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多自由度主动隔振装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:19210907
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本发明公开了一种多自由度主动隔振装置及方法,包括平台和设于支撑平台下边缘上的6条支撑腿;6条支撑腿均匀排列成两行,每条支撑腿均包括双腔垂直空气弹簧和设于双腔垂直空气弹簧下端的水平空气弹簧;每条支撑腿上均设有气动比例阀、用于检测气体压力的压力...
该专利属于杭州亿恒科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州亿恒科技有限公司授权不得商用。
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