晶圆夹具及夹持晶圆的方法技术

本发明专利技术提出一种晶圆夹具及夹持晶片的方法，该晶片夹具包含具有顶面的平台；停止器设于平台的前端；推杆设于平台的后端；至少一致动器枢接于推杆；感测器设于平台的前端，用以量测感测器与其上晶圆之间的距离。

Wafer fixture and method of holding wafer

The invention provides a wafer clamp and a method for clamping a wafer. The wafer clamp comprises a platform with a top surface; a stopper is located at the front end of the platform; a push rod is located at the back end of the platform; at least one actuator is pivoted on the push rod; and a sensor is located at the front end of the platform to measure the distance between the sensor and the wafer on it.

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹具及夹持晶圆的方法
本专利技术涉及一种晶圆夹具(waferclamp)，尤其涉及一种适用于机器人系统的晶圆夹具，用以拾取及放置晶圆。
技术介绍
机器人系统的机械手(robotichand)或牙叉(fork)普遍用以自动拾取及放置晶圆(wafer或chip)。传统的机器人系统使用真空牙叉(vacuumfork)来夹持晶圆。由于传统真空牙叉易发生错位(misalignment)情形，使得晶圆无法被精准对位及拾取，造成晶圆的掉落及破裂。此外，传统真空牙叉是设计以接触待拾取晶圆的顶面或底面。此类设备无法适用于一些晶圆，例如光学元件(如光学透镜或玻璃)。鉴于此，因此提出一种啮合式(engaged)牙叉，以改善真空牙叉的缺失。然而，传统啮合式牙叉无法快速移动及旋转，因而造成晶圆10的弹落。鉴于传统机械牙叉无法有效对位及拾取晶圆，因此亟需提出一种新颖的晶圆夹具，以改善传统机械牙叉的缺点。
技术实现思路
鉴于上述，本专利技术实施例的目的之一在于提出一种适用于机器人系统的晶圆夹具及夹持晶圆的方法。本专利技术实施例所提供的晶圆夹具可精准对位于晶圆，且可快速移动及旋转而不会造成晶圆的弹落。根据本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆夹具，包含：一平台，具有一顶面；一停止器，设于该平台的前端；一推杆，设于该平台的后端；至少一致动器，枢接于该推杆；及一感测器，设于该平台的前端，用以量测该感测器与其上晶圆之间的距离。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹具，包含：一平台，具有一顶面；一停止器，设于该平台的前端；一推杆，设于该平台的后端；至少一致动器，枢接于该推杆；及一感测器，设于该平台的前端，用以量测该感测器与其上晶圆之间的距离。2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该平台的顶面为平坦。3.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该停止器的顶面高于该平台的顶面，因此当该晶圆支撑于该平台上时，该停止器的顶面相同或高于该晶圆的顶面。4.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该推杆的顶面高于该平台的顶面，因此当该晶圆支撑于该平台上时，该推杆的顶面相同或高于该晶圆的顶面。5.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该致动器将该推杆往前推动，使得该晶圆稳固地夹持于该停止器与该推杆之间。6.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该至少一致动器包含两致动器，平行枢接于该推杆。7.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该至少一致动器包含一致动器，其与至少一辅助杆平行枢接于该推杆。8.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其中该致动器包含气压缸。9.根据权利要求8所述的晶圆夹具，当该气压缸未致动时，该气压缸的前端被拉回至原始位置。10.根据权利要求1所述的晶圆夹具，还包含一面板，用以支撑该致动器。11.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢芳万，张瑞堂，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71