设备碰撞报警装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种设备碰撞报警装置，包括：具有光源发射器的顶板、具有用以接收由所述光源发射器发射的光源的光源接收器的底板，所述底板的上表面自所述底板边缘向所述底板的中心倾斜、自由放置于所述底板上表面的金属球、位于所述底板边缘的第一电极、位于所述第一电极外侧环绕于所述第一电极的外侧并与所述第一电极形成间隙的第二电极以及报警控制器。

Equipment collision warning device

The utility model provides an equipment collision alarm device, which comprises a top plate with a light source emitter and a bottom plate with a light source receiver for receiving light sources emitted by the light source emitter. The upper surface of the bottom plate inclines from the edge of the bottom plate to the center of the bottom plate and is freely placed on the surface of the bottom plate. A metal ball, a first electrode located at the edge of the bottom plate, a second electrode located outside the first electrode surrounding the outer side of the first electrode and forming a gap with the first electrode, and an alarm controller.

【技术实现步骤摘要】
设备碰撞报警装置
本技术属于半导体设备领域，涉及一种设备碰撞报警装置。
技术介绍
半导体器件的制备离不开高精度及高灵敏度的设备，对于对灵敏度和精度要求较高的设备，一旦被碰撞常常会造成设备故障。在半导体产线上，包含有大量的高精度及高灵敏度的设备，如刻蚀机、晶圆切割机、贴片机等。然而，在产线上常常包含有用于运输、中转的推车及流动的工作人员等，因此产线上的设备难免会发生撞击的问题。其中，对于轻度撞击造成的设备问题，常常很难找到问题所在，使得设备运行存在隐患。以光刻机为例，目前，设备的盖板下常常装有互锁装置，用于对设备的撞击情况进行报警，当设备的盖板被撞击时，互锁装置会触发报警，提醒工作人员设备发生撞击。然而，这种互锁装置很容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来很大的隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，因而工作人员如果想知道设备被撞击的方向及程度就需要大量的时间去排查，造成人力的浪费以及设备生产效率的降低。综上所述，提供一种设备碰撞报警装置，用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备碰撞报警装置，其特征在于，包括：顶板，所述顶板包括光源发射器；底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；金属球，自由放置于所述底板的上表面；第一电极，位于所述底板边缘；第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。

【技术特征摘要】
1.一种设备碰撞报警装置，其特征在于，包括：顶板，所述顶板包括光源发射器；底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；金属球，自由放置于所述底板的上表面；第一电极，位于所述底板边缘；第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。2.根据权利要求1所述的设备碰撞报警装置，其特征在于：所述设备碰撞报警装置还包括防护件。3.根据权利要求2所述的设备碰撞报警装置，其特征在于：所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的透明玻璃罩。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘普然，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32