微型气体供应控制器制造技术

一种微型气体供应控制器，其包括：一感测器、一控制单元、一气体管路模块、一流量控制开关及一手动开关。该感测器设置于一储存柜体，提供至少一感测数据。该控制单元依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该气体管路模块用以供应气体至该储存柜体。该流量控制开关设置于该气体管路模块，控制该气体管路模块的开启或关闭。该手动开关设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。利用本实用新型专利技术的该微型气体供应控制器，可依据感测数据，控制气体是否提供至该储存柜体，以节省气体的成本，且可确保气体能供应至该储存柜体，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体的情况，以维持该储存柜体的温度或湿度。

【技术实现步骤摘要】
微型气体供应控制器
本技术涉及微型气体供应控制器。
技术介绍
现有储存柜体用以储存经处理或未经处理的晶圆或半导体元件，为使储存柜体内的晶圆或半导体元件不受环境(例如：温度或湿度)的影响，现有储存柜体必须输入气体以维持储存柜体的温度及湿度。现有输入气体的方式是全日不间断地输入气体，造成气体的成本增加。另外，没有其他机制侦测是否气体确实输入至该储存柜体，可能发生气体没有输入至该储存柜体的情况。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的不足与缺陷，本技术提供一种微型气体供应控制器。为达上述目的，本技术的微型气体供应控制器包括：一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。前述的微型气体供应控制器，其中，该感测器用以测量该储存柜体的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。前述的微型气体供应控制器，其中，该控制单元还包括一比较器，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关开启。前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一支路及一第二支路，该流量控制开关设置于该第一支路，该手动开关设置于该第二支路。前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一管路及一第二管路，该第一管路接收一气体供应源的气体，该第二管路连接至该储存柜体，以输入气体至该储存柜体。前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一个三通阀及一第二个三通阀，该第一个三通阀连接该第一管路、该第一支路及该第二支路，该第二个三通阀连接该第二管路、该第一支路及该第二支路。前述的微型气体供应控制器，其中，于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时，该手动开关切换为开启，使气体经由该第二支路输入至该储存柜体。前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一警报器，用以于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时发出警报。前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一面板，该手动开关设置于该面板。前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括多个指示灯，该多个指示灯设置于该面板，用以显示该微型气体供应控制器的状态。本技术提供一种微型气体供应控制器。在一实施例中，该微型气体供应控制器包括：一感测器、一控制单元、一气体管路模块、一流量控制开关及一手动开关。该感测器设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据。该控制单元电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该气体管路模块用以供应气体至该储存柜体。该流量控制开关电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭。该手动开关设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。本技术的有益效果：利用本技术的该微型气体供应控制器，可依据感测数据，控制气体是否提供至该储存柜体，以节省气体的成本，且可确保气体能供应至该储存柜体，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体的情况，以维持该储存柜体的温度或湿度。附图说明图1显示本技术微型气体供应控制器的方块示意图；及图2显示本技术微型气体供应控制器的外观示意图。附图标记说明：10微型气体供应控制器11感测器12控制单元13气体管路模块14流量控制开关15手动开关16警报器17面板20储存柜体121比较器131第一支路132第二支路133第一管路134第二管路135第一个三通阀136第二个三通阀181、182、183指示灯。具体实施方式图1显示本技术微型气体供应控制器的方块示意图。图2显示本技术微型气体供应控制器的外观示意图。配合参考图1及图2，在一实施例中，本技术微型气体供应控制器可应用于控制输入气体至一储存柜体，例如控制输入氮气(N2)至一储存柜体，但不限于上述。该微型气体供应控制器10包括：一感测器11、一控制单元12、一气体管路模块13、一流量控制开关14及一手动开关15。该感测器11设置于一储存柜体20，用以测量该储存柜体20的环境数据，提供至少一感测数据。在一实施例中，该感测器11用以测量该储存柜体20的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。在一实施例中，该储存柜体20可为一晶圆储存柜体，储存已处理或未处理的晶圆或半导体元件。该控制单元12电性连接该感测器11，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该控制单元12可为一控制器、微处理器等。该气体管路模块13用以供应气体至该储存柜体20。在一实施例中，该气体管路模块13供应氮气(N2)至该储存柜体20。该流量控制开关14电性连接该控制单元12，该流量控制开关14设置于该气体管路模块13。依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关14的开启或关闭，以控制该气体管路模块13的开启或关闭。在一实施例中，该控制单元12还包括一比较器121，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关14开启，使该气体管路模块13开启，以供应气体至该储存柜体20，使该储存柜体20的温度或湿度降低至该温度设定值或该湿度设定值，以保持该储存柜体20内的温度或湿度。当该储存柜体20的温度或湿度降低至该温度设定值或该湿度设定值时，产生一关闭控制信号，控制该流量控制开关14关闭，使该气体管路模块13关闭，以节省气体的成本。该手动开关15设置于该气体管路模块13，以手动控制该气体管路模块13的开启或关闭。若该流量控制开关14异常，操作者可以手动方式切换该手动开关15，以控制该气体管路模块13的开启或关闭，例如，将该手动开关15切换为开启(ON)，使该气体管路模块13开启，以供应气体至该储存柜体20，避免该储存柜体20内的温度或湿度提高。在一实施例中，该气体管路模块13还包括一第一支路131及一第二支路132，该流量控制开关14设置于该第一支路131，该手动开关15设置于该第二支路132。亦即，该流量控制开关14控制该第一支路131的开启或关闭，该手动开关15控制该第二支路132的开启或关闭。该气体管路模块13还包括一第一管路133及一第二管路134，该第一管路133接收一气体供应源的气体，亦即，该第一管路133连接至一气体供应源(图未示出)。该第二管路134连接至该储存柜体20，以输入气体至该储存柜体20。该气体管路模块13还包括一第一个三通阀135及一第二个三通阀136。该第一个三通阀135连接该第一管路133、该第一支路131及该第二支路132本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型气体供应控制器，其特征在于，包括：一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。

【技术特征摘要】
2017.10.02 TW 1062146821.一种微型气体供应控制器，其特征在于，包括：一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。2.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该感测器用以测量该储存柜体的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。3.如权利要求2所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该控制单元还包括一比较器，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关开启。4.如权利要求1所述的微型气体供应控制器，其特征在于，该气体管路模块还包括一第一支路及...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑学宏，
申请(专利权)人：郑学宏，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71