The present invention describes aerosol-free containers, delivery receptacles, systems and methods for using them to provide improvements in the use of precursors in receptacles for deposition methods, as well as cleanliness and refilling of receptacles. The blockage of valves and pipes caused by decomposition of some precursors can be minimized. The invention prevents fog formation and thus prevents clogging or wafer contamination from aerosols.
【技术实现步骤摘要】
用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器相关申请的交叉引用本专利申请是2017年4月10日提交的美国临时专利申请序列号62/483,784的非临时申请，其全部内容通过引用并入本文。
技术介绍
电子器件制造工业需要各种化学品作为原材料或前体来制造集成电路和其他电子器件。在制造半导体器件期间的一个或多个步骤中使用诸如化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)工艺的沉积工艺，以在衬底的表面上形成一个或多个膜或涂层。在典型的CVD或ALD工艺中，可以处于固相和/或液相的前体源被传送到其中容纳一个或多个基底的反应室，其中前体在一定条件(如温度或压力)下反应以在衬底表面上形成涂层或膜。存在若干种公认的技术以向处理室供应前体蒸气。一种方法将液体前体以液体形式供应至处理室，其中通过液体质量流量控制器(LMFC)控制流量，然后前体在使用时由容器蒸发。第二种方法包括通过加热蒸发液体前体，并将所得蒸气供应到室，其中通过质量流量控制器(MFC)控制流量。第三种方法包括将载气鼓泡向上通过液体前体。第四种方法包括使载气能够流过容纳于罐中的前体的表面，并且将前体蒸气从罐中运送出、并随后运送到处...
【技术保护点】
1.一种无气溶胶容器，所述容器包含：流动导管，其具有起点、终点以及在所述起点和所述终点之间的定向转折；和含有气溶胶的流体，其从所述起点流动；其中所述定向转折使所述气溶胶在所述无气溶胶容器中的停留时间最大化，以相变为蒸气；和所述流动导管从所述起点到所述终点逐渐升高。
【技术特征摘要】
2017.04.10 US 62/483,7841.一种无气溶胶容器，所述容器包含：流动导管，其具有起点、终点以及在所述起点和所述终点之间的定向转折；和含有气溶胶的流体，其从所述起点流动；其中所述定向转折使所述气溶胶在所述无气溶胶容器中的停留时间最大化，以相变为蒸气；和所述流动导管从所述起点到所述终点逐渐升高。2.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其中所述流动导管具有截面，该截面的形状选自：至少部分圆形、至少部分椭圆形、至少部分正方形、至少部分矩形及其组合；其中所述流动导管的截面面积从所述起点到所述终点减小。3.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其进一步包含覆盖所述流动导管的覆盖物。4.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其中所述流动导管是具有螺旋形或蛇形形状的管子。5.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其进一步包含顶表面，其中所述容器的顶表面的形状选自圆形、椭圆形、正方形、矩形、蛇形形状及其组合。6.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其中所述流动导管的所述起点包含筛网以减少进入所述无气溶胶容器的气...
【专利技术属性】
技术研发人员：C·M·比尔彻，G·维万克，S·V·伊瓦诺维，W·舍伊，T·A·斯泰德尔，
申请(专利权)人：弗萨姆材料美国有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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