多自由度主动隔振装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多自由度主动隔振装置及方法，包括平台和设于支撑平台下边缘上的6条支撑腿；6条支撑腿均匀排列成两行，每条支撑腿均包括双腔垂直空气弹簧和设于双腔垂直空气弹簧下端的水平空气弹簧；每条支撑腿上均设有气动比例阀、用于检测气体压力的压力传感器、位移传感器和速度传感器，控制器分别与各个气动比例阀、各个压力传感器、各个位移传感器和各个速度传感器电连接，每个气动比例阀均与对应的支撑腿的双腔垂直空气弹簧和水平空气弹簧连通。本发明专利技术具有可以抑制共振峰，能对超过固有频率的振动进行有效隔离的特点。

【技术实现步骤摘要】
多自由度主动隔振装置及方法
本专利技术涉及精密加工
，尤其是涉及一种无电磁干扰，可以抑制共振峰，适合精密隔振的多自由度主动隔振装置及方法。
技术介绍
随着精密超精密加工和超精密测量等技术的发展，低频超低频振动的影响变得十分突出，因此研究低频超低频的主动隔振技术具有十分重要的意义。主动隔振系统广泛应用在以IC光刻机为代表的半导体加工制造领域，以投射电子显微镜为代表的精密测量领域，以精密车床为代表的精密加工领域，以磁共振成像为代表的医疗领域。主动隔振系统主要由受控对象、作动器、控制器、传感器等组成。主动隔振系统相较于传统的被动隔振具有更好的低频超低频性能。主动隔振系统的发展主要受传感器、控制器和作动器的制约。由于精密主动隔振系统需要测量低频超低频振动，目前能测量低频超低频的传感器价格较为昂贵。作动器的选择在很大程度上决定了整个隔振系统的性能。振动主动控制中用到较多的作动器有电磁作动器、压电作动器、磁致伸缩作动器、液压作动器、气动作动器等。电磁作动器、压电作动器、磁致伸缩作动器可能引入较大的电磁干扰，而目前精密隔振设备对电磁干扰也有很大的限制；液压作动器体积重量大，油液会污染环境。专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多自由度主动隔振装置，其特征是，包括平台(1)和设于支撑平台下边缘上的6条支撑腿(2)；6条支撑腿均匀排列成两行，每条支撑腿均包括双腔垂直空气弹簧(21)和设于双腔垂直空气弹簧下端的水平空气弹簧(22)；每条支撑腿上均设有气动比例阀(23)、用于检测气体压力的压力传感器(24)、位移传感器(25)和速度传感器(26)，控制器分别与各个气动比例阀、各个压力传感器、各个位移传感器和各个速度传感器电连接，每个气动比例阀均与对应的支撑腿的双腔垂直空气弹簧和水平空气弹簧连通。

【技术特征摘要】
1.一种多自由度主动隔振装置，其特征是，包括平台(1)和设于支撑平台下边缘上的6条支撑腿(2)；6条支撑腿均匀排列成两行，每条支撑腿均包括双腔垂直空气弹簧(21)和设于双腔垂直空气弹簧下端的水平空气弹簧(22)；每条支撑腿上均设有气动比例阀(23)、用于检测气体压力的压力传感器(24)、位移传感器(25)和速度传感器(26)，控制器分别与各个气动比例阀、各个压力传感器、各个位移传感器和各个速度传感器电连接，每个气动比例阀均与对应的支撑腿的双腔垂直空气弹簧和水平空气弹簧连通。2.根据权利要求1所述的多自由度主动隔振装置，其特征是，在平台上表面上建立三维坐标系，X轴由平台上表面中心向右水平延伸，Y轴由平台上表面中心向后水平延伸，Z轴由平台上表面中心向上垂直延伸；6条支撑腿在平台下表面按照左后部、中后部、右后部、左前部、中前部和右前部分布，中后部、左前部和右前部的支撑腿上的位移传感器和速度传感器的探头均沿Z轴方向延伸。3.根据权利要求2所述的多自由度主动隔振装置，其特征是，右后部的支撑腿的位移传感器和速度传感器的探头均沿XY平面45°方向延伸。4.根据权利要求3所述的多自由度主动隔振装置，其特征是，左后部的支撑腿的位移传感器和速度传感器的探头均沿XY平面135°方向延伸。5.根据权利要求4所述的多自由度主动隔振装置，其特征是，中前部的支撑腿的位移传感器和速度传感器的探头均沿X轴方向延伸。6.一种基于权利要求2所述的多自由度主动隔振装置的方法，其特征是，包括如下步骤：控制器根据中后部、左前部和右前部的支撑腿上的位移传感器的反馈信号，控制中后部、左前部和右前部的气动比例阀分别给中后部、左前部和右前部的支撑腿充气，使平台上升到设定的高度Zref，并保持高度稳定；当地面有垂直向上振动时，控制器根据中后部、左前部和右前部的支撑腿的速度传感器的反馈信号，分别控制中后部、左前部和右前部的支撑腿的气动比例阀释放气体，抵消地面的向上振动；释放气体的量与垂直向上振动的幅度呈正比；当地面有垂直向下振动时，控制器根据中后部、左前部和右前部的支撑腿的速度传感器的反馈信号，...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺惠农，汤龙浩，黄连生，
申请(专利权)人：杭州亿恒科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33