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本发明提出一种晶圆夹具及夹持晶片的方法，该晶片夹具包含具有顶面的平台；停止器设于平台的前端；推杆设于平台的后端；至少一致动器枢接于推杆；感测器设于平台的前端，用以量测感测器与其上晶圆之间的距离。...
该专利属于奇景光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇景光电股份有限公司授权不得商用。

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