光器件制造技术

本发明专利技术提供一种实现高性能的光调制的光器件。光器件具备：电光元件；连接器，被输入电信号或输出电信号；中继基板，将连接器与光学元件电连接；一对支承部，支承中继基板；及壳体，将连接器固定，并收容光学元件、中继基板及一对支承部，光学元件具有在内部形成有光波导的基板和在基板的表面形成的调制电极，中继基板具有电介质基板、在电介质基板的一个主面设置的信号电极、在所述一个主面设置的接地电极，信号电极及接地电极与调制电极及连接器电连接，一对支承部在俯视图中夹持中继基板，在中继基板的另一个主面与壳体的内部底面之间形成有空隙。

【技术实现步骤摘要】
光器件
本专利技术涉及光器件。
技术介绍
以往，作为光器件，已知有光调制器，该光调制器具有：电光元件，具有光波导和调制电极；壳体，收容电光元件；中继基板，将从外部输入的调制信号向调制电极传输(例如，参照专利文献1)。上述光调制器的电光元件具有如下结构：使用LiNbO3结晶或电光高分子材料等的表现出电光效应的材料作为基板，在该基板形成光波导，在光波导上形成有调制电极。上述光调制器的壳体具有用于从外部输入调制信号的连接器部。连接器部具有同轴引脚。上述光调制器的中继基板具有电介质基板和形成在电介质基板上的电极。中继基板在壳体内部配置于连接器部的同轴引脚与电光元件之间，将输入到连接器部的调制信号向调制电极传输。通常在这样的光调制器中，要求将从外部输入到连接器部的调制信号(电信号)没有损失地向电光元件传播。而且，伴随着近年来的光通信的高速化，而要求应对更高的频率的电信号的光调制器(光器件)。在此，在调制电极的输入输出部及中继基板的电极结构中，考虑到连接容易度，多使用共平面线路(CoplanarWaveguide：CPW)。而且，在中继基板中，多使用的是在形成有共平面线路的面的相反面上也配置导体并将一个主面侧的接地电极与另一个主面侧的导体连接的CBCPW(ConductorBackedCoplanarWaveguide)结构的基板。在CBCPW结构的中继基板中，作为传输特性劣化的要因之一，可列举向电介质基板的放射损失。向电介质基板的放射损失根据中继基板具有的电极的形状、大小及中继基板具有的电介质基板的介质特性而变化。作为抑制CBCPW结构的中继基板的放射损失的方法之一，提出了在CBCPW结构的中继基板具有的电介质基板中，对形成有电极的面的相反侧的面实施槽加工的方法(例如，参照非专利文献1)。形成的槽在考虑中继基板的电特性的基础上，可以考虑作为“由低介电常数材料构成的层”。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本专利第4027109号公报【非专利文献】【非专利文献1】"LeakageLossAnalysisofConductorBakedCoplanarWaveguidewithAir-Gap-SpacingDielectricSheets",Hotta,etal.,IEICETRANS.ELECTRON.,vol.E85-C,NO.7,JULY2002
技术实现思路
【专利技术的概要】【专利技术要解决的课题】然而，在非专利文献1记载的结构中，由于对电介质基板加工微细的槽，因此会导致制造成本增加。而且，非专利文献1记载的结构能够适用的电介质基板的材料局限于即便实施槽加工也能够维持机械强度的材料。因此，电介质基板的材料选择的范围变窄。由此，要求一种技术，其具有能够抑制信号的传播损失的中继基板，在实现高性能的光器件的基础上，能够以更简易的结构实现与非专利文献1记载的结构同样的效果。另外，上述课题并不局限于利用了电光效应的光调制器，在利用了电场吸收效应的电场吸收型调制器中也同样会产生。因此，同样要求改善。本专利技术鉴于这样的情况而作出，目的在于提供一种实现高性能的光调制的光器件。【用于解决课题的方案】为了解决上述的课题，本专利技术的一方式提供一种光器件，具备：光学元件；连接器，被输入电信号或输出电信号；中继基板，将所述连接器与所述光学元件电连接；一对支承部，支承所述中继基板；及壳体，将所述连接器固定，并收容所述光学元件、所述中继基板及所述一对支承部，所述光学元件具有在内部形成有光波导的基板和在所述基板的表面形成的调制电极，所述中继基板具有电介质基板、在所述电介质基板的一个主面设置的信号电极、在所述一个主面设置的接地电极，所述信号电极及所述接地电极与所述调制电极及所述连接器电连接，所述一对支承部在俯视图中夹持所述中继基板，在所述中继基板的另一个主面与所述壳体的内部底面之间形成有空隙。在本专利技术的一方式中，可以是，所述一对支承部的表面由导电性材料形成，所述一对支承部与所述接地电极和所述壳体电连接。在本专利技术的一方式中，可以是，所述一对支承部是与所述壳体分开形成的构件，固定于所述壳体的内部空间。在本专利技术的一方式中，可以是，所述一对支承部分别具有能够供所述中继基板的周缘部插入的狭缝。在本专利技术的一方式中，可以是，所述基板具有电光效应。在本专利技术的一方式中，可以是，所述信号电极和所述接地电极形成共平面线路。在本专利技术的一方式中，可以是，所述光器件是光调制器。【专利技术效果】根据本专利技术，能够提供一种实现高性能的光调制的光器件。附图说明图1是表示实施方式的光器件的概略立体图。图2是表示中继部的附近的概略放大图。图3是表示在中继部附近进行组装的情况的说明图。图4是表示在中继部附近进行组装的情况的说明图。图5是表示支承部的变形例的示意图。【标号说明】10…壳体，10x…底面(内部底面)，13…同轴连接器(连接器)，20…电光元件，21…基板，22…调制电极，23…信号电极，24…接地电极，31…中继基板，32、33、35、36…支承部，100…光器件，201、211…光波导，311…电介质基板，311a…一个主面，311b…另一个主面，312…信号电极，313、314…接地电极，321、331…狭缝，V…空隙具体实施方式以下，参照图1～图5，说明本专利技术的第一实施方式的光器件100。需要说明的是，在以下的全部的附图中，为了便于观察附图，而使各结构要素的尺寸或比率等适当不同。图1是表示本实施方式的光器件100的概略立体图。如图所示，本实施方式的光器件100是具有壳体10、电光元件20、中继部30、终端部40的光调制器。(壳体)壳体10是收容电光元件20的俯视观察矩形的箱状构件。壳体10具有上部开口的有底的外罩101和将外罩101的上部的开口部闭塞的盖件102。壳体10的形成材料只要不阻碍电光元件20的动作，就可以根据电光元件20的特性进行选择，没有特别限定。作为壳体10的形成材料，可以使用例如不锈钢或可伐合金(Kovar)。可伐合金的线膨胀系数比例如不锈钢更接近陶瓷的线膨胀系数。在将光器件100向其他的设备安装时，壳体10被连接于(接地于)基准电位点。因此，外罩101和盖件102的表面优选由导电性比外罩101或盖件102的形成材料高的金属材料包覆。作为这样的金属材料，可列举例如镍或金。在壳体10的一端侧10a，在外罩101设有贯通孔101a。在贯通孔101a插入光纤11。光纤11连接于电光元件20的一端。在壳体10的另一端侧10b，在外罩101设有贯通孔101b。在贯通孔101b插入光纤12。光纤12连接于电光元件20的另一端。在壳体10的侧面10c设有用于输入调制信号(电信号)的同轴连接器(连接器)13。在壳体10的内部空间的底面(内部底面)10x安装有电光元件20、中继部30、终端部40。(电光元件)电光元件20具有基板21、调制电极22。基板21是以具有电光效应的材料为形成材料的板状构件。作为基板21的形成材料，可以使用铌酸锂(LiNbO3：LN)、钽酸锂(LiTaO3)、锆钛酸铅镧(PLZT)等结晶材料。在使用结晶材料作为基板21的形成材料时，通过使用对于以结晶材料为形成材料的板材实施Ti等金属的热扩散、基于蚀刻加工的肋形成、质子交换等公知的技术，能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光器件，具备：光学元件；连接器，被输入电信号或输出电信号；中继基板，将所述连接器与所述光学元件电连接；一对支承部，支承所述中继基板；及壳体，将所述连接器固定，并收容所述光学元件、所述中继基板及所述一对支承部，所述光学元件具有在内部形成有光波导的基板和在所述基板的表面形成的调制电极，所述中继基板具有电介质基板、在所述电介质基板的一个主面设置的信号电极、在所述一个主面设置的接地电极，所述信号电极及所述接地电极与所述调制电极及所述连接器电连接，所述一对支承部在俯视图中夹持所述中继基板，在所述中继基板的另一个主面与所述壳体的内部底面之间形成有空隙。

【技术特征摘要】
2017.03.31 JP 2017-0716321.一种光器件，具备：光学元件；连接器，被输入电信号或输出电信号；中继基板，将所述连接器与所述光学元件电连接；一对支承部，支承所述中继基板；及壳体，将所述连接器固定，并收容所述光学元件、所述中继基板及所述一对支承部，所述光学元件具有在内部形成有光波导的基板和在所述基板的表面形成的调制电极，所述中继基板具有电介质基板、在所述电介质基板的一个主面设置的信号电极、在所述一个主面设置的接地电极，所述信号电极及所述接地电极与所述调制电极及所述连接器电连接，所述一对支承部在俯视图中夹持所述中继基板，在所述中继基板的另一个主...

【专利技术属性】
技术研发人员：石川佳澄，高野真悟，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP