设备碰撞报警装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种设备碰撞报警装置，包括：具有光源发射器的顶板、具有用以接收由所述光源发射器发射的光源的光源接收器的底板，所述底板的上表面自所述底板边缘向所述底板的中心倾斜、自由放置于所述底板上表面的金属球、位于所述底板边缘的第一电极、位于所述第一电极外侧环绕于所述第一电极的外侧并与所述第一电极形成间隙的第二电极以及报警控制器。

Equipment collision warning device

The utility model provides an equipment collision alarm device, which comprises a top plate with a light source emitter and a bottom plate with a light source receiver for receiving light sources emitted by the light source emitter. The upper surface of the bottom plate inclines from the edge of the bottom plate to the center of the bottom plate and is freely placed on the surface of the bottom plate. A metal ball, a first electrode located at the edge of the bottom plate, a second electrode located outside the first electrode surrounding the outer side of the first electrode and forming a gap with the first electrode, and an alarm controller.

【技术实现步骤摘要】
设备碰撞报警装置
本技术属于半导体设备领域，涉及一种设备碰撞报警装置。
技术介绍
半导体器件的制备离不开高精度及高灵敏度的设备，对于对灵敏度和精度要求较高的设备，一旦被碰撞常常会造成设备故障。在半导体产线上，包含有大量的高精度及高灵敏度的设备，如刻蚀机、晶圆切割机、贴片机等。然而，在产线上常常包含有用于运输、中转的推车及流动的工作人员等，因此产线上的设备难免会发生撞击的问题。其中，对于轻度撞击造成的设备问题，常常很难找到问题所在，使得设备运行存在隐患。以光刻机为例，目前，设备的盖板下常常装有互锁装置，用于对设备的撞击情况进行报警，当设备的盖板被撞击时，互锁装置会触发报警，提醒工作人员设备发生撞击。然而，这种互锁装置很容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来很大的隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，因而工作人员如果想知道设备被撞击的方向及程度就需要大量的时间去排查，造成人力的浪费以及设备生产效率的降低。综上所述，提供一种设备碰撞报警装置，用于解决由于互锁装置容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，造成人力的浪费以及设备生产效率降低的问题实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种设备碰撞报警装置，用于解决现有技术中由于互锁装置容易损坏，且损坏后难以修复，造成资源浪费；互锁装置常常发生误报警和不报警的现象，准确度不高，工作人员常常会忽视互锁装置的作用，给设备运行带来隐患；互锁装置仅仅能告知工作人员设备发生撞击，但对于撞击的程度以及撞击方向不能测量，造成人力的浪费以及设备生产效率的降低的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种设备碰撞报警装置，包括：顶板，所述顶板包括光源发射器；底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；金属球，自由放置于位于所述底板的上表面；第一电极，位于所述底板边缘；第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。优选地，所述设备碰撞报警装置还包括防护件。优选地，所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的透明玻璃罩。优选地，所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的防护网。优选地，所述设备碰撞报警装置还包括穿过所述顶板中心的中心柱，用于支撑所述顶板及底板。优选地，所述设备碰撞报警装置还包括底部支撑架。优选地，所述顶板、底板及第二电极的横截面为圆形。优选地，所述报警控制器包括声光报警器。优选地，当所述金属球位于所述间隙处时，所述金属球连接所述第一电极及第二电极形成短路，使设备停机。如上所述，本技术的设备碰撞报警装置，具有以下有益效果：设备碰撞报警装置维修简单，节约资源；可测试设备被撞击的严重程度以及被撞击方向，准确度高，节省人力以及提高设备生产效率。附图说明图1显示为本技术中的设备碰撞报警装置的结构示意图。图2显示为图1中沿A-A’的截面形成的结构示意图。元件标号说明100顶板101光源发射器200底板201光源接收器300金属球400第一电极500第二电极600报警控制器700透明玻璃罩800中心柱具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1所示，本技术提供一种设备碰撞报警装置，包括：顶板100、底板200、金属球300、第一电极400、第二电极500、报警控制器600、透明玻璃罩700及中心柱800。具体的，所述顶板100包括光源发射器101，所述光源发射器101均匀的分布于所述顶板100的下表面，提供光源；所述底板200与所述顶板100相对应，所述底板200的上表面自所述底板200的边缘向所述底板200的中心倾斜，且所述底板200包括光源接收器201，所述光源接收器201用以接收由所述光源发射器101发射的光源；所述金属球300位于所述底板200的上表面；所述第一电极400位于所述底板200的边缘；所述第二电极500位于所述第一电极400的外侧，环绕于所述第一电极400的外侧，并与所述第一电极400形成一间隙，所述间隙的宽度小于所述金属球300的直径，用于承载所述金属球300，如图2所示显示为图1中沿A-A’的截面形成的结构示意图。所述报警控制器600，连接所述光源接收器201、第一电极400及第二电极500；由所述光源发射器101发射的光源被所述金属球300阻挡，因而所述光源接收器201无法接收光源，从而可判断所述金属球300的位置。具体的，将所述设备碰撞报警装置水平安装于设备上，当设备在受外力撞击时，所述金属球300在所述底板200的上表面受力不平衡，因而会朝着合力的方向有所运动，由所述光源发射器101发射出的光源会被所述金属球300遮挡，因而所述光源接收器201无法接收光源，所述光源接收器201将没有接收到光源的信号发送给所述报警控制器600，所述报警控制器600发出报警信号，提示工作人员设备异常。根据所述金属球300的运动方向，可推知设备所受撞击的方向，因而，工作人员只需重点排查受力方向处设备的局部区域即可，从而可减少设备停机时间，提高生产效率，降低成本。如若经过排查后，设备没有造成问题，只需将所述金属球300当前的位置设置为平衡位置即可，不需要反复调整所述金属球300的位置。当设备受到较大的撞击时，所述底板200上的所述光源接收器201全部接收到光源，说明设备撞击幅度较大，所述金属球300已脱离所述底板200的上表面运行至由所述第一电极400及所述第二电极500所形成的所述间隙处，由于所述间隙的宽度小于所述金属球300的直径，因而所述间隙可承载所述金属球300，使所述金属球300夹在所述间隙处，此时，所述第一电极400及第二电极500与所述金属球300连接，形成短路，所述报警控制器600发出报警，同时触发设备紧急停机，使设备进入自我保护状态，降低损失。作为示例，所述设备碰撞报警装置还包括防护件，用以阻挡所述金属球300，以防本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设备碰撞报警装置，其特征在于，包括：顶板，所述顶板包括光源发射器；底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；金属球，自由放置于所述底板的上表面；第一电极，位于所述底板边缘；第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。

【技术特征摘要】
1.一种设备碰撞报警装置，其特征在于，包括：顶板，所述顶板包括光源发射器；底板，所述底板与所述顶板相对应，包括光源接收器用以接收由所述光源发射器发射的光源，所述底板的上表面自所述底板的边缘向所述底板的中心倾斜；金属球，自由放置于所述底板的上表面；第一电极，位于所述底板边缘；第二电极，环绕于所述第一电极的外侧，并与所述第一电极形成间隙；所述间隙的宽度小于所述金属球的直径；报警控制器，连接所述光源接收器、第一电极及第二电极。2.根据权利要求1所述的设备碰撞报警装置，其特征在于：所述设备碰撞报警装置还包括防护件。3.根据权利要求2所述的设备碰撞报警装置，其特征在于：所述防护件包括环绕于所述第二电极的外侧的透明玻璃罩。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘普然，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32