in the straight groove and the curved groove to adjust the contact between the three chuck bolts and the polycrystalline material. The invention can effectively reduce the deformation amount of the hanging material device, improve the stability of the polycrystalline material in the drawing process and the safety of production.
【技术实现步骤摘要】
一种区熔单晶炉新型吊料装置
本专利技术创造属于区熔单晶制造
,尤其是涉及一种区熔单晶炉新型吊料装置。
技术介绍
区熔FZ100C单晶炉是专门为8英寸区熔单晶的生产设计的国产区熔设备,随着半导体行业黄金时代的到来,8英寸区熔单晶的市场需求量迅速增加,为了保证8英寸区熔单晶的稳定生产,除了优化单晶拉制的工艺外,还需保证设备的稳定性与可靠性。8英寸区熔单晶是目前世界上采用区熔法能拉制的最大直径单晶,其投料量远大于4寸、5寸和6寸单晶的投料量,一般每次投料可达到100公斤左右,多晶料尺寸约为Φ170mm*2000mm。投料量的增大对设备的吊料装置的稳定性与安全性就提出了更高的要求。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术创造旨在提出一种可增加区熔单晶炉吊料装置的稳定性和可靠性的技术方案,以解决原吊料装置在使用过程中存在调整组件变形及卡料组件变形的技术问题。为达到上述目的,本专利技术创造的技术方案是这样实现的:一种区熔单晶炉新型吊料装置,其特征在于,包括多晶料调整组件和卡料盘组件,进一步的,所述所述多晶料调整组件包括调整盘本体,第一拨片,第二拨片,第一旋转轴,第二旋转轴,第一旋转轴底座,第二旋转轴底座,第三旋转轴底座,第四旋转轴底座,第一调整螺栓,第二调整螺栓,第三调整螺栓,所述第一旋转轴底座、第二旋转轴底座、第三旋转轴底座、第四旋转轴底座分别焊接在调整盘本体上,所述第一拨片通过第一旋转轴装配在第一旋转轴底座和第三旋转轴底座上,所述第二拨片通过第二旋转轴装配在第二旋转轴底座和第四旋转轴底座上。进一步的,所述卡料盘组件由直槽卡料盘,弯槽卡料盘,变径悬挂杆,第一卡料螺栓, ...
【技术保护点】
1.一种区熔单晶炉新型吊料装置,其特征在于,包括多晶料调整组件和卡料盘组件,所述多晶料调整组件包括调整盘本体(11)、第一拨片(12)、第二拨片(13)、第一旋转轴(14)、第二旋转轴(15)、第一旋转轴底座(16),第二旋转轴底座(17),第三旋转轴底座(18),第四旋转轴底座(19),第一调整螺栓(110),第二调整螺栓(111),第三调整螺栓(112),所述第一旋转轴底座(16),第二旋转轴底座(17),第三旋转轴底座(18),第四旋转轴底座(19)焊接在调整盘本体(11)上,所述第一拨片(12)通过第一旋转轴(14)装配在第一旋转轴底座(16)和第三旋转轴底座(18)上,所述第二拨片(13)通过第二旋转轴(15)装配在第二旋转轴底座(17)和第四旋转轴底座(19)上。所述卡料盘组件由直槽卡料盘(21),弯槽卡料盘(22),变径悬挂杆(23),第一卡料螺栓(24),第二卡料螺栓(25),第三卡料螺栓(26)组成,所述变径悬挂杆(23)与直槽卡料盘(21)焊接,所述弯槽卡料盘(22)通过第一卡料螺栓(24),第二卡料螺栓(25),第三卡料螺栓(26)与直槽卡料盘(21)装配。
【技术特征摘要】
1.一种区熔单晶炉新型吊料装置,其特征在于,包括多晶料调整组件和卡料盘组件,所述多晶料调整组件包括调整盘本体(11)、第一拨片(12)、第二拨片(13)、第一旋转轴(14)、第二旋转轴(15)、第一旋转轴底座(16),第二旋转轴底座(17),第三旋转轴底座(18),第四旋转轴底座(19),第一调整螺栓(110),第二调整螺栓(111),第三调整螺栓(112),所述第一旋转轴底座(16),第二旋转轴底座(17),第三旋转轴底座(18),第四旋转轴底座(19)焊接在调整盘本体(11)上,所述第一拨片(12)通过第一旋转轴(14)装配在第一旋转轴底座(16)和第三旋转轴底座(18)上,所述第二拨片(13)通过第二旋转轴(15)装配在第二旋转轴底座(17)和第四旋转轴底座(19)上。所述卡料盘组件由直槽卡料盘(21),弯槽卡料盘(22),变径悬挂杆(23),第一卡料螺栓(24),第二卡料螺栓(25),...
【专利技术属性】
技术研发人员:李伟凡,王遵义,涂颂昊,张志富,赵阳,刘琨,孙晨光,王彦君,孙健,
申请(专利权)人:天津市环欧半导体材料技术有限公司,
类型:发明
国别省市:天津,12
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