光调制器制造技术

本发明专利技术提供一种光调制器。在光调制器中，降低信号电极间的电气串扰，而不会导致由信号电极和接地电极构成的信号线路的高频特性的变化。一种光调制器，由在具有电光效应的基板上设置的多个光波导构成，具备：多个信号电极，对在所述光波导中传播的光波进行控制；以及多个接地电极，以夹着该信号电极的方式设置，至少一个所述接地电极由第一层和形成在该第一层之上的第二层构成，所述第二层形成为，该第二层和与该第二层相邻的信号电极之间的距离大于所述第一层和所述相邻的信号电极之间的距离，由所述第一层及所述第二层构成的所述接地电极的厚度为25μm以上。

【技术实现步骤摘要】
光调制器
本专利技术涉及由形成在基板上的光波导构成的光调制器，尤其是涉及通过向并列地设置在基板上的光波导施加电场来进行光调制等动作的光调制器。
技术介绍
近年来，在光通信或光计测的领域中，大多使用在具有电光效应的基板上形成有光波导的光调制器等波导型光元件。波导型光元件通常与上述光波导一起具备用于控制在该光波导内传播的光波的控制电极。作为这样的波导型光元件，广泛地使用例如将作为强电介质结晶的铌酸锂(LiNbO3)(也称为“LN”)使用于基板而得到的马赫-曾德尔(Mach-Zehnder)型光调制器。马赫-曾德尔型光调制器具备马赫-曾德尔型光波导，该马赫-曾德尔型光波导由用于从外部导入光的入射波导、用于使由该入射波导导入的光分为2条路径传播的分支部、在分支部的后段使分支后的各个光传播的2条并列波导以及用于将在该2条并列波导中传播的光进行合波而向外部输出的出射波导构成。另外，马赫-曾德尔型光调制器具备控制电极，该控制电极用于通过施加电压而利用电光效应来使在上述并列波导内传播的光波的相位变化而进行控制。该控制电极通常由在上述并列波导的上部或其附近形成的RF(高频)信号电极(以下称为“信号电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光调制器，是由在具有电光效应的基板上并列设置的多个光波导构成的波导型光元件，其特征在于，具备：多个信号电极，对在所述光波导中分别传播的光波进行控制且并列设置；以及多个接地电极，以在所述基板的面方向上夹着所述信号电极的方式设置，至少一个所述接地电极由第一层和形成在该第一层之上的第二层构成，所述第二层形成为，该第二层和与该第二层相邻的信号电极之间的距离大于所述第一层和所述相邻的信号电极之间的距离，由所述第一层及所述第二层构成的所述接地电极的厚度为25μm以上。

【技术特征摘要】
2017.03.31 JP 2017-0697351.一种光调制器，是由在具有电光效应的基板上并列设置的多个光波导构成的波导型光元件，其特征在于，具备：多个信号电极，对在所述光波导中分别传播的光波进行控制且并列设置；以及多个接地电极，以在所述基板的面方向上夹着所述信号电极的方式设置，至少一个所述接地电极由第一层和形成在该第一层之上的第二层构成，所述第二层形成为，该第二层和与该第二层相邻的信号电极之间的距离大于所述第一层和所述相邻的信号电极之间的距离，由所述第一层及所述第二层构成的所述接地电极的厚度为25μm以上。2.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述信号电极的厚度与所述接地电极的第二层的厚度相同。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫崎德一，细川洋一，菅又徹，
申请(专利权)人：住友大阪水泥股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP