带剥离装置制造方法及图纸

提供带剥离装置，不使用剥离带便能够将带从板状物剥离。从粘贴有带(T)的板状物(W)将带剥离的带剥离装置具有：剥离起点形成部(3)，其进入板状物与带之间的界面而形成剥离起点(T1)；移动单元，其使剥离起点形成部相对于界面进退自如地进行相对移动；以及剥离单元(4)，其一边对通过剥离起点形成部形成的带的剥离起点进行保持，一边将带从板状物剥离，剥离起点形成部具有前端部(35)，该前端部包含：倾斜面(351)，其相对于板状物的厚度方向倾斜；以及底部(350)，其与进入界面的进入方向平行，在前端部中形成有空气提供路(300)和空气喷出口(301)，该空气提供路的一端与空气提供源(33)连接，该空气喷出口与空气提供路的另一端连接，对剥离起点形成部所进入的界面喷出空气。

【技术实现步骤摘要】
带剥离装置
本专利技术涉及带剥离装置，该带剥离装置从粘贴有带的板状物将该带剥离。
技术介绍
在对半导体晶片等板状物进行磨削的情况下，在将保护带粘贴在被磨削面的相反面上并对保护带侧进行保持的状态下进行磨削。然后，在磨削结束之后，将保护带剥离而将板状物搬送到下一个工序。通过将剥离带粘贴在保护带上并拉拽剥离带而将保护带从板状物剥离(例如，参照专利文献1、2)。专利文献1：日本特开平11-16862号公报专利文献2：日本特开2003-338477号公报但是，使用剥离用带的带剥离装置存在如下问题：装置构造变得复杂，而且剥离带的维护成本也变高。并且，还存在所废弃的剥离带附着在装置内的问题。因此，优选不使用剥离带便能够将保护带剥离。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的问题而完成的，其课题在于提供带剥离装置，不使用剥离带便能够将带从板状物剥离。一种带剥离装置，其从粘贴有带的板状物将该带剥离，其中，该带剥离装置具有：保持单元，其对粘贴有该带的板状物进行保持；剥离起点形成部，其进入板状物与该带之间的界面而形成剥离起点；移动单元，其使该剥离起点形成部相对于该界面进退自如地进行相对移动；以及剥离单元，其一边对通过该剥离起点形成部而形成的该带的剥离起点进行保持，一边将该带从板状物剥离，该剥离起点形成部具有前端部，该前端部包含：倾斜面，其相对于板状物的厚度方向倾斜；以及底部，其与进入该界面的进入方向平行，在该前端部中形成有空气提供路和空气喷出口，该空气提供路的一端与空气提供源连接，该空气喷出口与该空气提供路的另一端连接，对该剥离起点形成部所进入的该界面喷出空气。在本专利技术中，在剥离起点形成部中形成有空气喷出口，该空气喷出口对剥离起点形成部所进入的板状物与带之间的界面喷出空气，因此通过从空气喷出口喷出空气，能够形成带的一部分从板状物剥离而得的剥离起点。因此，即使不使用以往使用的剥离带，也能够将带从板状物W剥离。附图说明图1是示出带剥离装置的例子的立体图。图2是示出剥离起点形成部的例子的剖视图。图3是概略地示出在保持单元中保持了板状物的状态的剖视图。图4是概略地示出使剥离起点形成部位于比带T和板状物W的周缘部靠外周侧的上方的状态的剖视图。图5是概略地示出使剥离起点形成部的爪部位于板状物与带的界面的侧方的状态的剖视图。图6是概略地示出使剥离起点形成部的爪部进入板状物与带之间的界面的状态的剖视图。图7是概略地示出从剥离起点形成部的空气喷出口喷出空气从而将带的一部分剥离而形成剥离起点的状态的剖视图。图8是概略地示出通过带剥离单元的第1夹持片来支承剥离起点的状态的剖视图。图9是概略地示出通过带剥离单元的第1夹持片和第2夹持片来夹持剥离起点的状态的剖视图。图10是概略地示出通过带剥离单元的第1夹持片和第2夹持片来夹持剥离起点，一边通过弯折辊压住带一边进行带的剥离的状态的剖视图。图11是概略地示出将通过弯折辊剥离的带按压于带剥离单元的保持板而进行保持的状态的剖视图。图12是概略地示出解除第1夹持片和第2夹持片对带的剥离起点的夹持的状态的剖视图。标号说明1：带剥离装置；2：保持单元；20：吸附部；21：框体；22：保持面；3：剥离起点形成部；30：前端部；300：空气提供路；301：空气喷出口；31：升降单元；310a：第1气缸；310b：第1杆；311：臂部；312：垂下部；32：阀；33：空气提供源；34：轴部；35：作用部；350：底部；351：倾斜面；352：爪部；4：剥离单元；40：保持基座；41：保持板；42：夹持部；43a：第2气缸；43b：第2杆；44a：第3气缸；44b：第3杆；45：第1夹持片；46：第2夹持片；47a：第4气缸；47b：第4杆；48：弯折辊；48a：引导部；5：移动单元；50：滚珠丝杠；51：导轨；52：电动机；53：移动基台；6：废弃容器；7：升降单元；70a：第5气缸；70b：第5杆；8：片材保持单元。具体实施方式图1所示的带剥离装置1具有：保持单元2，其对粘贴有带T的板状物W进行保持；剥离起点形成部3，其形成用于将带T从板状物W剥离的起点；以及剥离单元4，其将带T从板状物W剥离。保持单元2具有：吸附部20，其由多孔部件构成；以及框体21，其从外周侧对吸附部20进行支承。吸附部20的上表面与框体21的上表面形成为同一平面，该面构成了保持面22。保持单元2被移动单元5驱动而能够在X轴方向上移动。移动单元5包含：滚珠丝杠50，其沿X轴方向延伸；一对导轨51，它们与滚珠丝杠50平行配设；电动机52，其与滚珠丝杠50的一端连结，使滚珠丝杠50旋转；以及移动基台53，其底部与导轨51滑动接触，并且在内部具有与滚珠丝杠50螺合的螺母，移动单元5构成为：当电动机52使滚珠丝杠50旋转时，移动基台53被导轨51引导而在X轴方向上移动，与此相伴地固定于移动基台53的保持单元2也在X轴方向上移动。如图1所示，剥离起点形成部3具有：前端部30，其配设在保持单元2的移动路径的上方；以及升降单元31，其使前端部30升降。升降单元31包含：第1气缸310a；第1杆310b，其被第1气缸310a驱动而升降；臂部311，其从第1杆310b的上端沿水平方向延伸；以及垂下部312，其从臂部311的一端垂下。如图2所示，构成剥离起点形成部3的前端部30具有使空气在内部流通的空气提供路300。空气提供路300的一端经由阀32与空气提供源33连接。另一方面，空气提供路300的另一端与喷出空气的空气喷出口301连通。前端部30由沿铅直方向延伸的轴部34和与轴部34的下端连结的作用部35构成。作用部35在主视时形成为大致梯形，具有：底部350，其具有与保持单元2的保持面22平行的底面350a；以及倾斜面351，其相对于板状物的厚度方向倾斜。由底面350a和倾斜面351来形成截面形状形成为锐角状的爪部352。空气提供路300贯通轴部34和作用部35。并且，空气喷出口301在底部350以朝向爪部352侧向斜下方倾斜的状态开口而设置。如图1所示，剥离单元4具有：保持基座40；保持板41，其能够相对于保持基座40升降；以及夹持部42，其对要剥离的带T进行夹持。保持板41与被第2气缸43a驱动而升降的第2杆43b连结，能够与第2杆43b一起进行升降，其中，该第2气缸43a竖立设置在形成为平板状的保持基座40的上表面上。保持板41构成为内部中空，在下表面整个面上设置有多个未图示的微孔，微孔经由第2杆43b的内部与吸引源连通，能够在保持板41的下表面产生负压。夹持部42包含：第3气缸44a，其配设在保持基座40上；第3杆44b，其被第3气缸44a驱动而在X轴方向上进退；第1夹持片45，其被固定在第3杆44b的前端；以及第2夹持片46，其从保持基座40的端部垂下。第1夹持片45和第2夹持片46形成为平板状，以互相平行的状态对置，第3气缸44a对第3杆44b进行驱动而使第1夹持片45在X轴方向上移动，从而能够使第1夹持片45相对于第2夹持片46接近或远离。保持基座40的下表面与第4杆47b的上端连结。该第4杆47b被第4气缸47a驱动而升降，与此相伴地保持基座40也升降。并且，第4杆47b能够在水平方向上旋转，由此，能够以第4杆47b的轴为中心使保持基座40、保持板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带剥离装置，其从粘贴有带的板状物将该带剥离，其中，该带剥离装置具有：保持单元，其对粘贴有该带的板状物进行保持；剥离起点形成部，其进入板状物与该带之间的界面而形成剥离起点；移动单元，其使该剥离起点形成部相对于该界面进退自如地进行相对移动；以及剥离单元，其一边对通过该剥离起点形成部而形成的该带的剥离起点进行保持，一边将该带从板状物剥离，该剥离起点形成部具有前端部，该前端部包含：倾斜面，其相对于板状物的厚度方向倾斜；以及底部，其与进入该界面的进入方向平行，在该前端部中形成有空气提供路和空气喷出口，该空气提供路的一端与空气提供源连接，该空气喷出口与该空气提供路的另一端连接，对该剥离起点形成部所进入的该界面喷出空气。

【技术特征摘要】
2017.03.22 JP 2017-0557831.一种带剥离装置，其从粘贴有带的板状物将该带剥离，其中，该带剥离装置具有：保持单元，其对粘贴有该带的板状物进行保持；剥离起点形成部，其进入板状物与该带之间的界面而形成剥离起点；移动单元，其使该剥离起点形成部相对于该界面进退自如地进行相对移动；以及剥离单元，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤泽晋一，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP